基本資料
| 攤位 | Q5658 |
| 國別 | KR |
| 網站 | www.fstc.co.kr/eng |
公司簡介
FST 成立於 1987 年,成功將半導體製程中用於保護光罩的防塵薄膜(pellicle)國產化。自 1988 年起,我們持續為國內外知名半導體企業供應可靠的產品,近期更完成第六代 LCD 用 pellicle 的開發並建立量產體系。憑藉在半導體設備國產化自有技術上的持續研發投入,FST 也成功開發出可藉由調節半導體溫度來提升製程效率的冷卻機(chiller)。FST 秉持成為「21 世紀產業領導者」的使命,持續以合格的產品滿足客戶,並以不懈的熱情投入研究,透過技術進步兼顧獲利能力與成長。近期 FST 推出為 EUV 基礎設施最佳化的 EUV 光源(EUVO)。EUVO 以高次諧波產生(HHG)方式產生,已用於 EUV 量測領域的光源。作為一家重要企業,為落實社會責任,我們承諾提升「以客戶為中心的經營、公開正大的經營,以及重視環境的經營」等內涵的落實水準。AUROS Technology 開發晶圓檢測與疊對量測的尖端技術,為半導體業提供最具競爭力且符合成本效益的解決方案。AUROS 的疊對量測系統採用先進的光學影像技術,可量測半導體元件堆疊層間圖案的疊對。
展出產品
產品包括半導體光罩用 Pellicle、6 代 LCD Pellicle、半導體製程溫控 Chiller，以及用於 EUV 量測的 EUVO EUV 光源。正本亦點名 AUROS 的晶圓檢測與 Overlay Metrology System，用光學影像技術量測堆疊層圖案間的套刻。
能力與產品項目
- 光罩保護膜 pellicle 國產化
- 第六代 LCD pellicle 量產
- 半導體控溫 chiller 開發
- EUV 光源 EUVO
- HHG 產生 EUV 量測光源
- AUROS 疊對量測系統
- 晶圓檢測與疊對量測技術