基本情報
| ブース | I2210 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | tronicpurity.com |
会社概要
Tronic Purity, Inc.は2020年1月に台湾・新竹市で設立され、電子グレードガス精製器と分析計器を専門としています。同社は自社ブランドで電子グレードガス精製器を製造する台湾初のメーカーであるとしており、独自のガス精製製品を事業の中心に置いています。主な3製品ラインはGas Purification、Gas Analytical Instruments、Gas Delivery Systemsで、ガス浄化、ガス特性の測定、プロセスガス供給に使う設備をカバーします。ガス精製器には、高流量自動再生型FABTRON、低流量自動再生型LABTRON、加熱getter型GETTRON、inline／point-of-use型LINETRON、高流量オフライン再生型FACILITRONがあります。Gas Analytical InstrumentsにはPURETRON hp-9000 mass spectrometer、Falcon Trace moisture sensor/analyzer、Sylph Handy Gas Chromatograph、Gas Concentration Analyzerが含まれます。Gas Delivery Systemsにはgas cabinets、gas racks、valve boxes（VMB）、valve manifolds（VMP）、B.S.G.S.、liquid nitrogen supply systems、high-pressure hydrogen supply systemsが含まれます。これらの製品群を通じ、同社は高純度ガスの取扱いと測定が必要な産業用途向けに、ガス精製、ガス分析、ガス供給を組み合わせた電子ガスソリューションを展開しています。
展示製品
Tronic Purityの電子ガス製品は、ガス精製、ガス分析、ガス供給システムを組み合わせ、精製にはGranular Hollow Fiber技術を、ガス分析計にはBall SAW sensorsとEPD technologyを用いて、同社が示す精度と信頼性でガス特性を測定します。LINETRON®は0.5から2,000 slpmをカバーする常温inline／point-of-useガス精製器シリーズで、コア吸着方式としてCatalyst TechnologyとGranular Hollow Fiberの2種類を採用します。Catalyst Technologyはbulk gases中のH2O、O2、H2、CO、CO2などの不純物吸着に使用され、Granular Hollow Fiberは追加の熱入力なしでCH4やN2など特定不純物を除去するために設計されています。すべてのLINETRON®精製器は再生可能で、Tronic Purityに返送してサービスを受ける方法と、顧客自身のシステムで再生する方法があります。用途にはglove box purge gas、LED / Laser / Semiconductor / TFT / LCD manufacturing、weld gas / purge gas / shielding gas productionがあり、オプションとしてinlet and outlet isolation valves、bypass valve、inlet and outlet purge valvesを選択できます。仕様表ではLT5が通常0.5 slpm・最大5 slpm・1/4" MVCR、LT12が1.5／12 slpm・1/4" MVCR、LT15が2／15 slpm・1/4" MVCR、LT20が4／20 slpm・1/4" MVCRで、これらは0.003 μm particle filterと9.8 Bar最大動作圧力を示します。より高流量の機種として、LT50は5／50 slpm・1/2" MVCR、LT75は7.5／75 slpmで1/4"または1/2" MVCR、LT100は10／100 slpmで1/4"または1/2" MVCR、LT180は12／180 slpmで1/4"または1/2" MVCRです。さらにLT280は40／280 slpm、LT300は50／300 slpm、LT500は80／500 slpm、LT600は100／600 slpmで、表にはR4、R8プラットフォームと1/4"または1/2" MVCRの組み合わせが示されています。上位流量ではLT700が200／700 slpmでR4、R8、R12と1/4"、1/2"、3/4" MVCR、LT900が250／900 slpmでR12、R16と3/4"、1" MVCR、LT1000が300／1,000 slpmでR8、R12と1/2"、3/4" MVCR、LT2000が400／2,000 slpmでR12、R16と3/4"、1" MVCRです。FABTRON®はsemiconductor fabs、display manufacturers、gas plantsを対象とする高流量自動再生型の電子グレードガス精製ラインで、同社はsub-ppbレベルの精製性能と消耗品を使用しない運転を示しています。Granular Hollow Fiber技術により、FABTRON®は常温で10 Nm3/hrから20,000 Nm3/hrの大流量を処理し、12-inch HMIとPLCによって設定後の精製・再生を消耗品なしで自動実行します。型式には高流量自動再生型FT1-r/n2、FT2-H2、FT3-O2/CDA、FT4-X Specialty gas、Adsorber + Getter Column構成のFT5-r/n2とFT7-H2、Catalyst + Adsorber構成のFT6-O2/CDAとFT9-R/N2があります。FABTRON® FT20シリーズはN2、O2、H2精製向けで、PVSA + TSAを用いるFT21-N2 100~3,000 Nm3/Hr.、FT22-H2 100~1,500 Nm3/Hr.、FT23-O2 100~2,000 Nm3/Hr.を含み、fuel cells、semiconductor manufacturing、その他high-tech industriesを用途に挙げています。FABTRON® FT30シリーズはPressure Vacuum Swing Absorption（PVSA）を使用し、1N grade（>90%）から>5N grade（>99.9999%）へ高めるとされ、N2、Ar、He、O2、H2および一部指定ガスの高純度工業プロセスに対応します。FT31-R/N2、FT32-H2、FT33-O2はいずれもPVSAで、流量は5~2,000 Nm3/Hr.、それぞれinert gas、H2、O2を精製します。Adsorbent Hollow Fiberはmolecular sieves、zeolites、natural zeoliteなどの多孔質材料から作られ、合成ではprecursor、raw-material slurryまたはsub-powderを高温polymerと混合し、phase-inversion processを経てhollow-fiber tubesを形成します。吸着挙動は物理吸着または化学吸着と同様ですが、違いとしてmass-transfer resistanceが挙げられ、adsorbent hollow fiberは市販pellet adsorbentよりmass-transfer resistanceが大幅に低いとされています。
対応領域・製品
- 電子グレードガス精製器製造
- 高流量自動再生ガス精製器
- 低流量自動再生ガス精製器
- 加熱式Getterガス精製器
- インライン／POUガス精製器
- 高流量オフライン再生ガス精製器
- ガス分析質量分析計
- 微量水分センサ／分析計
- ガスクロマトグラフィ・ガス濃度分析
- Gas Cabinet・Gas Rackの供給
- VMB/VMPガス供給装置の供給
- 液体窒素供給システム
- 高圧水素供給システム