基本資料
| 攤位 | I2100 |
| 國別 | US |
| 網站 | wkfluidhandling.com |
公司簡介
White Knight Fluid Handling, Inc. 提供去離子水與化學品應用用的超純泵浦、加熱器與濕製程槽。憑藉超過 35 年的經驗，其產品範圍從氣動雙波紋管泵浦、DI 加熱系統延伸至高純度濕製程槽。其專利產品設計服務半導體、太陽能、LED 與電子產業。公司在內部進行工程與製造，並於 Class 100 無塵室中完成產品組裝、測試與包裝。White Knight Fluid Handling, Inc. 處理複雜的流體處理需求，其產品可接受測試，並可在高要求應用與嚴苛環境中可靠運作。
展出產品
White Knight 氣動波紋管泵浦採用 PTFE 與 PFA 流道，提供高流量、穩定壓力與穩定溫度，不含金屬或彈性體 O 型環，並具無洩漏、可 dead-head 運轉與吸上能力。其氣動隔膜 AODD 泵浦採用耐腐蝕 PTFE 流體通道，可處理酸液、燃料、膠水、塗料、樹脂、油墨與研磨漿等腐蝕性或有毒液體。氣動與電子計量泵浦分別可定量輸送最高 100 ml 與 50 ml，並採用完整支撐的 PTFE 滾動膜片以提高壓力能力並支援安全、可靠的化學品定量輸送。Mini-pump 流量最高 300 ml/min、排出壓力最高 160 psi，採用 PTFE 與 PFA 流道，並可藉由彈簧式止回結構以任意方向安裝。直列式與頂裝式脈動阻尼器可降低脈動、改善流量控制、提高批次良率，並保護過濾器、接頭、管路等系統元件，以減少維修停機時間。通用型緊湊多腔室濾殼採用 PTFE 與 PFA 流道供高純度化學品使用，雙碗與四碗版本可選平行或直列配置。White Knight 除泡器可降低化學品輸送與晶圓製程系統中的氣泡，並採用耐化學性的 PTFE 與 PFA 流道，用於高純度化學品應用。遙控導壓式壓力調節器可在不增加額外電路或回授的情況下，自動維持並精準控制循環迴路或多個供液點的壓力，並採用完整掃流的 PTFE 與 PFA 流道。iPolymer 產品包括採用 PTFE、PVDF 或 Polypro 接液流道的高純度 Solenoid、Pneumatic、Manual、Suck Back 與 Pressure Relief valves，用於 DI 沖洗、氮氣乾燥、循環與液體供應的 PTFE 噴槍，採用 PVC、Polypropylene、PVDF 並可選位置感測器的氣缸，以及以 clean dry air 或 Nitrogen 驅動、用於虹吸氣體、水與化學品的 PTFE 氣體與液體抽吸器。高純度閉迴路系統採用無金屬 PTFE 泵浦以維持層流或穩定壓力，提供穩定溫度、dead-head 運轉與吸上能力，規格可達 140 lpm（36 gpm）流量、7 Bar（100 psi）壓力與 210°C（410°F）溫度。此類閉迴路系統不含金屬、彈性體 O 型環、電動馬達與葉輪，藉此避免腐蝕、洩漏、溫升與微氣泡，並簡化高純度化學製程自動化，以節省時間、資源與成本。White Knight 加熱產品包括 Aquarius® DI 水加熱系統、用於強腐蝕性酸液與化學品的 HC Series 直列式 PFA 流體加熱器、用於 DI 水、酸液與較溫和製程化學品的直列式 PVDF 流體加熱器、用於加熱、冷卻與溫度微調的 Vesper™ PVDF/PFA 熱交換器、Heateflex PFA 浸入式槽體加熱器、用於化學品、溶劑與氣體的 Accuheat™ 石英與 PFA 直列式加熱器，以及採 50-mm（2-in）外殼、適用低瓦數與低流量空間受限應用的 HX50 緊湊型直列式加熱器。Accuheat™ PFA 溶劑加熱器列出的介質包括 Isopropyl alcohol、Acetone、Ethanol、Toluene、EKC、MEK 與 NMP；PFA 化學加熱器包含 hydrofluoric acid（HF）與 potassium hydroxide（KOH）等應用；石英氣體加熱器列有 Nitrogen（N2）、Ammonia（NH3）、Helium（He）、Argon（Ar）、BCl3、HCl、CO 與 CO2。加熱產品也包括用於去離子水、化學品、氣體與溶劑的氣體加熱系統、工業用水加熱器與浸入式加熱器，舊型系統則包括 Aries Solvent Heaters、Fluidix® Steam-Powered DIW Heaters、Poseidon™ Stainless Steel Heaters、SX Stainless Steel Heaters 與 Demeter™ Systems。濕製程產品包括可處理最高 190°C 石英相容化學品的 Accubath™ 加熱石英槽、藉由減少焊接與接縫來降低粒子的 Accubath™ PTFE、PVDF、PFA、NPP 濕製程與沖洗槽，以及可將化學品加熱至最高 300°C 的 Accubath™ 藍寶石濕蝕刻槽。Megasonic 清洗系統利用高頻聲學能量在不損傷脆弱基材的情況下去除次微米粒子，並透過連續能量輸出、波束掃描與相位偏移提升清洗效率並降低化學品使用量，可搭配 PVDF、PFA 或 Quartz 槽體。Accumeg™ 槽體使用無間隙換能器與緊密匹配、平行接線的晶體以提升製程均勻性，HyperClean™ 採用能量傳遞技術以進行次微米清洗、降低營運成本並提升可靠性，而搭配 RF Generator 的換能器模組可改裝既有槽體或作為 bulkhead transducer plate 安裝。 產品目錄另列有 Bellows Pump 系列 PA、PSA、PSH、PSU、PSR、PFA、PFH、PFU、PXA、PXH、PXU，以及 PL60 與 AP40EXT3；Metering Pump 系列 PEM、PPM 與 PPMC Mini；DI Water Heater Systems、Inline Heaters、PFA Tank Heaters 與 Vesper Heat Exchangers；CBA 與 CBU Debubblers；FHA、FHU Filter Housings 與 Catcher Pre-Filters；Pressure Regulators、Pressure Vessels、Spray Guns、Manual、Pneumatic、Check、Pressure-Relief 與 Solenoid Valves；Accubath Quartz、Plastic 與 Wet Etch Tanks；Accumeg 與 HyperClean Megasonic Systems；以及 Closed-Loop Controllers、Cycle Rate Translators、Fittings、Grounding Adapters、Pulse Dampeners、Quick Dump Valves、Temperature Controllers、Air Cylinders、Aspirators 與 Gauge Isolators 等配件。
能力與產品項目
- 超高純度氣動雙波紋管泵
- PTFE 氣動隔膜 AODD 泵
- 高純度化學品計量泵
- 高純度液體脈動阻尼器
- 高純度化學品除泡器
- DI 水加熱系統
- PFA／PVDF 線上流體加熱器
- 高純度濕式製程槽
- 兆聲波清洗系統