基本資料
| 攤位 | T9226 |
| 網站 | dms21.co.kr/en/index.asp |
公司簡介
DMS Co., Ltd. 製造 LCD、OLED 與 OLEDoS 的核心製程設備，將顯示器相關製程設備列為公司所述製造範圍的核心。公司亦製造玻璃基板製程所需的濕式設備，把玻璃基板的濕製程明確列為另一項設備製造領域。DMS Co., Ltd. 將 TGV (Through Glass Via) 列入其技術與設備領域，並與 LCD、OLED、OLEDoS 及玻璃基板濕製程等工作並列。其產品介紹以 OLED/LCD 與 OLEDoS 製程設備為主要分類，並強調針對這些顯示製造環境中的關鍵製程機台具備內部設計與製造能力。
展出產品
針對 FPD 製造，DMS Co., Ltd. 表示具備完整的內部設計與製造能力，可供應其產品線所列的四項關鍵製程機台：Cleaning、Developing、Etching 與 Stripping。Cleaning 是四項 FPD 製程機台之一，由 DMS Co., Ltd. 在內部完成設計與製造，因此清洗設備構成其完整四類 FPD 製造設備的一部分。Developing 亦列入四項關鍵 FPD 製程機台，與 Cleaning、Etching、Stripping 一樣具備完整的內部設計與製造能力。Etching 是同一套內部設計與製造範圍中的另一項 FPD 關鍵製程機台，因此公司的 FPD 設備能力不只限於清洗或顯影。Stripping 補足四項具名 FPD 製程機台，使 DMS Co., Ltd. 明確具備 Cleaning、Developing、Etching、Stripping 四類 FPD 製造設備的內部能力。針對 OLEDoS 製造，DMS Co., Ltd. 另表示具備完整的內部設計與製造能力，可供應 Pre-Clean、Post Dry-Etch Clean、Strip 與 Post-Dicing Clean 等關鍵濕製程機台。Pre-Clean 是 OLEDoS 濕製程產品線中第一項具名機台，納入公司自身的 OLEDoS 製造設備設計與製造能力。Post Dry-Etch Clean 是另一項明確列出的 OLEDoS 濕製程機台，將乾式蝕刻後清洗納入 DMS Co., Ltd. 可內部設計與製造的設備範圍。Strip 在同一套內部設備能力中被列為獨立的 OLEDoS 濕製程機台，與其旁列的 Post Dry-Etch Clean 與 Post-Dicing Clean 有所區分。Post-Dicing Clean 補足四項具名 OLEDoS 濕製程機台，使公司所述的內部濕式設備能力延伸至 OLEDoS 製程中的切割後清洗步驟。整體產品範圍將 Cleaning、Developing、Etching、Stripping 四項 FPD 設備與 Pre-Clean、Post Dry-Etch Clean、Strip、Post-Dicing Clean 四項 OLEDoS 濕製程設備分開呈現，同時另列玻璃基板濕式設備與 TGV (Through Glass Via)。
能力與產品項目
- FPD清洗設備
- FPD顯影設備
- FPD蝕刻設備
- FPD剝離設備
- OLEDoS預清洗設備
- OLEDoS乾式蝕刻後清洗設備
- OLEDoS剝離設備
- OLEDoS切割後清洗設備
- 玻璃基板濕製程設備
- TGV（Through Glass Via）製程設備