基本情報
| ブース | I2100 |
| 国 | US |
| ウェブサイト | wkfluidhandling.com |
会社概要
White Knight Fluid Handling, Inc. は、脱イオン水および薬液用途向けの超高純度ポンプ、ヒーター、ウェットプロセスタンクを提供しています。35年以上の経験を持ち、製品範囲は空気駆動ダブルベローズポンプ、DI 加熱システムから高純度ウェットプロセスタンクまで及びます。特許取得済みの製品設計は、半導体、太陽光、LED、電子産業向けです。同社はエンジニアリングと製造を社内で行い、Class 100 クリーンルームで製品の組立、試験、梱包を実施しています。White Knight Fluid Handling, Inc. は複雑な流体処理ニーズに対応し、その製品は試験が可能で、高い要求の用途や過酷な環境で信頼性をもって動作できます。
展示製品
White Knight の空気圧ベローズポンプは PTFE と PFA の流路を採用し、高流量、安定圧力、安定温度を提供し、金属やエラストマー O リングを含まず、漏れのない構造、dead-head 運転、吸上げに対応します。空気圧ダイヤフラム AODD ポンプは耐食性 PTFE 流路を使用し、酸、燃料、接着剤、塗料、樹脂、インク、スラリーなどの腐食性または有毒な液体に対応します。空気圧式および電子式の定量ポンプはそれぞれ最大 100 ml と 50 ml を吐出し、全面支持型 PTFE ローリングダイヤフラムにより圧力能力を高め、安全で信頼性の高い薬液吐出を支えます。Mini-pump は最大 300 ml/min の流量と 160 psi の吐出圧力を提供し、PTFE と PFA の流路を備え、ばね式チェック機構により任意の方向に取り付けられます。インラインおよびトップマウントの脈動ダンパーは脈動を低減し、流量制御とバッチ歩留まりを改善し、フィルター、継手、配管などを保護して修理停止時間を抑えます。汎用コンパクト多室フィルターハウジングは高純度薬液向けに PTFE と PFA の流路を採用し、デュアルボウルとクアッドボウルを並列またはインラインで選択できます。White Knight のデバブラーは薬液供給およびウェハプロセスシステムの気泡を低減し、高純度薬液用途向けに耐薬品性 PTFE と PFA 流路を採用しています。遠隔パイロット式圧力レギュレーターは追加回路やフィードバックなしで循環ループや複数吐出点の圧力を自動維持し精密制御し、完全掃流型 PTFE と PFA 流路を使用します。iPolymer 製品には、PTFE、PVDF、Polypro 接液流路の高純度 Solenoid、Pneumatic、Manual、Suck Back、Pressure Relief valves、DI リンス、窒素乾燥、再循環、液体吐出用 PTFE スプレーガン、PVC、Polypropylene、PVDF 製で位置センサーを選択できるエアシリンダー、clean dry air または Nitrogen で駆動してガス、水、薬液を吸引する PTFE エアおよび液体アスピレーターがあります。高純度クローズドループシステムは金属を使わない PTFE ポンプで層流または安定圧力を維持し、安定温度、dead-head 運転、吸上げを提供し、最大 140 lpm（36 gpm）、最大 7 Bar（100 psi）、最大 210°C（410°F）に対応します。これらのシステムは金属、エラストマー O リング、電動モーター、インペラーを使用せず、腐食、漏れ、温度上昇、マイクロバブルを避けながら高純度薬液プロセスの自動化を簡素化し、時間、資源、コストの削減を図ります。White Knight のヒーターには Aquarius® DI 水加熱システム、強い酸や薬液向け HC Series インライン PFA ヒーター、DI 水、酸、比較的穏やかなプロセス薬液向けインライン PVDF ヒーター、加熱、冷却、温度微調整向け Vesper™ PVDF/PFA 熱交換器、Heateflex PFA 浸漬タンクヒーター、薬液、溶剤、ガス向け Accuheat™ 石英および PFA インラインヒーター、低ワット・低流量で空間が限られる用途向け 50-mm（2-in）筐体の HX50 コンパクトインラインヒーターがあります。Accuheat™ PFA 溶剤ヒーターは Isopropyl alcohol、Acetone、Ethanol、Toluene、EKC、MEK、NMP、PFA 薬液ヒーターは hydrofluoric acid（HF）や potassium hydroxide（KOH）など、石英ガスヒーターは Nitrogen（N2）、Ammonia（NH3）、Helium（He）、Argon（Ar）、BCl3、HCl、CO、CO2 向けとして掲載されています。ヒーター範囲には脱イオン水、薬液、ガス、溶剤向けのガス加熱システム、工業用水ヒーター、浸漬ヒーターもあり、旧型には Aries Solvent Heaters、Fluidix® Steam-Powered DIW Heaters、Poseidon™ Stainless Steel Heaters、SX Stainless Steel Heaters、Demeter™ Systems があります。ウェットプロセス製品には、石英適合薬液を最大 190°C で扱う Accubath™ 加熱石英槽、溶接部と継ぎ目を減らして粒子を抑える Accubath™ PTFE、PVDF、PFA、NPP ウェットプロセスおよびリンス槽、薬液を最大 300°C まで加熱する Accubath™ サファイアウェットエッチ槽があります。Megasonic 洗浄システムは高周波音響エネルギーで繊細な基板を損傷せずにサブミクロン粒子を除去し、連続エネルギー供給、ビームスキャン、位相シフトにより洗浄効率向上と薬液削減を図り、PVDF、PFA、Quartz 槽で提供されます。Accumeg™ 槽は隙間のないトランスデューサーと並列接続した厳密に整合した結晶でプロセス均一性を高め、HyperClean™ はエネルギー伝達技術によりサブミクロン洗浄、運用コスト低減、信頼性を実現し、RF Generator と組み合わせたトランスデューサーモジュールは既存槽への後付けや bulkhead transducer plate としての取り付けに対応します。 製品カタログには Bellows Pump シリーズ PA、PSA、PSH、PSU、PSR、PFA、PFH、PFU、PXA、PXH、PXU、PL60、AP40EXT3、Metering Pump シリーズ PEM、PPM、PPMC Mini、DI Water Heater Systems、Inline Heaters、PFA Tank Heaters、Vesper Heat Exchangers、CBA・CBU Debubblers、FHA・FHU Filter Housings と Catcher Pre-Filters、Pressure Regulators、Pressure Vessels、Spray Guns、Manual、Pneumatic、Check、Pressure-Relief、Solenoid Valves、Accubath Quartz・Plastic・Wet Etch Tanks、Accumeg・HyperClean Megasonic Systems、さらに Closed-Loop Controllers、Cycle Rate Translators、Fittings、Grounding Adapters、Pulse Dampeners、Quick Dump Valves、Temperature Controllers、Air Cylinders、Aspirators、Gauge Isolators などのアクセサリーも掲載されています。
対応領域・製品
- 超高純度空気作動ダブルベローズポンプ
- PTFE空気作動ダイヤフラムAODDポンプ
- 高純度薬液用定量ポンプ
- 高純度流体用脈動ダンパー
- 高純度薬液用デバブラー
- DI水加熱システム
- PFA/PVDFインライン流体ヒーター
- 高純度ウェットプロセスタンク
- メガソニック洗浄システム