기본 정보
| 부스 | S7737 |
| 웹사이트 | www.ifinetech.com/en |
회사 소개
FINE Co., Ltd.는 반도체 및 LCD 제조 설비의 성능 향상을 위한 히터를 전문으로 합니다. 히터 솔루션은 클린룸 사용에 최적화되어 있으며 heater jacket을 포함한 가열 솔루션과 히터 운전을 위한 제어 솔루션을 제공합니다. FINE Co., Ltd.는 반도체 제조 환경에 가열 및 제어 제품을 공급하며 웨이퍼 제조 주 장비보다 팹 설비와 공정 지원 장비에 해당합니다.
전시 제품
히터 제품군에는 PTFE Mantle Heater TTM Series, TSM Series, TCM/TCF Series, EXM Series, Mantle Heater FGF Series, HTM(High Temperature) Series, Silicone Mantle Heater, Tape Heater, PI Film Heater, Cylinder Heater, Glass Plate Heater, Hot N2 Heater, Hot Gun Heater가 포함됩니다. 제어 및 액세서리 제품에는 Local Controller, Hot N2 Controller, System Controller, IV Controller, C.M Module, Light bug, Light bug Monitoring System, Thermocouple Connector가 있습니다. FINE의 Mantle Heater는 반도체 제조 환경용으로 제시되며 배관에서 발생할 수 있는 power generation을 억제하고 제조 환경의 온도 요구에 쉽게 대응하도록 합니다. Mantle Heater는 클린룸에 최적화되어 있으며 사용 재료의 유연성 덕분에 설치와 재설치가 쉽습니다. 또한 outgassing을 최소화한 재료를 적용해 공정 환경의 안전성을 강화합니다. Silicone Heater도 배관에서 발생할 수 있는 power generation을 억제하는 용도로 제시되며 가열 대상과의 밀착을 통해 열 전달을 높입니다. Silicone Heater는 저비용·고효율 가열 옵션으로도 설명됩니다. Other Heater 범주는 heater jacket을 포함한 가열 솔루션을 제공합니다. Controller 범주는 히터 제어 솔루션을 제공하고 PID control system을 통해 안정적인 온도를 구현합니다. Accessory 범주에는 실제 히터 사용을 위한 fault detection device와 히터 시스템을 구성하는 보조 부품이 포함됩니다. 반도체 팹 설비 및 공정 지원 응용에서 heater-jacket system은 맞춤형 솔루션으로 제시되며 다운타임 감소, 공정 수율 지원, 배관 가열, 원활한 가스 흐름을 위한 일정 온도 유지를 목적으로 합니다. 전체 제품군은 국부 히터, mantle 및 silicone heater, 배관·표면 가열 제품, 컨트롤러, 모니터링 부품, 커넥터를 결합해 가열 요소에 온도 제어와 고장 감지 기능을 연계합니다. Mantle Heater의 반도체 연계는 명확하며 클린룸 조건과 반도체 제조 환경의 온도 요구사항을 직접 다룹니다. 같은 제품군은 유연한 설치, outgassing 최소화, 안정적인 온도 제어, 지원 액세서리를 제조 설비의 열 관리 접근 방식으로 강조합니다.
역량 및 제품
- PTFE 맨틀 히터
- 고온 맨틀 히터
- 실리콘 맨틀 히터
- 테이프 히터
- PI 필름 히터
- 실린더 히터
- 유리 플레이트 히터
- Hot N2 히터
- 히터 PID 온도 제어
- 히터 고장 감지