基本情報
| ブース | T9226 |
| ウェブサイト | dms21.co.kr/en/index.asp |
会社概要
DMS Co., Ltd. はLCD、OLED、OLEDoS向けの中核プロセス装置を製造し、ディスプレイ関連プロセス装置を同社が掲げる製造範囲の中心に置いています。同社はガラス基板プロセス用のウェット装置も製造し、ガラス基板のウェットプロセスを別の装置製造分野として明示しています。DMS Co., Ltd. はTGV (Through Glass Via)を技術・装置分野の一つとして掲載し、LCD、OLED、OLEDoS、ガラス基板ウェットプロセスの業務と並べています。製品紹介はOLED/LCDとOLEDoSのプロセス装置を中心に構成され、これらのディスプレイ製造環境における主要プロセス装置を社内で設計・製造できることを強調しています。
展示製品
FPD製造向けに、DMS Co., Ltd. はCleaning、Developing、Etching、Strippingという4つの主要プロセス装置すべてを社内で設計・製造できるとしています。Cleaningは4つのFPDプロセス装置の一つで、DMS Co., Ltd. が社内設計・製造するため、洗浄装置は同社の完全な4装置FPD製造セットの一部です。Developingも4つの主要FPDプロセス装置に含まれ、Cleaning、Etching、Strippingと同様に社内で設計・製造する能力を備えています。Etchingは同じ社内設計・製造範囲に含まれる別のFPD主要プロセス装置で、同社のFPD装置能力が洗浄や現像だけに限定されないことを示します。Strippingは4つのFPDプロセス装置を完成させ、DMS Co., Ltd. がCleaning、Developing、Etching、Strippingの4種類を社内で提供できることを明確にしています。OLEDoS製造向けには、DMS Co., Ltd. はPre-Clean、Post Dry-Etch Clean、Strip、Post-Dicing Cleanという主要ウェットプロセス装置を社内で設計・製造できると別途説明しています。Pre-CleanはOLEDoSウェットプロセス製品群で最初に挙げられる装置で、同社自身のOLEDoS製造装置の設計・製造能力に含まれます。Post Dry-Etch Cleanは明示された別のOLEDoSウェットプロセス装置で、ドライエッチング後の洗浄をDMS Co., Ltd. の社内設計・製造範囲に含めています。Stripは同じ社内装置能力の中で独立したOLEDoSウェットプロセス装置として挙げられ、Post Dry-Etch CleanやPost-Dicing Cleanとは別の装置です。Post-Dicing Cleanは4つのOLEDoSウェットプロセス装置を完成させ、同社の社内ウェット装置能力をOLEDoS製造フローのダイシング後洗浄まで広げています。全体として、Cleaning、Developing、Etching、Strippingの4装置FPDセットと、Pre-Clean、Post Dry-Etch Clean、Strip、Post-Dicing Cleanの4装置OLEDoSウェットプロセスセットを分けて示し、さらにガラス基板用ウェット装置とTGV (Through Glass Via)も掲載しています。
対応領域・製品
- FPD洗浄設備
- FPD現像設備
- FPDエッチング設備
- FPDストリッピング設備
- OLEDoSプレクリーン設備
- OLEDoSドライエッチ後洗浄設備
- OLEDoSストリップ設備
- OLEDoSダイシング後洗浄設備
- ガラス基板ウェットプロセス設備
- TGV（Through Glass Via）プロセス設備