기본 정보
| 부스 | T9404 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | visioniv.co.jp/diamond-substrate-development |
회사 소개
VISION IV Corporation은 양자 센서, 방사선 검출기, 차세대 전력 반도체용 고순도 단결정 다이아몬드 기판을 개발합니다. 반도체와 센서용 다이아몬드 기판을 개발, 제조, 판매하며 고품질 다이아몬드 기판을 차세대 전력 반도체와 센서의 기반 소재로 제공합니다. 확장 가능한 결정 성장과 정밀 도핑 제어를 결합해 실리콘 기반 기술이 적합하지 않은 극한 환경에서 신뢰성 있는 동작을 지원합니다. VISION IV Corporation은 다이아몬드 소재가 높은 열전도성, 방사선 내성, 내구성을 제공해 까다로운 소자 환경에 대응할 수 있다고 설명합니다. 첨단 소재 과학과 산업 제조를 연결해 항공우주, 원자력, 의료, 반도체 응용을 지원합니다. 또한 차세대 센싱과 고성능 전자 기술을 위해 다이아몬드 기반 소자의 상용화를 추진하고 있습니다.
전시 제품
VISION IV Corporation의 핵심 기술은 오랜 연구개발을 바탕으로 한 고품질 합성 다이아몬드 제조 공정과 다이아몬드의 특성을 최대한 활용하는 정밀 가공 및 응용 기술을 결합합니다. 『Diamond Electrode-Integrated Anvil』은 고온고압 조건에서 물질 특성을 평가하는 데 사용되며 신소재 개발과 지구 내부 구조 연구를 지원합니다. 다이아몬드 기판 제조에는 Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition, 즉 MPCVD 기반의 독자 결정 성장 기술을 사용합니다. 고속 대면적 성장 기술은 세계 수준의 호모에피택셜 성장 속도를 달성한 것으로 설명되며 생산 효율 향상을 목표로 합니다. 결함 억제 공정 기술은 버퍼층을 도입해 결정 결함의 전파를 막고 표면 결함 밀도를 10³ cm⁻² 미만으로 낮춘 고품질 기판을 제조합니다. 후막 성장 기술은 균열 형성을 억제하고 자립형 후막 성장을 가능하게 하며, 회사는 CVD 방식으로 세계 최초의 자립형 단결정 다이아몬드 (111) 기판을 제작했다고 밝힙니다. p형 반도체를 위한 초고농도 붕소 도핑 기술도 도입했습니다. 품질공학과 AI를 결합한 개발 공정을 통해 장비 설치 후 6개월 만에 다이아몬드 결정 성장 기술을 확립했습니다. 재료 개발부터 양산까지 이어지는 종합 기술 역량을 바탕으로 다이아몬드 기술을 에너지 관련 과제에 적용하는 것을 목표로 합니다. 1~2년의 단기 로드맵에는 『Diamond Electrode-Integrated Anvil』의 압력 및 온도 범위 확대와 센서 기능 통합을 통한 성능 향상이 포함됩니다. 단기 계획에는 특정 응용을 위한 맞춤화 역량 강화와 일본 내 주요 연구기관 및 대학의 채택 확대도 포함됩니다. 3~5년의 중기 계획은 더 큰 직경, 무결함 구조, 특수 기능을 갖춘 다이아몬드 등 차세대 합성 기술과 반도체 제조 공정용 다이아몬드 부품 출시를 포함합니다. 또한 양자 기술 응용을 위한 다이아몬드 제품을 개발하고 아시아 시장을 중심으로 해외 확장을 추진합니다. 5년 이후의 장기 계획에는 다이아몬드 기술을 활용한 에너지 및 의료 소자, 포괄적인 다이아몬드 기술 플랫폼, 관련 생태계 구축이 포함됩니다. 전체 제품과 기술은 센서 및 차세대 전력 반도체를 대상으로 MPCVD 성장, 결함 제어, 후막 성장, 도핑, 정밀 가공, 응용 개발을 하나의 다이아몬드 기판 기술 체계로 연결합니다.
역량 및 제품
- 다이아몬드 기판 개발·제조·판매
- MPCVD 다이아몬드 결정 성장
- 고속·대면적 다이아몬드 성장
- 다이아몬드 기판 결함 억제 공정
- 자립형 단결정 다이아몬드(111) CVD 기판
- p형 반도체용 초고농도 붕소 도핑
- 합성 다이아몬드 정밀 가공 및 응용