기본 정보
| 부스 | Q6134 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.ballwave.jp/english/event |
회사 소개
Ball Wave Inc는 Ball SAW(Surface Acoustic Wave) 센서를 핵심 화학 센싱 기술로 개발하여 가스 검출에 소형화, 고속 응답, 높은 감도를 결합합니다. 이 센싱 방식은 대상 가스에 맞는 고유한 감응막을 작은 석영 구 표면에 형성하여 미량 수분, 수소, 천연가스, 유기 혼합가스와 기타 가스를 검출할 수 있습니다. 석영의 압전성을 이용하고 구면 가공으로 모서리를 없앰으로써 Ball SAW 구조는 평면 SAW 센서로는 달성하기 어려운 높은 감도와 고속 응답을 함께 구현하도록 설계되었습니다.
전시 제품
제품군에는 Ball SAW 센싱 기술을 핵심으로 하는 FalconTrace 미량 수분 분석기와 Sylph 초소형 가스 크로마토그래프가 포함됩니다. FalconTrace는 Ball SAW 센서를 사용해 산업용 가스와 천연가스에 극미량으로 포함된 물 분자를 정량 측정합니다. 매우 빠른 응답으로 수분량 변화를 실시간 모니터링할 수 있고, 배경 가스 조성 분석과 수분량을 함께 측정하는 2성분 측정에도 사용할 수 있으며, 가스 내 수분 농도를 1 ppb 수준까지 정확하게 측정할 수 있습니다. Ball SAW 측정 과정에서는 먼저 인터디지털 트랜스듀서가 표면 탄성파를 발생시키고, 이 파동이 석영 구의 적도 둘레를 전파하면서 감응막의 미세한 변화에 반응합니다. 이어서 인터디지털 트랜스듀서가 반응한 표면 탄성파의 신호 변화를 검출하고, 구를 여러 차례 도는 동안 누적된 미세 변화를 통합해 고감도 센싱을 구현합니다. 설치 및 적용 사례에는 주로 전처리 분야의 반도체 제조 장비 업체, 충전식 배터리 및 소재 제조업체의 제조 공정, 산업용 가스 제조업체가 포함됩니다. 수분량 변화를 수초 내에 모니터링할 수 있으므로 FalconTrace는 반도체 및 충전식 배터리 제조 공정에서 제품 수율과 품질을 안정화하는 데 사용할 수 있습니다. 각 배경 가스마다 다시 설정할 필요가 없고 천연가스처럼 구성 성분이 달라지는 경우에도 동시 검출이 가능하며, 석영 결정 구를 센서 재료로 사용해 내식성이 있고 가벼워 휴대하기 쉽습니다. FT-700WT Mk-II는 초미량 수분 측정을 구현하는 시리즈 최상위 모델로, 노점 –110°C에서 –42°C까지 넓은 범위를 측정합니다. 노점 측정 외에도 FT-700WT Mk-II는 평균 분자량에 해당하는 배경 가스 조성을 % 수준으로 검출하며, 한 대로 천연가스부터 고순도 가스까지 서로 다른 배경 가스를 다룹니다. 적용 예는 산업용 가스의 생산 및 출하 시 품질 관리와 반도체 제조용 가스의 순도 관리입니다. FT-450WT는 고속 응답과 장비 내장에 중점을 둔 고급 모델로, 노점 –100℃에서 –42℃까지 측정하며 센서 유닛을 본체와 분리해 배치 자유도를 높였습니다. 적용 분야에는 산업용 가스의 생산 및 출하 품질 관리와 정화 시스템 및 실린더 캐비닛 내장이 포함됩니다. FT-400WT는 중간 범위를 실시간 측정하는 중급 모델로, 노점 -90°C에서의 변화를 1초 이내에 검출해 실시간 제어 시스템 측정에 적합하며 내장형도 제공됩니다. 적용 사례에는 일반 제조 라인의 품질 관리와 배터리 제조 공정의 수분 함량 모니터링이 포함됩니다. Sylph는 Ball SAW 센서를 사용하는 초소형 가스 크로마토그래프로 CES 2023 Innovation Award를 수상했으며, 다양한 혼합가스의 종류와 농도를 측정할 수 있는 A5 크기의 휴대용 가스 분석기입니다.
역량 및 제품
- Ball SAW 미량 가스 화학 센싱
- 산업 및 천연가스 1 ppb 미량 수분 분석
- 초소형 혼합가스 가스크로마토그래피 분석