基本情報
| ブース | I2226 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.asnaglobal.com |
会社概要
Applied Seals Co., Ltd. (Taiwan) は Applied Seals North America とともに半導体、太陽光、バイオテクノロジー、製薬産業向けのエラストマーシーリングソリューションを提供し、半導体用途を主要なエンジニアリング分野としています。 グループは semiconductor-grade PERFREZ® perfluoroelastomer compounds を製造し、Hydraulic Seals、Pneumatic Seals、Aerospace Seals、Medical Seals、FFKM Seals、Perfluoroelastomer O-Rings、Explosive Decompression Seals など幅広いゴムシールも扱います。 要求の厳しい半導体用途向け fluoroelastomer seals の製造と梱包は Class 100 cleanroom 環境で行われ、製造工程は厳格に管理されています。 シーリング事業の品質枠組みには ISO3601-1 O-ring standards、ISO 9001、ISO 13485 が含まれます。 Applied Seals North America は 2009 年以来、半導体装置メーカー、半導体メーカー、重要サブシステム供給企業と協働し、シール技術による装置信頼性、プロセス性能、total cost of ownership の改善に取り組んでいます。 顧客は semiconductor equipment OEMs、IDMs、foundries、subsystem manufacturers、vacuum-system manufacturers、gas-delivery-system suppliers、plasma-equipment manufacturers、wet-process-equipment manufacturers にわたります。 エンジニアリング能力には application engineering、material selection、custom seal design、Finite Element Analysis (FEA)、failure analysis、root-cause investigation、seal standardization が含まれ、用途理解から検証、装置ライフサイクル全体の課題解決まで顧客を支援します。 技術イノベーションには PERFREZ® Semiconductor-Grade FFKM Materials、SmartSeal® PRISM OneKit®、QuikVU® Inspection Windows、Bonded Gate Technology、ACE® (ASNA Calculated Engineering)、Smart Set®、BKM® Semiconductor Sealing Guide が含まれます。 顧客支援は初期設計から量産まで続き、装置停止時間の削減、シール寿命延長、qualification の加速、製造信頼性向上、保守コスト低減を目指します。 ASNA は California に本社を置き、グローバルな製造・流通ネットワークを通じて North America、Europe、Asia の顧客に初期設計から量産までエンジニアリング支援、供給、技術知識を提供します。 品質活動は traceability、process consistency、manufacturing consistency、semiconductor-grade materials、continuous improvement、global quality standards を含み、業界活動には technical education、industry collaboration、engineering best practices、standards participation、data-driven manufacturing initiatives が含まれます。 組織全体でシール部品を装置信頼性とプロセス性能に関わる設計要素として扱い、材料、アプリケーション知識、設計解析、製造管理、技術支援を組み合わせて半導体生産環境へ提供します。
展示製品
wet cleaning 向けの ASNA perfluoroelastomer compounds は metallic-ion contamination を最小限に抑える必要がある static、dynamic、bonded applications 向けに設計され、材料清浄度が重要な半導体プロセスのシール位置に対応します。 これらの compounds は Oxidation、Diffusion、Annealing、RTP で見られる高温でも熱安定性と完全性を維持することを目的とし、各工程条件向けの高温シール選択肢を提供します。 HDPCVD、PECVD、SACVD、PVD、ALD の Thin Film 工程、および Dry Etch、Ashing では、next-generation perfluoroelastomer compounds を厳しい plasma、gas、chemical、高温環境向けに位置付けています。 AS-568A、JIS series、Metric sizes の semiconductor-grade O-rings を製造し、社内 tool makers が要求の厳しい半導体用途向けに高精度の標準および custom molds を製作します。 統合設計・製造により標準品と custom made-to-order の FFKM O-rings、seal components に対応し、用途要件に合わせて寸法やシール構成を調整できます。 ASNA product line には AS568 standard O-rings と custom seals、PERFREZ® semiconductor-grade FFKM materials、Bonded Gate Technology、SmartSeal® PRISM OneKit® with QuikVU® windows、ACE®、Smart Set®、BKM® Semiconductor Sealing Guide が含まれます。 製品ファミリには幅広い工程向け PERFREZ® PXC Series、高温半導体環境向け MX Series™、plasma、wet、dry 用 PERFREZ® Series、XL Series® semiconductor-grade FFKM O-rings and seals があります。 PRISM oneKit® と QuikVU® Clamp は semiconductor subfab systems の高完全性シール向けで、KF & NW fittings と BKM® ガイダンスは subfab の fittings と clamps のシーリング実務に対応します。 PERFREZ® semiconductor-grade FFKM seals は高温と aggressive chemicals にさらされる chemical-process および一般産業用途向けで、plasma、wet、dry の半導体条件も含みます。 PERFREZ® 製品には MX Series、PXC-Ultra、PXC、XL15、XL12、XL11、XS12、6022、5033 があり、半導体用途向けに複数の材料・シールファミリを提供します。 ASNA は標準およびカスタム FFKM elastomer compounds を提供し、異なる厚さ、長さ、サイズで semiconductor-grade FFKM O-rings and seals を顧客要件に合わせてカスタマイズし、設計最適化にも対応します。 アプリケーション支援は製品納入だけで終わらず performance optimization を支援し、semiconductor-grade O-rings and seals を保守までの長く安定したプロセス運転と結び付けています。 サービスは design、prototyping から installation、test、production までを対象とし、material recommendation、product design、installation technique、performance analysis を含みます。 Performance and failure analysis では使用済みシールの traces、marks、profiles、residue を調べ、thermal degradation、mechanical degradation、plasma chemical attack、inherent design flaws などの故障モードを検討します。 Material and design recommendation は thermal、chemical、hardware 条件を考慮し、platform and groove evaluation を perfluoroelastomer material と seal design 選定の基礎として実際の工程制約との整合を図ります。 Prototyping and installation 支援では過伸長、ねじれ、溝への適切な装着を扱い、installation videos と tools で perfluoroelastomer seals の正しい取り扱いを案内します。 Sealing Technology Training と seminars は tool owners、maintenance technicians、component engineers、facility managers を対象とし、BKM™ guidebook は semiconductor SubFab の NW / ISO fittings と clamps に実用的なガイダンスを提供します。 semiconductor-grade FFKM materials、標準・カスタム O-rings、精密 molds、bonded-gate と subfab products、解析、設置支援、教育、故障調査を組み合わせ、Applied Seals Co., Ltd. (Taiwan) はシール部品とその周辺 application engineering の両方を提供します。
対応領域・製品
- 半導体グレードFFKMパーフルオロエラストマー材料
- Class 100クリーンルームでのフッ素ゴムシール製造
- 油圧シール
- 空気圧シール
- FFKMシール
- パーフルオロエラストマーOリング
- カスタムシール設計
- シール有限要素解析（FEA）
- シール故障解析