基本情報
| ブース | T9226 |
会社概要
DMS Co., Ltd. は、OLED および LCD ディスプレイ、半導体設備、関連産業向け製造装置のサプライヤーであり、LCD・OLED・OLEDoS 生産向けの湿式プロセス装置を中核とする。半導体ガラス基板向け装置を含め、半導体関連の湿式装置を拡大してきた。製品情報には、洗浄や剥離などのウェハ工程で用いる枚葉式湿式処理装置が含まれる。ディスプレイおよび半導体製造に向けた、湿式プロセスおよび枚葉式の洗浄/剥離装置メーカーとして位置づけるのが適切である。
対応領域・製品
- LCD、OLED、OLEDoS 向けウェットプロセス装置
- 半導体ガラス基板向けウェット装置
- 半導体関連ウェット装置
- 枚葉式ウェットプロセス装置
- 枚葉式剥離装置
- 枚葉式洗浄装置