기본 정보
| 부스 | Q5343 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.honeywell.com/us/en/industries/manufacturing/semiconductor |
회사 소개
Honeywell Taiwan Limited가 속한 Honeywell은 Fortune 100 소프트웨어 산업 기업으로 항공우주 및 자동차 제품과 서비스, 건물, 주택, 산업용 제어 기술, 글로벌 성능 소재를 포함한 산업별 솔루션을 제공합니다. Honeywell은 항공기, 자동차, 주택과 건물, 제조 공장, 공급망, 작업자를 연결하는 기술을 통해 더 스마트하고 안전하며 지속가능한 운영을 지원한다고 설명합니다. Honeywell Industrial Automation (IA)은 50년이 넘는 산업 자동화 역사를 바탕으로 공정 산업 운영, 센서 기술, 공급망 자동화, 스마트 창고, 작업자 안전을 다룹니다. 반도체 제조 분야에서는 첨단 자동화, 준실시간 가스 위험 감지, fab과 sub-fab 전반의 위험 공정 가스 모니터링을 중심으로 솔루션을 구성합니다.
전시 제품
Honeywell의 반도체 제조 솔루션은 통합 자동화에 클린룸과 안전 기능을 결합해 사람과 자산을 보호하면서 fab 현장에서 배기 시스템까지 수율, 공정 개선, 클린룸 무결성을 지원합니다. 반도체 제조는 화학기상증착, 도핑, 산화 등에서 독성 및 가연성 가스를 사용하므로 Honeywell은 수소화물, 삼불화물 등 위험을 식별하는 독성 가스 감지기와 컨트롤러를 제공하며, Chemcassette® 테이프 기반 다지점 감지, fab에서 sub-fab과 배기 시스템까지의 통합, 조기 위험 식별을 위한 ppb 민감도를 포함합니다. 13MM Pressure Sensor는 클린룸과 고순도 제조 환경용으로 설계되었으며 고압 및 고온 조건에서도 낮은 오프셋 드리프트로 정밀하고 정확하게 측정하고 반도체 제조에서 일반적인 다양한 가스에 대응한다고 설명됩니다. Honeywell은 클린룸 등급 센서가 공정 무결성을 유지하고 고순도 제조 환경에서 오염물과 결함을 줄이면서 웨이퍼 형상이 정밀 사양을 따르도록 지원한다고 설명합니다. 반도체 자동화 포트폴리오에는 최대 9개의 Chemcassette® 가스 분석기를 사용하는 독성 가스 모니터링 시스템, Midas 감지기를 갖춘 PLC 기반 독성 가스 모니터링, 운영 전반의 가시성을 제공하는 공정 제어 플랫폼, fab 현장에서 완제품까지 일관된 생산 기준 유지를 지원하는 품질 제어 시스템이 포함됩니다. 가스 감지는 fab, sub-fab, 배기 시스템, 제어실까지 반도체 공장 전반에서 중요하게 다뤄지며, 준실시간 모니터링은 누출이나 비정상 농도를 감지해 인력이 대응하면서 공정 무결성을 유지할 수 있도록 합니다. 전용 반도체 가스 감지 포트폴리오는 하이테크 및 반도체 환경의 독성 및 가연성 가스를 대상으로 하며 ppb 수준 Chemcassette® 비색 시스템과 ppm 수준 전기화학 감지를 결합해 수소화물, 삼불화물 등 공정 가스를 모니터링합니다. 다지점 모니터링은 클린룸과 sub-fab용 시스템, ppb 수준 Chemcassette®, ppm 수준 전기화학 카트리지, 하이테크 자동화, 모니터링, 제어 인프라 통합을 포함해 중앙 집중형 가시성과 제어를 제공합니다. Honeywell은 가스 모니터링 아키텍처 기능으로 최대 40개 측정 지점의 중앙 모니터링, 준실시간 데이터 시각화와 경보, 원격 제어 또는 보기 소프트웨어를 제시합니다. 첨단 감지 옵션에는 Chemcassette® 비색 기술, 전기화학 카트리지 센서, 촉매 비드 감지, 적외선 감지, 다중 가스 모니터링이 있으며 수소화물, 삼불화물, 수백 종의 반도체 공정 가스를 포괄합니다. 확장성 측면에서는 단일 지점 감지기부터 최대 72개 모니터링 위치의 다지점 네트워크까지 설명하며 고용량 fab과 EUV 공정을 지원하고 시스템당 최대 9개 분석기, 분석기당 8개 감지 지점을 제시합니다. Chemcassette® 종이 테이프 기술은 ppb 민감도를 제공하고 Midas-M 4-in-1 다중 가스 감지기는 30종이 넘는 가스를 모니터링하며 Vertex™ Edge는 9개 Chemcassette® 분석기가 각각 8개 위치를 모니터링해 최대 72개 감지 지점을 지원합니다. 반도체 가스 감지는 arsine, phosphine, silane 및 여러 불소계 화합물 같은 공정 가스를 대상으로 하며 ppb 비색 및 ppm 전기화학 기술을 사용해 생산이나 안전에 영향을 주기 전 위험 농도를 식별합니다. 가스 감지 시스템은 표준 프로토콜을 통해 빌딩 관리 시스템, 자동화 플랫폼, SCADA 인프라와 통합할 수 있으며, 중앙 플랫폼은 분산 감지와 중앙 제어를 결합해 하나의 인터페이스에서 fab과 sub-fab의 감지기를 관리합니다. ACM 150G2는 FTIR 기술 기반 중앙 시스템으로 단일 분석기에서 여러 가스를 모니터링하고 출력을 시설 모니터링 네트워크에 연결하며, 분산 및 다지점 감지 포트폴리오를 보완합니다.
역량 및 제품
- 반도체 제조 통합 자동화 솔루션
- 반도체 팹용 유독성 및 가연성 가스 검지 시스템
- 유독성 가스 검지 컨트롤러
- 수소화물 가스 검지 시스템
- 삼불화물 가스 검지 시스템
- Chemcassette® ppb 수준의 비색식 가스 검지 시스템
- 전기화학식 ppm 수준 가스 검지 시스템
- 촉매 비드식 가스 검지기
- 적외선식 가스 검지기
- 최대 72개 지점을 감시하는 다지점 가스 검지 시스템
- Midas 검지기를 탑재한 PLC 기반 유독성 가스 감시 시스템
- FTIR 다중 가스 분석기
- 가스 검지 원격 모니터링 및 제어 소프트웨어
- 가스 검지 시스템의 건물 관리 및 SCADA 시스템 연동
- 반도체 제조용 클린룸 등급 압력 센서
- 반도체 제조 공정 제어 플랫폼
- 반도체 제조 품질 관리 시스템