基本情報
| ブース | Q6134 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.ballwave.jp/english/event |
会社概要
ボールウェーブ株式会社は、Ball SAW（Surface Acoustic Wave）センサーを中核の化学センシング技術として開発し、小型、高速応答、高感度を組み合わせたガス検知を実現しています。このセンシング方式では、対象ガスに応じた固有の感応膜を微小な水晶球の表面に形成し、微量の水分、水素、天然ガス、有機混合ガスなどを検知します。水晶の圧電性を利用し、球面加工によってエッジをなくすことで、Ball SAW構造は高感度と、平面SAWセンサーでは実現できない高速応答を両立するよう設計されています。
展示製品
製品群には、Ball SAWセンシング技術を中核とする微量水分計FalconTraceと超小型ガスクロマトグラフSylphが含まれます。FalconTraceはBall SAWセンサーを用いて、工業ガスおよび天然ガスに極微量に含まれる水分子を定量測定します。応答が極めて速いため水分量の変化をリアルタイムで監視でき、背景ガス組成分析と水分量を組み合わせた二成分測定にも対応し、ガス中の水分濃度を1 ppbレベルまで正確に測定できます。Ball SAWの測定では、まず櫛形電極トランスデューサーが表面弾性波を発生させ、その波が水晶球の赤道周辺を伝搬して感応膜のわずかな変化に反応します。続いて櫛形電極トランスデューサーが反応した表面弾性波の信号変化を検出し、球を複数周する間に蓄積された微小変化を統合することで高感度センシングを実現します。設置・用途例には、主に前処理分野の半導体製造装置メーカー、二次電池および材料メーカーの製造工程、工業ガスメーカーがあります。水分量の変化を数秒単位で監視できるため、FalconTraceは半導体および二次電池の製造工程で製品の歩留まりと品質の安定化に利用できます。背景ガスごとの再設定が不要で、天然ガスのように構成成分が変動する場合でも同時検出に対応でき、水晶球をセンサー材料に用いるため耐食性があり、軽量で持ち運びやすい特長もあります。FT-700WT Mk-IIは超微量水分測定を実現するシリーズ最上位モデルで、露点–110°Cから–42°Cまでの広い範囲を測定します。露点測定に加えて、FT-700WT Mk-IIは背景ガス組成、すなわち平均分子量相当を％レベルで検出し、1台で天然ガスから高純度ガスまで異なる背景ガスをカバーします。用途例は、工業ガスの製造時および出荷時の品質管理と、半導体製造用ガスの純度管理です。FT-450WTは高速応答と装置組み込みを重視した上位モデルで、露点–100℃から–42℃を測定し、センサーユニットを本体から分離することでレイアウトの自由度を高めています。用途には工業ガスの製造・出荷時の品質管理、精製装置やシリンダーキャビネットへの組み込みがあります。FT-400WTは中間領域をリアルタイム測定する中位モデルで、露点-90°Cからの変化を1秒以内に検出し、リアルタイム制御システムの測定に適しており、組み込み型も用意されています。用途例には一般製造ラインの品質管理と、電池製造工程の水分量監視があります。SylphはBall SAWセンサーを用いる超小型ガスクロマトグラフで、CES 2023 Innovation Awardを受賞しており、各種混合ガスの種類と濃度を測定できるA5サイズの携帯型ガス分析装置です。
対応領域・製品
- Ball SAW微量ガス化学センシング
- 工業・天然ガスの1 ppb微量水分分析
- 超小型混合ガス・ガスクロマトグラフィー