기본 정보
| 부스 | Q5841 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.fabreeka.com |
회사 소개
Fabreeka® 시스템은 정밀 기기의 진동 절연 분야에서 업계 표준을 한 단계 끌어올립니다. 당사의 목표는 진동에 민감한 기기, 장비 및 공정을 위한 혁신적인 첨단 진동 절연 시스템과 솔루션의 설계 및 제조 분야에서 세계 시장을 선도하는 것입니다. 당사는 완전히 분리된 특허 아키텍처를 사용하여 바닥, 주변 환경, 기계 또는 이동 스테이지, 팬, 내부 모터와 같은 장비에서 발생하는 진동을 절연합니다. 반도체 장비의 고가속 스테이지 정착 시간은 일반적으로 200~300 ms입니다. 진동 사양 충족을 위해 신규 팹을 설계하는 칩 제조사는 민감 장비에 Fabreeka® 장치를 사용함으로써 상당한 비용 절감을 달성할 수 있습니다. 반도체 칩 제조는 생산 현장의 수십 종류 장비가 관여하는 매우 복잡한 공정입니다. 이러한 공정의 대부분에는 전용 정밀 장비가 필요하며, 주로 고해상도 장비로서 강한 이동 스테이지 동작의 영향을 받습니다. 반도체 제조 장비는 바닥이나 주변 환경의 진동 또는 자체 이동 부품에서 발생하는 진동의 영향을 받습니다. 다양한 진동원에서 발생하는 진동은 처리량을 감소시키고 과도한 마모를 유발합니다. 진동 수준은 일반적으로 팹에 장비를 설치하기 전에 측정되지만, 생산 및 유지보수 장비가 늘어나면서 처음 두 해 동안 약 10 – 15 dB 악화됩니다. 생산 기술이 10에서 7, 다시 5 nm 노드로 발전하면서 계측 및 검사 장비에 대한 요구 수준이 높아져 고유한 과제가 발생합니다. 현재 기술 노드의 바닥 진동 기준 충족에도 어려움을 겪는 팹은 다음 노드에서 더 큰 어려움을 겪게 됩니다. 장비가 사양대로 작동하려면 진동 절연 플랫폼이 필요합니다. Fabreeka®는 광범위한 능동 진동 절연 시스템을 제공합니다. 당사는 기술 성능 또는 치수 제약에 관한 특정 OEM 사양에 맞게 기성 시스템을 조정하는 것부터 가장 엄격한 고객 요구를 충족하는 완전 맞춤형 솔루션까지 제공합니다.
전시 제품
화강암 구조 부품은 반도체 장비에서 핵심적인 지지 및 안정화 역할을 합니다. 고품질 천연 화강암 소재를 사용하며, 정밀 가공을 거친 이 구조 부품은 뛰어난 경도와 내구성을 갖춰 반도체 생산 과정의 고빈도·고강도 작업을 견딜 수 있습니다. 화강암의 낮은 열팽창계수와 우수한 열안정성 덕분에 온도 변화가 큰 환경에서도 높은 정밀도를 유지하여 반도체 장비의 신뢰성 높은 가동을 보장합니다. 또한 화강암은 뛰어난 내진동 성능을 갖춰 장비 진동을 효과적으로 줄이고 생산 정밀도와 효율을 높입니다. 비자성 및 내식성 특성은 반도체 제조 공정의 고순도 및 고정밀 요구사항을 더욱 보장합니다.
역량 및 제품
- 정밀기기 방진 시스템 설계·제조
- 완전 디커플링 진동 격리
- 능동형 방진 시스템
- OEM 맞춤형 진동 절연 시스템
- 반도체 장비용 화강석 구조부품
- 천연 화강암 정밀 가공