기본 정보
| 부스 | N0483 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.att-systems.com |
회사 소개
ATT Systems는 20년 이상의 열 관리 전문성을 바탕으로 반도체 산업용 첨단 열 솔루션과 온도 테스트 시스템을 개발하고 태양광 산업에도 관련 열 솔루션을 제공합니다. 온도 척 시스템은 -65°C에서 +600°C 범위를 지원하며 모듈형 개념과 범용 하이브리드 척 설계를 통해 공랭식 및 수랭식 운용, 운용 유연성, 비용 효율적인 업그레이드 경로와 맞춤화를 지원합니다. ATT Systems는 첨단 열 기술에 낮은 총소유비용과 전반적인 장비 효율에 대한 중점을 결합하며 품질, 신뢰성, 서비스, 지원 및 전체 고객 경험을 지속적으로 개선합니다. 회사는 현재와 미래의 요구사항을 다루는 차세대 제품을 개발하기 위해 파트너와의 적극적인 협업을 중시합니다.
전시 제품
ATT Systems는 편리하고 비용 효율적인 업그레이드, 투자 보호 및 손쉬운 맞춤화를 위한 모듈형 개념을 적용한 고성능의 신뢰성 높은 반도체용 온도 제어 시스템을 제공합니다. A-Series는 공랭식 고온 시스템으로 저온 시작점은 -10°C, +20°C 또는 주변 온도이고 고온 옵션은 +200°C, +300°C 또는 +350°C이며, C-Series는 -65°C 또는 -40°C에서 +200°C 또는 +300°C까지의 공랭식 저온 시스템, L-Series는 -65°C, -40°C 또는 -20°C에서 +200°C 또는 +300°C까지의 수랭식 시스템입니다. C-Series와 L-Series는 공랭식과 수랭식 모두에 사용할 수 있는 하이브리드 척을 사용하며 핵심 설계에는 두 냉각 방식에 대응하는 범용 척과 냉각 유닛의 유무와 관계없이 운용 가능한 하이브리드 척도 포함됩니다. A-Series, C-Series, L-Series 모두 표시된 온도 분해능은 0.01°C, 정확도와 안정도는 +/-0.1°C, 균일도는 +/-0.5°C 또는 +/-0.5%이며 저온에서 +200°C까지 평탄도는 A-Series +/-8 µm, C-Series와 L-Series +/-5 µm입니다. ATT Systems는 온도 테스트 제품에 이용 가능한 최상의 부품과 첨단 제조 기술을 사용하고 열적 및 기계적 안정성과 정밀도를 중점으로 설계한다고 설명합니다. Modular AddOn stacks는 eWLB, HV/HC, LN, Plain, Caro 등의 응용을 지원하며 Low Thermal Resistance 기술과 여러 온도 센서를 사용하는 MultiSense는 고정밀, 저전력, 센서 소자, 고출력 및 고병렬 응용에 대응합니다. IntelligentDry Air Control은 건조 공기 소비를 줄이는 능동 CDA purge 제어, 두 개의 개별 매체를 이용한 purge, bonding pad 보호 및 적응형 이슬점 제어를 제공합니다. 얇거나 휜 기판을 위해 극박 웨이퍼 및 기판용 특허 Bernoulli 기능, eWLB와 같은 고도 휨 기판 척킹 솔루션, 서로 다른 척 구역을 위한 adaptive power vacuum을 제공합니다. 모든 ATT 척 시스템은 낮은 전기 노이즈를 위해 Triax 연결을 표준으로 사용하며 AddOn 기술을 통한 sub-femto 옵션과 여러 고전압 및 고전류 솔루션도 제공합니다. 서비스에는 주요 프로버 플랫폼을 위한 현장 저온 업그레이드가 포함되며 수랭식 및 공랭식 -40°C와 -55°C 솔루션을 프로버 실링을 포함해 5에서 7영업일에 제공하고, 인증 교정 웨이퍼를 이용한 현장 척 온도 교정, 예방 유지보수, 다양한 서비스 또는 지원 계약도 제공합니다.
역량 및 제품
- -65C~+600C 온도 척 시스템
- 공랭/수랭 하이브리드 척
- Low Thermal Resistance 기술
- MultiSense 다중 온도 센서 기술
- IntelligentDry Air Control
- 초박형 웨이퍼 Bernoulli 핸들링·척킹
- 고휨 기판 척킹
- 프로버 현장 저온 업그레이드
- 척 온도 현장 교정