基本資料
| 攤位 | Q6134 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.ballwave.jp/english/event |
公司簡介
Ball Wave Inc 以 Ball SAW（Surface Acoustic Wave）感測器作為核心化學感測技術，將小型化、高速反應與高靈敏度結合於氣體偵測。這項感測方式會依目標氣體，在微小石英球表面形成特定敏感薄膜，因此可偵測微量水分、氫氣、天然氣、有機混合氣體及其他氣體。Ball SAW 架構運用石英的壓電性，並透過球面加工消除邊緣，以結合高靈敏度與平面 SAW 感測器無法達到的高速反應。
展出產品
產品範圍包括 FalconTrace 微量水分分析儀與 Sylph 超小型氣相層析儀，兩者皆以 Ball SAW 感測技術為核心。FalconTrace 使用 Ball SAW 感測器，定量量測工業氣體與天然氣中極微量的水分子。其反應速度極快，可即時監測水分變化，並能將水分量測與背景氣體組成分析結合為雙成分量測，同時把氣體中的水分濃度準確量到 1 ppb 等級。Ball SAW 的量測流程先由叉指換能器產生表面聲波，聲波沿石英球赤道傳播，並對敏感薄膜的細微變化產生反應。之後由叉指換能器偵測反應後表面聲波的訊號變化，再藉由整合聲波繞球多圈所累積的微小變化，實現高靈敏度感測。安裝與應用案例包括半導體製造設備廠商，主要為前處理領域，以及充電電池與材料製造商的製造流程和工業氣體製造商。由於可在數秒內監測水分變化，FalconTrace 可用於協助穩定半導體與充電電池製程的產品良率與品質。分析儀不需要針對每一種背景氣體重新設定，當成分像天然氣一樣會變動時也能進行同步偵測；石英晶球感測器同時具備耐腐蝕、重量輕且容易攜帶的特性。FT-700WT Mk-II 是系列中用於超微量水分量測的頂級型號，露點範圍為 –110°C 至 –42°C。除了露點量測外，FT-700WT Mk-II 也能以百分比等級偵測背景氣體組成，也就是相當於平均分子量的資訊，而且單一機台可涵蓋從天然氣到高純度氣體的不同背景氣體。其應用包括工業氣體在生產與出貨時的品質控制，以及半導體製造用氣體的純度控制。FT-450WT 是強調高速反應與設備內建的高階型號，露點量測範圍為 –100℃ 至 –42℃，並透過將感測單元與主機分離來提高配置自由度。FT-450WT 的應用包括工業氣體生產與出貨時的品質控制，以及整合到純化器系統與氣瓶櫃。FT-400WT 是用於中間範圍即時量測的中階型號，可在 1 秒內偵測從 -90°C 露點開始的變化，適合即時控制系統量測，亦提供內建型。其應用案例包括一般製造產線的品質控制，以及電池製造流程的含水量監測。Sylph 是採用 Ball SAW 感測器的超小型氣相層析儀，曾獲 CES 2023 Innovation Award；它是 A5 尺寸的可攜式氣體分析儀，可量測各種混合氣體的種類與濃度。
能力與產品項目
- Ball SAW 微量氣體化學感測
- 工業與天然氣 1 ppb 微量水分分析
- 超小型混合氣體氣相層析分析