基本情報
| ブース | Q5152 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.cobetter.com.cn/applications/microelectronics/semiconductor |
会社概要
Hangzhou Cobetter Filtration Equipment Co., Ltd. は Cobetter のろ過・流体管理事業を担う Hangzhou の事業体で、集積回路産業チェーン向けに、ろ過、精製、分離、流体、包装のソリューションを提供しています。Cobetter は2003年に設立され、ろ過、分離、精製用の膜材料と流体管理システムの研究開発に注力しています。対象市場には世界の集積回路製造、バイオ医薬、産業用途、新エネルギー分野が含まれ、膜と流体管理技術を複数産業へ展開しています。Cobetter は膜材料の研究開発にも取り組み、同じ流体管理事業の一部として、ろ過、分離、精製ソリューションを提供しています。半導体分野では、fab chemicals、gases、process fluids に関連する process filtration、membrane、fluid-management supplier として位置付けられています。関連するろ過カテゴリには liquid、oil、gas filters が含まれ、半導体プロセス流体と工場設備システム向けソリューションを補完します。集積回路分野では、crystal pulling と large-silicon-wafer production から chip manufacturing、chip packaging まで産業チェーン全体にソリューションを展開するとしています。
展示製品
Cobetter は、集積回路生産工程の defect 数を減らすことで product yield が向上し、それによって integrated-circuit reliability が高まるため、yield improvement は継続的な課題だとしています。半導体向けには、ろ過、精製、分離、流体、包装のソリューションを crystal pulling から large-wafer production、wafer から chip manufacturing、さらに chip packaging まで適用します。fab-utility と delivery-system では ultrapure-water systems、chemical-delivery systems、slurry-delivery systems、gas systems をカバーし、半導体製造へ供給される流体とガスに対してろ過・精製機能を配置します。ultrapure-water system は Cobetter の集積回路向けろ過・精製範囲に含まれ、半導体製造環境の工場設備側の水処理を支えます。chemical、slurry、gas delivery も chemical-delivery、Slurry-delivery、gas-system applications を通じて同じろ過・精製ソリューション範囲に含まれます。process-tool 側では thin-film deposition、photolithography、chemical mechanical polishing (CMP)、wet etching and cleaning、electrochemical plating (ECP)、ion implantation が対象工程として挙げられています。CMP は半導体用途として明示され、会社の統合的な filtration、purification、separation offering の中で Cobetter が対応する工程の一つです。wet etching and cleaning も明示された半導体用途であり、photolithography、deposition、plating、ion implantation とともに、ろ過・精製支援を重要工程へ広げています。
対応領域・製品
- 半導体向け超純水システムソリューション
- 半導体向け薬液供給システムソリューション
- 研磨スラリー供給システムソリューション
- 半導体向けガスシステムソリューション
- 集積回路向けろ過ソリューション
- 集積回路向け精製ソリューション
- 集積回路向け分離ソリューション
- 集積回路向け包装ソリューション