基本情報
| ブース | P5112 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.cicahuntek.com.tw |
会社概要
Cica-Huntek Chemical Technology Taiwan Co., Ltd.は2014年5月に設立され、台湾・新竹に所在し、資本金は150,000,000 TWDです。従業員は90名で、内訳はエンジニア65名、管理18名、営業・サポート6名、日本人1名です。株主はKanto Chemical Engineering Co., Ltd.とHuntek Systems Co., Ltd.です。2014年5月1日、現地化戦略の実行とサービス効率向上のため、旧台湾関東化学のエンジニアリングシステム部門が日台合弁のCica-Huntek Chemical Technology Taiwan Co., Ltd.へ移管されました。同社は関東が台湾で27年間培った専門的要求と技術を継承し、顧客に製品とサービスを提供しています。Cica-Huntek Chemical Technology Taiwan Co., Ltd.は薬品供給設備の開発・設計に取り組み、IC回路、TFT LCD・LED・OLEDなどの光電子製品、PV、パッケージング・テスト設備を含むハイエンド電子製造分野を対象としています。これらの製造分野での実績は顧客から評価されているとされています。同社は、7nmおよび10nmのハイエンドプロセスと4K2K高解像度ディスプレイプロセスを同時にサービスできるアジア唯一の薬品供給システムプロバイダーであるとしています。薬品供給システムの診断、点検、メンテナンス技術を継続的に向上させ、エンジニアリング品質と安全運転の要求に対応するエンジニアリングサービスも提供しています。現地化と統合・サービス効率向上のため、設備とシステムエンジニアリングでは日本関東化学の専門技術と品質要求を引き継いでいます。実績分野にはIC、TFT LCD、太陽エネルギー産業があります。
展示製品
Cica-Huntek Chemical Technology Taiwan Co., Ltd.のChemical Dispense System事業は、販売、製造、設置を明示的に含みます。Chemical Mixing SystemとChemical Dilution Systemも同じ販売、製造、設置の事業範囲に含まれます。Chemical Recycling Systemも販売、製造、設置の対象です。関連サービスにはメンテナンス、システム改造・改善、配管、設置、スペアパーツ在庫も含まれます。Cica-Huntek Chemical Technology Taiwan Co., Ltd.のサービスにはTCM Manpower ServicesとTank and Container Inspectionが含まれます。Hook-UpとChemical Dispense Systemもサービス分野です。Chemical Mixing and Dispensing SystemとChemical Dilution and Dispense Systemは別の装置・サービスカテゴリーです。Waste Chemical Collection SystemとChemical Regeneration and Recycling Equipment Systemは廃液処理と薬品再利用をカバーします。Installation and Piping OperationsとSystem Maintenanceは施工、接続、継続支援を担います。TCM Manpower Servicesは装置メンテナンスと人員運用を統合し、販売、運用、アフターサービスの保守・整備までをカバーします。Tank and Container Inspectionは装置を稼働させたまま実施でき、生産を停止せずに点検できます。各種検査機器で部品内部の劣化や異常を確認し、定期検査で蓄積したデータから劣化兆候が見つかった際の適切な交換時期を設定できます。Hook-Upの二次配関連エンジニアリングは、排気、純水、給排水、真空、プロセス冷却水、薬品供給・排出配管、各種ガス供給システムと標準調整盤を対象とします。顧客要求に応じ、事前計画、使用量計算、現地調査、設計図面、施工管理、完了試験、報告まで提供できます。Chemical Dispense Systemは半導体、FPD、太陽電池製造のCleaning、Etching、Stripping、Photo-Lithographyなど、高純度薬品を必要とする工程向けです。薬品の高純度を維持しながら製造装置へ安全に供給します。薬品は200L～20m3の容器で工場に運ばれ、ポンプまたは窒素圧送により容器から直接、または貯蔵タンクを介して供給できます。製造装置へ配管供給する前に、ろ過で粒子や不純物を除去できます。装置はCCB (Clean Coupling Booth)、CDB (Clean Drum Booth)、Transfer Unit、CDM (Chemical Dispense Module)、Storage Tank、Supply Tank、Chemical Dispense Pipeline、VMB (Valve Manifold Box)などで構成されます。