基本資料
| 攤位 | S7737 |
| 網站 | www.ifinetech.com/en |
公司簡介
FINE Co., Ltd. 專精於可改善半導體與 LCD 製造設施效能的加熱器。其加熱器解決方案針對無塵室使用最佳化，包含 heater jacket 加熱方案，以及用於操作加熱器的控制方案。FINE Co., Ltd. 面向半導體製造環境提供加熱與控制產品，定位屬於廠務與製程支援設備，而不是晶圓製造主設備。
展出產品
加熱器產品線包括 PTFE Mantle Heater TTM Series、TSM Series、TCM/TCF Series 與 EXM Series，Mantle Heater FGF Series 與 HTM(High Temperature) Series，以及 Silicone Mantle Heater、Tape Heater、PI Film Heater、Cylinder Heater、Glass Plate Heater、Hot N2 Heater 與 Hot Gun Heater。控制與配件產品包括 Local Controller、Hot N2 Controller、System Controller、IV Controller、C.M Module、Light bug、Light bug Monitoring System 與 Thermocouple Connector。FINE 的 Mantle Heater 面向半導體製造環境，產品說明包含抑制管線中可能發生的 power generation，並可較容易因應半導體製造環境的溫度需求。Mantle Heater 針對無塵室最佳化，所使用材料具有彈性，因此便於安裝與重新安裝。其材料亦著重降低 outgassing，以強化製程環境安全。Silicone Heater 同樣用於抑制管線中可能發生的 power generation，並透過與被加熱物件緊密貼合來提升熱傳效果。Silicone Heater 另被列為低成本、高效率的加熱選項。Other Heater 類別提供包含 heater jacket 的加熱方案。Controller 類別提供加熱器控制方案，並利用 PID control system 實現穩定溫度。Accessory 類別包含實際加熱器使用所需的 fault detection device，以及構成加熱器系統的補充元件。在半導體廠務與製程支援應用中，heater-jacket system 亦被描述為客製化方案，用於降低停機時間、支援製程良率、加熱管線，並維持穩定溫度以確保氣體順暢流動。整體產品組合把局部加熱器、mantle 與 silicone heater、管線與表面加熱產品、控制器、監測元件及連接器組合在一起，使加熱元件可搭配溫度控制與故障偵測功能。Mantle Heater 的半導體應用連結也相當直接，產品說明明確對應無塵室條件與半導體製造環境的溫度需求。此產品家族同時強調彈性安裝、降低 outgassing、穩定溫度控制與支援配件，作為製造設施熱管理方案的一部分。
能力與產品項目
- PTFE Mantle Heater
- 高溫 Mantle Heater
- Silicone Mantle Heater
- Tape Heater
- PI Film Heater
- Cylinder Heater
- Glass Plate Heater
- Hot N2 Heater
- 加熱器 PID 溫控
- 加熱器故障偵測