基本資料
| 攤位 | N0034 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.ferrotec.com.tw |
公司簡介
台灣飛羅得股份有限公司由日本 Ferrotec Holdings Corporation 於 2006 年 9 月 19 日在台灣設立，集團總公司位於東京，整體組織並標示有 40 年歷史。 其主要服務產品為石英產品與矽產品，並包括廣泛用於半導體設備與液晶面板設備的磁性流體真空密封傳動零件。 台灣營運將技術與產品分為半導體等設備相關業務、電子集成裝置相關業務、汽車相關業務與其他相關事業。 半導體設備產品組合包括真空密封傳動裝置、石英製品、精密陶瓷製品、矽材料零件、CVD-SiC、可加工陶瓷製品、石英坩堝、矽晶圓、設備配件洗淨與委託加工。 電子集成裝置與汽車相關產品均包含磁性流體、熱電致冷晶片與功率半導體基板，而電子集成裝置範圍另列冰水機與熱敏電阻元件。 台灣飛羅得股份有限公司於新竹設立銷售分公司，以服務台灣高科技領域客戶並提供更完備的售後服務。 公司將台灣描述為結合半導體公司與面板技術公司，並具備可支援高科技領域中長期發展的基礎設施。
展出產品
Ferrotec 為半導體、光學與其他尖端工業應用提供廣泛石英產品，其中包括對應大批量精密石英製造需求的生產能力。 石英加工可使用 Momentive 124 與 214 標準材料，以及低鹼、低鋁需求的 224、144 與 244 等級，並可加工透明熔融石英與不透明石英材料。 Ferrotec 表示主要使用 Momentive 材料，且為全球最大的 Momentive 認證製造商之一，同時也向 Saint Gobain、Heraeus 與 Tosoh 採購材料。 石英零件可依客戶既有圖面加工，Ferrotec 也可在設計階段提供協助，以符合石英產品嚴格的技術要求。 其石英製造體系包含先進加工、三次元測量設備、全製程品質控制、ISO9002 認證、純淨洗淨、無塵室包裝、石英素材組立、焊接與精燒。 因應矽晶圓由 8 英寸轉向 12 英寸，Ferrotec 描述其在中國杭州、常州、東台營運據點及 Ferrotec Arion 工廠設有 12 英寸無塵室生產設施。 石英產品清單包括石英窗、石英反應管、石英隔熱塊、石英外管、洗淨槽、保溫筒、石英槽、噴射管、石英蓋、石英環、鐘型罩與石英舟。 石英產品可用於 CVD 設備，其中加熱基板接收含製膜成分的氣體，並透過基板表面的化學反應堆積成膜。 石英產品也用於半導體蝕刻設備以去除晶圓圖案處理形成的薄膜，其中乾蝕刻使用電漿活性基，濕蝕刻則利用酸或鹼的腐蝕性。 熱電致冷晶片產品包括微型、超微型、金錫、單層、大功率、長壽命、單孔、多孔、軟性基板、多層與環氧樹脂密封致冷晶片，以及客製化致冷器產品。 相關熱管理產品包括 A030-12-DA-008 標準製冷模組、TEC 控制器、溫度示範體驗機、導熱矽膠與水冷模組。 功率半導體基板包括 DCB 基板、AMB 基板、DAB（Direct Aluminum Bonded）基板、DPC 基板與氮化矽基板。 磁性流體真空產品包括實心軸、微型軸、通孔軸、法蘭、重負載與空心軸密封傳動裝置，也包含多重軸向、氣體淨化、氣體循環、高真空、客戶定製與機器人密封傳動配置。 精密陶瓷組件包括氧化鋁、氮化矽、碳化矽、氮化鋁與低熱膨脹材料，而可加工陶瓷則包括可加工雲母與可加工氮化物產品。 矽材料零件包括高溫退火晶舟、高溫用矽環、噴射管、襯套、晶舟、底座與矽材料蝕刻零件。 磁性流體業務列有音頻應用、振動設備應用、生物醫學用磁奈米顆粒、Ferrobeads®、磁區觀察應用，以及教育和藝術應用。 熱敏電阻產品包括熱敏電阻元件、熱敏電阻組件與 MNR 壓敏電阻。 冰水機產品包括 TEC series 的氣冷與水冷機型、Compression series 的氣冷與水冷機型、低溫壓縮式冰水機、Thermal shock 與 Cascade refrigeration chiller。 具名冰水機型號包括 FCP30021A、FCP30025A、FCP60022A、FCP01232A、FCP30023W、FCP60024W、FCP60024L30W、FCP90026W、FCP01231W、FCCA0152204、FCCA0242202、FCCA0502206、FCCW0152203、FCCW0242201、FCCW0502205、FCCW0362303-20、FAM6031 與 FCDA608031。 Ferrotec 的石英坩堝被描述為單晶矽拉製不可或缺的高純度、耐熱零件，其性能對單晶矽成晶率具有較大影響。 坩堝事業開發 AQM-10、AQM-20、AQM-30 與 AQM-40 四大系列以對應不同長晶工藝，目前可支援 14 英寸至 32 英寸，並具備依客戶需求客製更大尺寸的技術能力。 AQM-10 為內壁含透明層的天然石英坩堝，AQM-20 加入高純天然砂，AQM-30 為適用高級別晶棒拉製的合成石英坩堝，AQM-40 則具有結晶化內表面，適合多次加料與長時間使用。 Ferrotec 亦表示其後工序加工歷時三年開發出全自動化生產線，以確保石英坩堝品質穩定。 矽晶圓方面，Ferrotec 可從適合 12 英寸以下半導體矽晶圓的單晶拉晶一路生產至晶圓加工。 矽晶圓業務建立以雙極集成電路、分離式半導體與 MEMS 量產為中心的全球供應系統。 矽晶圓產品線包括 Single Crystal Ingot、Polished Wafer、Annealed Wafer 與 Epitaxial Wafer。
能力與產品項目
- 半導體精密石英製品
- 大批量精密石英製造
- 依圖加工與石英設計支援
- 石英窗／反應管／隔熱塊
- 磁性流體真空密封傳動裝置
- 精密陶瓷組件
- CVD-SiC 製品
- 可加工陶瓷製品
- 矽材料零件
- 設備配件洗淨
- 委託加工
- 熱電致冷晶片（TEC/Peltier）
- 功率半導體 DCB/AMB/DAB/DPC 基板
- TEC 冰水機
- 壓縮式冰水機
- 14–32 吋石英坩堝與更大尺寸客製
- 12 吋以下矽晶圓一貫生產
- 拋光／退火／磊晶矽晶圓
- 熱敏電阻元件與組件