使用量別にはLorry System、Drum System with Tank、LS-200 (Drum System without Tank)に分かれます。薬品種別では溶剤用Model-1、酸・アルカリ用Model-2、腐食性溶剤用Model-3です。Model-1は接液部にSS316LEP、SS316LBA、外装にSS304を使用します。Model-2は接液部にPFA、PTFE、外装にPPまたはPVCを使用します。Model-3は接液部にPFA、PTFE、外装にSS304を使用します。Chemical Mixing and Dispensing Systemは半導体とFPD製造で複数薬品を混合して作る薬液を対象とし、工場内で混合して製造装置へ供給することで薬品費と輸送費を低減します。代表例はエッチング工程の混酸と洗浄液です。混合濃度は自動滴定、near infrared (NIR)、pH meter、conductivity meterなどで確認できます。混合薬品が酸またはアルカリであるため、Model-2では接液部にPFA、PTFE、外装にPPまたはPVCを使用します。Chemical Dilution and Dispense Systemは半導体・FPD製造で使う低濃度薬品向けで、高純度薬品を工場内で純水希釈し、製造装置へ供給して薬品費と輸送費を低減します。代表薬品はdeveloperのTMAH、KOH、hydrofluoric acid、ammonium hydroxide、cleaning solutionです。希釈濃度はconductivity meter、refractometer、ultrasonic concentration analyzer、near infrared method (NIR)、pH meterで確認できます。酸・アルカリの希釈薬品にはModel-2として接液部PFA、PTFE、外装PPまたはPVCを使用します。Waste Chemical Collection Systemは半導体、FPD、太陽電池製造で使用済みの薬品を、重力またはポンプで配管搬送し、廃液回収タンクや処理装置へ送ります。廃液は溶剤、酸、hydrofluoric acid、アルカリ、hydrogen peroxideなどの性質別に分別回収します。酸・アルカリ廃液は一般に中和、凝集、沈殿処理後に放流されます。hydrogen peroxide廃液は分解後に放流し、分解設備がない場合は廃液処理業者へ委託します。溶剤廃液は回収、再利用、処理が可能な業者へ送ります。溶剤廃液の接液部は主にSS304、酸・アルカリ系はPP、PVC、PTFE lining、PFA pipeを使用します。Chemical Regeneration and Recycling Equipment Systemは、半導体、FPD、太陽電池で使用済みの薬品を回収、蒸留、ろ過、薬品添加によって再生し、製造プロセスで再利用します。IPA、Stripper、Ethanol、NMPを含む溶剤廃液は蒸留で不純物を除去し、高濃度化して再利用します。IPAとEthanolは共沸点があるため、さらに高濃度化する場合は第三成分の溶剤を加えて蒸留し、その後膜ろ過で水分を除去します。Developerはphotoresistなどの不純物をろ過除去し、濃度調整後に再利用します。Sulfuric acid廃液は蒸留濃縮して再生sulfuric acidを製造します。再生溶剤のModel-1では接液部にSS316LEP、SS316LBA、外装にSS304を使用し、酸・アルカリのModel-2では接液部にPFA、PTFE、外装にPPまたはPVCを使用します。Sulfuric acidの低温部はPFA、PTFE、高温部は耐熱ガラスと石英です。高純度薬品配管工事の施工手順は、基本的な工事品質と安全を確保するため、施工工程、設置方法、設置仕様を定めます。PFA、PVDF、CPVC、SUS316 LEP、SUS304などの高純度配管と関連部材を使う流体、酸、アルカリ、有機溶剤の配管、設置、位置決め、検査に適用されます。作業員は現場施工・安全管理規定を守り、安全帽、安全靴、安全帯、安全ゴーグルなどの基本保護具を使用します。人員と装置は入場前に許可・証明を取得し、施工は顧客手順に従って書面申請し、特殊作業ではリスク評価を提出します。作業前には周囲環境を点検し、安全表示と区画管理を行い、危険物を分類管理し、可燃物を適切に隔離します。設備・材料検査では長期経験と蓄積技術を使い、装置全体と使用材料の品質を試験・検証し、装置を停止せず稼働中に診断することもできます。これらを合わせると、薬品供給、混合、希釈、廃液回収、再生・リサイクル、Hook-Up、Tank and Container Inspection、設置・配管、System Maintenance、人員支援運用を半導体、FPD、太陽関連製造環境に提供します。
対応領域・製品
- TCM人材サービス
- タンク・容器検査
- Hook-Up二次配管工事
- 薬液供給システム
- 薬液混合供給システム
- 薬液希釈供給システム
- 廃液回収システム
- 薬液再生・リサイクル設備システム
- 設備据付・配管工事
- 薬液システム保守