基本資料
| 攤位 | N0192 |
| 國別 | TW |
| 網站 | mds.umicore.com/en/thin-film-products |
公司簡介
Umicore Thin Film Products AG供應薄膜沉積應用所需的濺鍍靶材、蒸鍍材料與配件。公司強調材料品質同時影響沉積製程效率與最終沉積薄膜品質。Umicore Thin Film Products具ISO 9001:2008、ISO 14001:2004與OHSAS 18001:2007資格。材料範圍包括適用於現行蒸鍍與濺鍍製程及應用的金屬、合金與dieelectrics。產品組合由研發know-how、先進製造能力、回收能力、遍布全球的在地銷售辦公室與客戶支援中心支援。Umicore Thin Film Products亦表示可進行在地生產，使全球銷售與支援體系同時具備在地生產能力。Umicore開發、製造並交付針對先進封裝、compounds、微系統與矽前段等薄膜應用的鍍膜材料。這些活動將材料開發與製造，結合面向多種薄膜製程領域的應用供應。
展出產品
Thin Film Products產品組合涵蓋多種物理氣相沉積用鍍膜材料，其濺鍍靶材與蒸鍍材料持續針對各類PVD系統進行效能最佳化。產品搜尋架構分為三類：evaporation materials、sputtering targets與Physical Vapor Deposition Accessories。Umicore Thin Film Products提供線上與現場技術支援，協助客戶選擇與使用鍍膜材料。濺鍍靶材方面，公司描述其在物理氣相沉積鍍膜材料領域擁有超過60年經驗，並提供廣泛的靶材選擇。其濺鍍靶材用於多種產業的各類PVD應用，而非僅限單一終端市場。標準濺鍍靶材依各自標準純度供應，其他材料亦可依需求提供。針對特殊沉積需求，Umicore表示具備與客戶共同開發特殊靶材所需的知識與資源。濺鍍靶材可對應包括Evatec、Applied Materials、SPTS與Ulvac在內的常見濺鍍工具OEM平台。從濺鍍靶材、蒸鍍材料到PVD配件，整體供應結合標準材料、特殊材料協作、針對系統的效能最佳化，以及物理氣相沉積需求的技術支援。同一鍍膜材料平台亦針對先進封裝、compounds、微系統與矽前段等薄膜應用提供材料。 物理氣相沉積產品組合並非只聚焦單一靶材形式，而是以鍍膜材料為核心，結合蒸鍍材料、濺鍍靶材與專用PVD配件，對應不同沉積需求。產品搜尋工具的設計目的，是協助客戶在這三類產品中找到適合特定物理氣相沉積需求的鍍膜材料。公司並運用長期經驗與合作關係，持續最佳化靶材與蒸鍍材料，使其在多種PVD系統中追求最大效能。濺鍍靶材方案同時結合標準材料與標準純度目錄，以及依需求提供非標準材料的能力。
能力與產品項目
- PVD 濺鍍靶材供應
- PVD 蒸鍍材料供應
- PVD 配件供應
- 特殊客製濺鍍靶材
- Evatec／Applied Materials／SPTS／Ulvac 設備相容濺鍍靶材
- 先進封裝／化合物／微系統／矽前段薄膜材料
- PVD 鍍膜材料線上與現場技術支援