基本情報
| ブース | N0034 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.ferrotec.com.tw |
会社概要
Ferrotec Taiwan Co., Ltd. は、日本の Ferrotec Holdings Corporation によって 2006 年 9 月 19 日に台湾で設立され、グループ本社は東京にあり、より広い組織について 40 年の歴史が示されています。 主な取扱製品は石英製品とシリコン製品で、半導体装置および LCD パネル装置に広く使用される磁性流体真空フィードスルー部品も含まれます。 台湾事業では、技術と製品を半導体装置関連、電子デバイス関連、自動車関連、その他関連事業に分類しています。 半導体装置向け製品には、真空密封フィードスルー、石英製品、精密セラミックス、シリコン材料部品、CVD-SiC、機械加工可能セラミックス、石英るつぼ、シリコンウェハ、装置部品洗浄、受託加工があります。 電子デバイスと自動車関連では磁性流体、熱電冷却モジュール、パワー半導体基板を扱い、電子デバイス分野にはチラーとサーミスタ部品も含まれます。 Ferrotec Taiwan Co., Ltd. は台湾のハイテク分野の顧客に対応し、より充実したアフターサービスを提供するため新竹に営業拠点を設けています。 同社は台湾について、半導体企業とパネル技術企業が集まり、ハイテク分野の中長期的発展を支えるインフラを備える地域と説明しています。
展示製品
Ferrotec は半導体、光学、その他の先端産業用途向けに幅広い石英製品を供給し、大量精密石英製造の要求に対応する生産能力を備えています。 石英加工では Momentive 124 と 214 の標準材料、低アルカリ・低アルミニウム向けの 224、144、244 グレードを使用でき、透明溶融石英と不透明石英の双方に対応します。 Ferrotec は主に Momentive 材料を使用し、世界最大級の Momentive 認定メーカーの一つであるとともに、Saint Gobain、Heraeus、Tosoh からも材料を調達しています。 石英部品は顧客の既存図面から加工でき、厳しい技術要件を満たすため設計段階で Ferrotec が支援することもできます。 石英製造体制には、先進加工、三次元測定装置、全工程品質管理、ISO9002 認証、クリーン洗浄、クリーンルーム包装、石英素材組立、溶接、精密焼成が含まれます。 シリコンウェハが 8 インチから 12 インチへ移行する中、Ferrotec は中国の杭州、常州、東台の事業拠点と Ferrotec Arion 工場に 12 インチクリーンルーム生産設備を備えると説明しています。 石英製品には、石英窓、反応管、断熱ブロック、外管、洗浄槽、保温筒、石英槽、ジェット管、石英カバー、石英リング、ベルジャー、石英ボートがあります。 石英製品は CVD 装置にも使用され、加熱した基板に膜形成成分を含むガスを供給し、基板表面の化学反応で膜を堆積します。 半導体エッチング装置にも使用され、ウェハのパターン工程で形成された膜を除去し、ドライエッチングではプラズマ活性種、ウェットエッチングでは酸またはアルカリの腐食性を利用します。 熱電冷却モジュールには、マイクロ、超小型、金錫、単層、高出力、長寿命、単孔、多孔、フレキシブル基板、多層、エポキシ封止の各種モジュールとカスタム冷却製品があります。 関連する熱製品には A030-12-DA-008 標準冷却モジュール、TEC コントローラ、温度デモ装置、熱伝導シリコーン、水冷モジュールがあります。 パワー半導体基板には DCB、AMB、DAB（Direct Aluminum Bonded）、DPC、窒化シリコン基板があります。 磁性流体真空製品には、ソリッドシャフト、ミニチュアシャフト、貫通軸、フランジ、重荷重、中空軸の密封フィードスルーに加え、多軸、ガス浄化、ガス循環、高真空、カスタム、ロボット用の構成があります。 精密セラミック部品にはアルミナ、窒化シリコン、炭化シリコン、窒化アルミニウム、低熱膨張材料があり、機械加工可能セラミックスには加工可能マイカと加工可能窒化物があります。 シリコン材料部品には、高温アニールボート、高温用シリコンリング、ジェット管、ライナー、ボート、ベース、シリコンエッチング部品があります。 磁性流体事業では、オーディオ用途、振動装置用途、バイオメディカル磁性ナノ粒子、Ferrobeads®、磁区観察、教育・芸術用途が挙げられています。 サーミスタ製品にはサーミスタ素子、サーミスタアセンブリ、MNR バリスタがあります。 チラーには TEC series の空冷・水冷、Compression series の空冷・水冷、低温圧縮チラー、Thermal shock、Cascade refrigeration chiller があります。 型式には FCP30021A、FCP30025A、FCP60022A、FCP01232A、FCP30023W、FCP60024W、FCP60024L30W、FCP90026W、FCP01231W、FCCA0152204、FCCA0242202、FCCA0502206、FCCW0152203、FCCW0242201、FCCW0502205、FCCW0362303-20、FAM6031、FCDA608031 が含まれます。 Ferrotec の石英るつぼは単結晶シリコン引上げに不可欠な高純度・耐熱部品で、その性能は単結晶シリコンの結晶化率に大きく影響すると説明されています。 るつぼ事業は AQM-10、AQM-20、AQM-30、AQM-40 の 4 シリーズを異なる結晶成長工程向けに開発し、現在 14 インチから 32 インチに対応し、さらに大きなカスタムサイズにも対応できる技術を持ちます。 AQM-10 は内壁に透明層を持つ天然石英るつぼ、AQM-20 は高純度天然砂を追加、AQM-30 は高グレード結晶引上げ向け合成石英るつぼ、AQM-40 は結晶化内面を持ち複数回投入と長時間使用に適します。 Ferrotec は後工程加工向けに 3 年をかけて全自動生産ラインを開発し、石英るつぼ品質の安定化を図ったとしています。 シリコンウェハでは、12 インチ以下の半導体ウェハ向け単結晶引上げからウェハ加工まで一連の生産に対応します。 シリコンウェハ事業は、バイポーラ集積回路、ディスクリート半導体、MEMS の量産を中心とする世界供給体制を構築しています。 製品ラインには Single Crystal Ingot、Polished Wafer、Annealed Wafer、Epitaxial Wafer が含まれます。
対応領域・製品
- 半導体向け精密石英製品
- 大規模精密石英製造
- 図面加工・石英設計支援
- 石英窓・反応管・断熱ブロック
- 磁性流体真空密封フィードスルー
- 精密セラミック部品
- CVD-SiC製品
- 機械加工可能セラミックス
- シリコン材料部品
- 装置部品洗浄
- 受託加工
- 熱電冷却モジュール（TEC/Peltier）
- パワー半導体DCB/AMB/DAB/DPC基板
- TECシリーズチラー
- 圧縮式チラー
- 14～32インチ石英るつぼ・大型カスタム対応
- 12インチ以下シリコンウェハ一貫生産
- 研磨・アニール・エピタキシャルシリコンウェハ
- サーミスタ素子・アセンブリ