基本資料
| 攤位 | Q5343 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.honeywell.com/us/en/industries/manufacturing/semiconductor |
公司簡介
漢威聯合股份有限公司所屬的Honeywell是一家Fortune 100軟體工業公司，提供產業專用解決方案，範圍包括航太與汽車產品及服務、建築、住宅與工業控制技術，以及全球供應的性能材料。 Honeywell表示，其技術用於連結飛機、汽車、住宅與建築、製造工廠、供應鏈及工作人員，以支援更智慧、更安全與更永續的運作。 Honeywell Industrial Automation (IA)累積超過五十年的工業自動化歷史，業務涵蓋流程產業營運、感測器技術、供應鏈自動化、智慧倉儲與工作人員安全。 在半導體製造領域，相關供應聚焦於先進自動化、近即時氣體危害偵測，以及跨fab與sub-fab的危險製程氣體監測。
展出產品
Honeywell的半導體製造方案將整合自動化、無塵室與安全功能結合，用於保護人員與資產，同時支援良率、製程改善與無塵室完整性，涵蓋從fab現場到排氣系統的環境。 半導體製造在化學氣相沉積、摻雜與氧化等步驟中會使用有毒與易燃氣體，因此Honeywell提供可辨識氫化物、三氟化物與其他危害的有毒氣體偵測器及控制器，並涵蓋Chemcassette®膠帶式多點偵測、fab至sub-fab與排氣系統整合，以及ppb等級靈敏度以進行早期危害辨識。 13MM Pressure Sensor被描述為專為無塵室與高純度製造環境設計，可提供精確量測，並在高壓與高溫條件下維持準確表現與低偏移漂移，也可對應半導體製造常見的多種氣體。 Honeywell表示，其無塵室等級感測器用於維持製程完整性，並協助晶圓特徵符合精確規格，同時降低高純度製造環境中的污染物與缺陷。 半導體自動化產品組合亦包含最多可配置9台Chemcassette®氣體分析器的有毒氣體監測系統、搭配Midas偵測器的PLC型有毒氣體監測系統、提供跨營運可視性的製程控制平台，以及用於維持一致生產標準的品質控制系統，涵蓋從fab現場到完成品。 氣體偵測被定位為半導體工廠從fab、sub-fab到排氣系統與控制中心都需要的功能，近即時監測可用於發現洩漏或異常濃度，使人員能採取行動並維持製程完整性。 專用半導體氣體偵測產品組合面向高科技與半導體環境中的有毒及易燃氣體，結合ppb等級Chemcassette®比色系統與ppm等級電化學感測，用於氫化物、三氟化物及其他製程氣體。 多點監測產品涵蓋無塵室與sub-fab系統、ppb等級Chemcassette®偵測、ppm等級電化學匣式感測器，以及與高科技自動化、監測與控制基礎設施的整合，提供集中可視性與控制。 Honeywell列出最多40個量測點的集中監測，以及近即時資料視覺化與警示、遠端控制或檢視軟體等氣體監測架構功能。 先進感測選項包含Chemcassette®比色技術、電化學匣式感測器、催化珠偵測、紅外線偵測與多氣體監測，可涵蓋氫化物、三氟化物以及數百種半導體製程氣體。 在擴充性方面，Honeywell描述從單點偵測器到最多72個監測位置的多點網路架構，可支援高量產fab與EUV製程，每套系統最多9台分析器，每台分析器8個偵測點。 Chemcassette®紙帶技術標示為ppb等級靈敏度；Midas-M 4-in-1多氣體偵測器可監測30種以上不同氣體，而Vertex™ Edge可支援最多72個偵測點，使用9台Chemcassette®分析器且每台監測8個位置。 半導體氣體偵測範圍涵蓋砷化氫、磷化氫、矽烷與各類含氟化合物等製程氣體，並使用ppb比色與ppm電化學技術，在危害影響生產或安全前辨識異常濃度。 氣體偵測系統可透過標準通訊協定與建築管理系統、自動化平台及SCADA基礎設施整合；集中式平台則以分散感測搭配中央控制，從單一介面管理fab與sub-fab的偵測器。 ACM 150G2被列為採FTIR技術的集中式系統，可由單一分析器監測多種氣體，並將輸出連接至廠務監測網路，與分散式及多點感測產品形成互補。
能力與產品項目
- 72 點 ppb 級紙帶比色氣體監測系統
- ppm 級電化學氣體感測器
- 觸媒燃燒式氣體偵測
- 紅外線氣體偵測
- FTIR 多氣體監測系統
- 氣體偵測系統與 BMS／SCADA 整合
- 氣體偵測遠端監控軟體
- 無塵室高純度製程壓力感測器
- PLC 型毒氣監控系統
- 半導體製程控制平台
- 半導體生產品質控制系統
- 航太產品與服務
- 汽車產品與服務
- 建築及住宅控制技術
- 高性能材料
- 供應鏈自動化
- 智慧倉儲
- 4-in-1 多氣體偵測器（可偵測超過 30 種氣體）
- 半導體氫化物與三氟化物氣體偵測