기본 정보
| 부스 | Q6158 |
| 국가 | CA |
| 웹사이트 | www.icspicorp.com |
회사 소개
ICSPI Corp는 2007년에 설립되어 나노 스케일 측정 도구에 대한 접근 확대를 목표로 데스크톱 원자힘현미경(AFM)을 개발하며, 과학자, 엔지니어, 교육자를 위해 fast time-to-results, 사용 편의성, 단순화된 작동을 강조합니다. ICSPI Corp는 캐나다 Kitchener-Waterloo에 본사를 두고 모든 장비를 본사에서 설계, 조립, 출하합니다. AFM 기술은 University of Waterloo에서 10년에 걸쳐 개발된 integrated sensor technology를 사용해 1980년대 기술에 기반한 전통 장비보다 AFM 작동을 단순화하고 가속합니다. 시스템은 기존 AFM의 번거로운 요소를 줄이면서 사용자가 데스크톱에서 nanoscale data를 수집할 수 있도록 설계되었습니다. 첫 제품 nGauge는 desktop AFM으로 sample loading부터 90초 만에 sub-nanometer-precision scans를 수집할 수 있으며, 회사는 40개국이 넘는 지역의 scientists, engineers, educators가 research, product development, teaching에 사용한다고 설명합니다. 두 번째 제품 Redux는 motorized 및 automated AFM으로 sample의 regions of interest로 이동할 수 있어 desktop AFM platform을 automated nanoscale imaging으로 확장합니다. 회사는 자사 시스템이 기존 AFM보다 더 빠른 results, user-friendly operation, 낮은 operation and maintenance cost, low drift를 제공한다고 설명합니다. icspi는 Integrated Circuit Scanning Probe Instruments의 약자로, atomic force microscopy가 scanning probe instrument의 한 종류이고 sensors가 integrated circuits로 제작된다는 기술적 배경을 이름에 반영합니다. ICSPI Corp는 자사 시스템이 scientists와 engineers의 development cycles를 단축하고 discoveries를 더 빠르게 하며, 단순화된 AFM operation을 research 및 product-development workflows와 연결한다고 설명합니다.
전시 제품
nGauge와 Redux는 desktop AFM platforms이며 Redux AFM은 수분 안에 고해상도 정량 3D topography data를 수집하고 sub-nanometer precision, 내장 scanners 및 sensors, motorized X, Y, Z stages를 갖추며 topography, roughness, thickness, particle size를 측정합니다. semiconductor metrology를 위해 ICSPI Corp는 AFM array metrology를 개발하며, conventional atomic force microscopy는 Z-axis measurement의 기준 방법이지만 high-volume manufacturing에는 너무 느리다는 문제에 대응합니다. AFM array technology는 소형 1 mm2 AFM scan heads를 병렬로 사용하고 각 scan head는 완전한 MEMS-based AFM으로 작동합니다. 각 scan head는 fine positioning과 scanning을 위한 three-axis control을 갖추며 on-chip sensing으로 laser alignment를 제거합니다. parallel array approach는 극단적인 throughput과 넓은 wafer coverage를 목표로 하며 scan time을 늘리지 않고 wafer당 AFM measurement points 수를 늘릴 수 있습니다. semiconductor metrology에 제시된 이점은 더 빠른 time-to-yield, 더 빠른 time-to-market, one-shot full-wafer AFM metrology, die-to-die hotspot comparison, AFM-based inspection 가능성입니다. desktop AFM systems와 parallel AFM array technology를 함께 사용하면 nanoscale surface imaging, quantitative 3D topography, roughness, thickness, particle-size measurement, 그리고 semiconductor research, development, manufacturing applications용 higher-throughput wafer metrology를 포괄합니다.
역량 및 제품
- 데스크톱 원자힘현미경(AFM)
- 전동 자동화 AFM
- 서브나노 정밀도 3D Topography 측정
- 표면 거칠기 측정
- 두께 측정
- 입자 크기 측정
- AFM Array 웨이퍼 계측
- 원샷 전 웨이퍼 AFM 계측
- Die-to-die hotspot 비교