基本資料
| 攤位 | I2226 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.asnaglobal.com |
公司簡介
茂詮應用密封元件股份有限公司與 Applied Seals North America 為半導體、太陽能、生物技術與製藥產業提供彈性體密封解決方案，其中半導體應用是主要工程重點。 集團製造半導體級 PERFREZ® perfluoroelastomer compounds，並提供更廣泛的橡膠密封產品，包括 Hydraulic Seals、Pneumatic Seals、Aerospace Seals、Medical Seals、FFKM Seals、Perfluoroelastomer O-Rings 與 Explosive Decompression Seals。 高度要求半導體應用的 fluoroelastomer seals 製造與包裝在 Class 100 cleanroom 環境中進行，生產流程被描述為受到嚴格控制。 密封業務的品質架構包括 ISO3601-1 O-ring standards、ISO 9001 與 ISO 13485。 Applied Seals North America 自 2009 年起與半導體設備製造商、半導體製造商及關鍵子系統供應商合作，透過密封技術改善設備可靠度、製程效能與 total cost of ownership。 其客戶類型涵蓋 semiconductor equipment OEMs、IDMs、foundries、subsystem manufacturers、vacuum-system manufacturers、gas-delivery-system suppliers、plasma-equipment manufacturers 與 wet-process-equipment manufacturers。 工程能力包括 application engineering、material selection、custom seal design、Finite Element Analysis (FEA)、failure analysis、root-cause investigation 與 seal standardization，客戶合作從理解應用、驗證方案一路延伸到設備生命週期的問題解決。 工程創新項目包括 PERFREZ® Semiconductor-Grade FFKM Materials、SmartSeal® PRISM OneKit®、QuikVU® Inspection Windows、Bonded Gate Technology、ACE® (ASNA Calculated Engineering)、Smart Set® 與 BKM® Semiconductor Sealing Guide。 客戶支援從早期設計延伸至高產量製造，目標包括降低設備停機、延長密封件壽命、加速 qualification、提高製造可靠度及降低維護成本。 ASNA 總部位於 California，並由全球製造與配送網路支援，在 North America、Europe 與 Asia 從初期設計到量產提供工程支援、穩定供應與技術專業。 品質活動包括 traceability、process consistency、manufacturing consistency、semiconductor-grade materials、continuous improvement 與 global quality standards；產業參與則包括 technical education、industry collaboration、engineering best practices、standards participation 與 data-driven manufacturing initiatives。 整體而言，組織把密封元件視為設備可靠度與製程效能的工程要素，結合材料、應用知識、設計分析、製造控制與技術支援，服務半導體生產環境。
展出產品
針對 wet cleaning，ASNA 的 perfluoroelastomer compounds 針對需要極低 metallic-ion contamination 的 static、dynamic 與 bonded applications 進行設計，服務半導體製程中重視材料潔淨度的密封位置。 這些 compounds 著重在 Oxidation、Diffusion、Annealing 與 RTP 等高溫製程條件下維持熱穩定性與完整性，提供相應的高溫密封選項。 在 HDPCVD、PECVD、SACVD、PVD 與 ALD 等 Thin Film 製程，以及 Dry Etch 與 Ashing 中，ASNA 的 next-generation perfluoroelastomer compounds 面向嚴苛 plasma、gas、chemical 與高溫環境。 公司製造 AS-568A、JIS series 與 Metric sizes 的 semiconductor-grade O-rings，並由內部 tool makers 製作高精度標準及 custom molds，以支援要求嚴格的半導體應用。 整合式設計與製造亦支援標準或 custom made-to-order FFKM O-rings 與 seal components，可依應用需求調整尺寸與密封配置。 ASNA product line 包括 AS568 standard O-rings 與 custom seals、PERFREZ® semiconductor-grade FFKM materials、Bonded Gate Technology、SmartSeal® PRISM OneKit® with QuikVU® windows、ACE®、Smart Set® 與 BKM® Semiconductor Sealing Guide。 具名產品家族包括涵蓋多種製程的 PERFREZ® PXC Series、面向高溫半導體環境的 MX Series™、用於 plasma、wet、dry 應用的 PERFREZ® Series，以及 XL Series® semiconductor-grade FFKM O-rings and seals。 PRISM oneKit® 與 QuikVU® Clamp 用於 semiconductor subfab system 的高完整性密封，KF & NW fittings 與 BKM® 指引則處理 subfab fittings 與 clamps 的密封實務。 PERFREZ® semiconductor-grade FFKM seals 用於高溫與 aggressive chemicals 的 chemical-process 及一般工業應用，其中包括 plasma、wet 與 dry 半導體條件。 PERFREZ® 產品清單包括 MX Series、PXC-Ultra、PXC、XL15、XL12、XL11、XS12、6022 與 5033，為半導體應用提供一組具名材料與密封家族。 ASNA 提供標準與客製 FFKM elastomer compounds，並依客戶需求以不同厚度、長度與尺寸客製 semiconductor-grade FFKM O-rings and seals，同時提供設計客製與最佳化。 應用支援不只停在產品交付，而是用於 performance optimization，公司也把 semiconductor-grade O-rings and seals 與維護前較長且穩定的製程運行連結。 服務支援從 design、prototyping 延伸到 installation、test 與 production，包括 material recommendation、product design、installation technique 與 performance analysis。 Performance and failure analysis 會檢視使用後密封件的 traces、marks、profiles 與 residue，以調查 thermal degradation、mechanical degradation、plasma chemical attack 與 inherent design flaws 等可能失效模式。 Material and design recommendation 會考量 thermal、chemical 與 hardware 條件；platform and groove evaluation 則作為選擇 perfluoroelastomer material 與 seal design 的基礎，以符合實際製程限制。 Prototyping and installation 支援處理密封件過度拉伸、扭轉與在溝槽中的正確就位，並透過 installation videos 與 tools 指導 perfluoroelastomer seals 的正確操作。 Sealing Technology Training 與 seminars 服務 tool owners、maintenance technicians、component engineers 與 facility managers；BKM™ guidebook 則提供 semiconductor SubFab 中 NW / ISO fittings 與 clamps 的實務指引。 透過 semiconductor-grade FFKM materials、標準與客製 O-rings、精密 molds、bonded-gate 與 subfab products、工程分析、安裝支援、訓練及失效調查的組合，茂詮應用密封元件股份有限公司同時涵蓋密封元件本身與周邊 application engineering。
能力與產品項目
- 半導體級FFKM全氟橡膠材料
- Class 100無塵室氟橡膠密封件製造
- 液壓密封件
- 氣動密封件
- FFKM密封件
- 全氟橡膠O型環
- 客製密封件設計
- 密封件有限元素分析(FEA)
- 密封失效分析