基本情報
| ブース | N0192 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | mds.umicore.com/en/thin-film-products |
会社概要
Umicore Thin Film Products AGは、薄膜成膜用途向けにスパッタリングターゲット、蒸着材料、アクセサリを供給しています。同社は、材料品質が成膜プロセスの効率と最終的な成膜品質の両方に影響するとしています。Umicore Thin Film ProductsはISO 9001:2008、ISO 14001:2004、OHSAS 18001:2007のサプライヤーです。材料範囲には、現在の蒸着・スパッタリングプロセスと用途向けの金属、合金、dieelectricsが含まれます。製品ポートフォリオは、R&D know-how、高度な製造能力、リサイクル能力、世界各地の現地販売拠点、カスタマーサポートセンターによって支えられています。Umicore Thin Film Productsは現地生産も可能としており、グローバルな販売・支援体制にローカル生産能力を組み合わせています。Umicoreは、advanced packaging、compounds、microsystems、silicon front-end分野の薄膜用途に合わせたコーティング材料を開発、製造、供給しています。これらの活動は、材料開発・製造と、複数の薄膜プロセス分野に向けた用途別供給を組み合わせています。
展示製品
Thin Film Productsのポートフォリオは、物理気相成長向けの幅広いコーティング材料を対象とし、スパッタリングターゲットと蒸着材料は多様なPVDシステムでの性能向上に向けて継続的に最適化されています。製品検索は、evaporation materials、sputtering targets、Physical Vapor Deposition Accessoriesの3カテゴリーで構成されています。Umicore Thin Film Productsは、コーティング材料の選定と使用を支援するため、オンラインとオンサイトの両方で技術サポートを提供します。スパッタリングターゲットでは、物理気相成長用コーティング材料について60年以上の経験を持つとし、幅広いターゲット材料を提供しています。ターゲットは単一の最終市場に限定されず、さまざまな産業の多様なPVD用途で使用されます。標準スパッタリングターゲット材料はそれぞれの標準純度で提供され、その他の材料も要望に応じて供給できます。固有の成膜要求に対しては、特殊ターゲット材料を顧客と検討するための知識と資源を備えています。ターゲットはEvatec、Applied Materials、SPTS、Ulvacなど一般的なスパッタ装置OEMプラットフォーム向けに製造できます。スパッタリングターゲット、蒸着材料、PVDアクセサリを通じて、標準材料、特殊材料の共同検討、装置に合わせた最適化、PVDニーズへの技術支援を組み合わせています。同じコーティング材料基盤は、advanced packaging、compounds、microsystems、silicon front-end分野の薄膜用途にも対応します。 物理気相成長向けの製品構成は単一のターゲット形態に限らず、コーティング材料を軸に、蒸着材料、スパッタリングターゲット、専用PVDアクセサリを組み合わせて異なる成膜要求に対応します。製品検索ツールは、これら3カテゴリーから特定のPVD要求に適したコーティング材料を見つけられるよう設計されています。長年の経験と協力関係を活用し、ターゲットと蒸着材料を多様なPVDシステムで最大性能が得られるよう継続的に最適化しています。スパッタリングターゲットは、標準材料・標準純度のカタログと、要望に応じて標準外材料を供給する能力を組み合わせています。
対応領域・製品
- PVDスパッタリングターゲット供給
- PVD蒸着材料の供給
- PVDアクセサリ供給
- 特殊カスタムスパッタリングターゲット材料
- Evatec／Applied Materials／SPTS／Ulvac装置対応スパッタリングターゲット
- 先端パッケージ・化合物・マイクロシステム・シリコン前工程向け薄膜材料
- PVD成膜材料のオンライン・オンサイト技術支援