基本情報
| ブース | S7737 |
| ウェブサイト | www.ifinetech.com/en |
会社概要
FINE Co., Ltd. は、半導体および LCD 製造設備の性能向上を目的とするヒーターを専門としています。ヒーターソリューションはクリーンルームでの使用に最適化され、heater jacket を含む加熱ソリューションと、ヒーターを操作するための制御ソリューションを提供します。FINE Co., Ltd. は半導体製造環境向けに加熱・制御製品を提供しており、ウェハ製造の主装置ではなく、工場設備およびプロセス支援機器として位置付けられます。
展示製品
ヒーター製品には PTFE Mantle Heater TTM Series、TSM Series、TCM/TCF Series、EXM Series、Mantle Heater FGF Series、HTM(High Temperature) Series、Silicone Mantle Heater、Tape Heater、PI Film Heater、Cylinder Heater、Glass Plate Heater、Hot N2 Heater、Hot Gun Heater が含まれます。制御・アクセサリー製品には Local Controller、Hot N2 Controller、System Controller、IV Controller、C.M Module、Light bug、Light bug Monitoring System、Thermocouple Connector があります。FINE の Mantle Heater は半導体製造環境向けで、配管内で発生する可能性がある power generation を抑え、製造環境で必要な温度に対応しやすくする製品として説明されています。Mantle Heater はクリーンルーム向けに最適化され、使用材料の柔軟性によって取り付けと再取り付けを容易にします。さらに、outgassing を抑えた材料を採用し、プロセス環境の安全性を強化します。Silicone Heater も配管内で発生する可能性がある power generation を抑える用途が示され、加熱対象への密着によって熱伝達を高めます。Silicone Heater は低コストで高効率な加熱オプションとしても記載されています。Other Heater カテゴリーは heater jacket を含む加熱ソリューションを提供します。Controller カテゴリーはヒーター制御ソリューションを提供し、PID control system により安定した温度を実現します。Accessory カテゴリーには、実際のヒーター使用向けの fault detection device と、ヒーターシステムを構成する補助部品が含まれます。半導体の工場設備およびプロセス支援用途では、heater-jacket system はカスタマイズされたソリューションとして、ダウンタイム低減、プロセス歩留まり支援、配管加熱、ガスを円滑に流すための一定温度維持を目的としています。製品群全体では、局所ヒーター、mantle と silicone heater、配管・表面加熱製品、コントローラー、監視部品、コネクターを組み合わせ、加熱要素に温度制御と故障検出機能を連携させます。Mantle Heater の半導体用途は明確で、クリーンルーム条件と半導体製造環境の温度要件に直接対応します。同じ製品群では、柔軟な設置、outgassing の低減、安定した温度制御、支援アクセサリーが製造設備の熱管理アプローチとして重視されています。
対応領域・製品
- PTFEマントルヒーター
- 高温マントルヒーター
- シリコーンマントルヒーター
- テープヒーター
- PIフィルムヒーター
- シリンダーヒーター
- ガラスプレートヒーター
- Hot N2ヒーター
- ヒーターPID温度制御
- ヒーター故障検出