基本情報
| ブース | Q5841 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.fabreeka.com |
会社概要
FABREEKA INTERNATIONAL INC.TAIWAN BRANCH (U.S.A.) は、振動に敏感な精密機器、装置、プロセス向けにハイテク防振システムとソリューションを設計・製造しています。 その防振システムは完全分離型の特許アーキテクチャを採用し、床、周囲環境、機械、装置から生じる振動を隔離し、移動ステージ、ファン、内部モーターによる振動にも対応します。 半導体製造では、生産フロアに数十種類の機械が存在し、多くの工程が高解像度の専用精密装置に依存し、激しい移動ステージ動作の影響を受けると説明しています。 半導体装置の高加速度ステージについて、典型的な整定時間は 200 から 300 ms とされています。 床、環境、または装置自身の可動部から生じる振動は、半導体製造装置のスループットを低下させ、過度の摩耗を引き起こす可能性があります。 工場の振動レベルは通常、装置導入前に測定されますが、生産設備と保守設備が増えるにつれて最初の 2 年間で約 10 – 15 dB 悪化する可能性があると同社は説明しています。 製造技術が 10 nm から 7 nm、5 nm ノードへ進むにつれ、Fabreeka® は計測・検査装置への要求が高まり、現在の床振動基準に苦戦している工場では次世代ノードでさらに難しくなるとしています。 そのため、防振プラットフォームは振動に敏感な装置を仕様どおりに機能させるために必要と位置付けられています。 Fabreeka® は、広範な防振・衝撃制御製品に加えて、多様なアクティブ防振システムを提供しています。 同社は既製システムを OEM の技術性能や寸法制約に合わせて調整し、厳しい顧客要件に対応する完全な特注ソリューションまで提供できます。 振動仕様を満たす新工場を設計するチップメーカーに対し、Fabreeka® は敏感な装置に同社デバイスを使用することで大きな節約が可能だとしています。
展示製品
Fabreeka の製品群には Expansion Bearings、Foundation Isolation、Levelers、Pneumatic Isolation、Shock & Vibration Pads、Thermal Breaks が含まれます。 Thermal Breaks は、構造用途および比較的軽い荷重向けの省エネルギー型サーマルブレークソリューションとして説明されています。 Shock & Vibration Pads は衝撃、振動絶縁、減衰に用いられ、基礎防振および空圧防振製品とともに提供されます。 Fabreeka は、振動絶縁、衝撃制御、サーマルブレーク製品を 100 年以上提供し、カスタムかつ革新的なソリューションを世界各地で 100 年以上設計・製造してきたとしています。 すべての製品は米国製であり、建築・建設、エネルギー、重機、産業機械、精密機器、試験、輸送などの産業に対応します。 サポート資源にはトレーニングセミナーとドキュメントライブラリが含まれ、個別の顧客ニーズに対するアプリケーション支援も提供します。 半導体装置向けには、Fabreeka は重要な支持と安定化を担う天然花崗岩構造部品も示しています。 これらの構造部品は高品質の天然花崗岩を使用して精密加工され、半導体生産における高頻度・高強度の動作に対する硬度と耐久性を備えます。 花崗岩の低熱膨張係数と熱安定性により、環境温度が変化しても高い精度を維持できます。 花崗岩構造部品は耐振動性も備え、装置振動を低減し、生産精度と効率の向上に寄与すると説明されています。 非磁性および耐腐食性は、半導体製造における高純度・高精度の要件を支える特性として示されています。 防振システム、衝撃制御製品、Thermal Breaks、精密花崗岩構造は、精密機器環境における振動、衝撃、熱、構造安定性のニーズに対応します。
対応領域・製品
- 精密機器用防振システム
- アクティブ防振システム
- カスタム防振ソリューション
- 基礎防振
- 空圧防振
- 衝撃・防振・減衰パッド
- 構造用サーマルブレーク
- 半導体装置用花崗岩構造部品