ICSPI Corp

基本資料

公司簡介

icspi 成立於 2007 年，我們的使命是讓更多人能取得奈米級量測工具。我們製造桌上型原子力顯微鏡（AFM），具備無與倫比的出結果速度、易用性與免除繁瑣操作的特性。我們的系統讓科學家與工程師縮短開發週期、更快取得發現。icspi 總部位於加拿大基奇納－滑鐵盧（Kitchener-Waterloo），所有儀器皆於總部設計、組裝與出貨。傳統 AFM 儀器雖然在奈米級表面成像上功能強大，卻因建構於 1980 年代發展的技術之上而複雜且耗時。在 icspi，我們運用整合式感測器技術大幅簡化並加速 AFM 的操作，該技術是在滑鐵盧大學歷經十年開發而成。我們的第一項產品 nGauge 是一台桌上型 AFM。Redux AFM 可在數分鐘內取得高解析度 3D 形貌資料：具次奈米精度的定量 3D 數據、內建掃描器與感測器並搭配馬達驅動的 X、Y、Z 軸平台，可量測形貌、粗糙度、厚度與粒徑。原子力顯微術是 Z 軸量測的黃金標準，但對量產而言太慢；icspi 的 AFM 陣列技術讓 AFM 能達到極高的產出量與前所未有的晶圓涵蓋率。該 AFM 陣列技術以平行排列的 1 平方毫米微型 AFM 掃描頭構成，每個掃描頭都是一台完整的 MEMS 型 AFM，具備三軸控制以進行精細定位與掃描，並以晶片上感測取代雷射對準。此技術讓晶片製造商能更快達到良率目標與上市時程、實現一次性全晶圓 AFM 量測，以及晶粒對晶粒的熱點比對。

展出產品

桌上型原子力顯微鏡（AFM）包括 nGauge 與 Redux AFM；Redux 可取得高解析 3D 表面形貌資料，量測形貌、粗糙度、厚度與粒徑。AFM 陣列技術以多個微型 MEMS AFM 掃描頭平行運作，用於高吞吐量全晶圓量測與 die-to-die 熱點比較。

能力與產品項目

• 桌上型原子力顯微鏡製造
• nGauge 桌上型 AFM
• Redux AFM 次奈米 3D 形貌量測
• 形貌粗糙度厚度與粒徑量測
• AFM 陣列高產出量測技術
• 1 平方毫米 MEMS 微型掃描頭
• 晶片上感測免雷射對準
• 一次性全晶圓 AFM 量測
• 整合式感測器技術

相關產品主題

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