基本資料
| 攤位 | I2210 |
| 國別 | TW |
| 網站 | tronicpurity.com |
公司簡介
芯動能設備股份有限公司於 2020 年 1 月在台灣新竹市成立，專精於電子級氣體純化器與分析儀器。公司表示自己是台灣第一家以自有品牌生產電子級氣體純化器的製造商，將自有氣體純化產品置於核心業務。三大產品線為 Gas Purification、Gas Analytical Instruments 與 Gas Delivery Systems，分別涵蓋氣體淨化、氣體特性量測，以及製程氣體輸送相關設備。氣體純化器包括 FABTRON 高流量自動再生純化器、LABTRON 低流量自動再生純化器、GETTRON 加熱型 getter 純化器、LINETRON inline／point-of-use 純化器，以及 FACILITRON 高流量離線再生純化器。Gas Analytical Instruments 包括 PURETRON hp-9000 mass spectrometer、Falcon Trace moisture sensor/analyzer、Sylph Handy Gas Chromatograph 與 Gas Concentration Analyzer。Gas Delivery Systems 包括 gas cabinets、gas racks、valve boxes（VMB）、valve manifolds（VMP）、B.S.G.S.、liquid nitrogen supply systems 與 high-pressure hydrogen supply systems。整體業務以電子氣體解決方案為核心，將氣體純化、氣體分析與氣體輸送整合於需要高純度氣體處理及量測的工業應用。
展出產品
芯動能設備股份有限公司的電子氣體產品結合氣體純化、氣體分析與氣體輸送系統；純化端使用 Granular Hollow Fiber 技術，氣體分析端則使用 Ball SAW sensors 與 EPD technology 量測氣體特性，以達到公司所述的準確與可靠量測。LINETRON® 是常溫 inline／point-of-use 氣體純化器系列，流量範圍 0.5 至 2,000 slpm，核心吸附機制分為 Catalyst Technology 與 Granular Hollow Fiber。Catalyst Technology 可用於吸附 bulk gases 中的 H2O、O2、H2、CO、CO2 等雜質；Granular Hollow Fiber 則用於在不額外輸入熱能的情況下去除 CH4、N2 等特定雜質。所有 LINETRON® 純化器都可再生，可送回 Tronic Purity 服務，或由客戶使用自身系統進行再生。LINETRON 的應用包括 glove box purge gas、LED / Laser / Semiconductor / TFT / LCD manufacturing，以及 weld gas / purge gas / shielding gas production；選配項目包括 inlet and outlet isolation valves、bypass valve，以及 inlet and outlet purge valves。規格表列出 LT5 正常流量 0.5 slpm、最大 5 slpm、1/4" MVCR；LT12 為 1.5 與 12 slpm、1/4" MVCR；LT15 為 2 與 15 slpm、1/4" MVCR；LT20 為 4 與 20 slpm、1/4" MVCR，這些條目均列 0.003 μm particle filter 與 9.8 Bar 最大操作壓力。較高流量型號包括 LT50 5／50 slpm、1/2" MVCR；LT75 7.5／75 slpm，可選 1/4" 或 1/2" MVCR；LT100 10／100 slpm，可選 1/4" 或 1/2" MVCR；LT180 12／180 slpm，可選 1/4" 或 1/2" MVCR。系列另包括 LT280 40／280 slpm、LT300 50／300 slpm、LT500 80／500 slpm、LT600 100／600 slpm，依表格配置 R4、R8 平台與 1/4" 或 1/2" MVCR。高流量端的 LT700 為 200／700 slpm，提供 R4、R8、R12 與 1/4"、1/2"、3/4" MVCR；LT900 為 250／900 slpm，提供 R12、R16 與 3/4"、1" MVCR；LT1000 為 300／1,000 slpm，提供 R8、R12 與 1/2"、3/4" MVCR；LT2000 為 400／2,000 slpm，提供 R12、R16 與 3/4"、1" MVCR。FABTRON® 為高流量自動再生電子級氣體純化系列，面向 semiconductor fabs、display manufacturers 與 gas plants，公司描述其可提供 sub-ppb 級純化性能，且不使用耗材。FABTRON® 使用 Granular Hollow Fiber 技術，可在常溫處理 10 Nm3/hr 至 20,000 Nm3/hr 的大流量，並透過 12-inch HMI 與 PLC 在設定後自動執行純化與再生，且不需耗材。具名型號包括高流量自動再生的 FT1-r/n2、FT2-H2、FT3-O2/CDA、FT4-X Specialty gas，Adsorber + Getter Column 組態的 FT5-r/n2、FT7-H2，以及 Catalyst + Adsorber 組態的 FT6-O2/CDA、FT9-R/N2。FABTRON® FT20 系列用於 N2、O2、H2 純化，包括採 PVSA + TSA 的 FT21-N2 100~3,000 Nm3/Hr.、FT22-H2 100~1,500 Nm3/Hr.、FT23-O2 100~2,000 Nm3/Hr.，應用涵蓋 fuel cells、semiconductor manufacturing 與其他 high-tech industries。FABTRON® FT30 系列使用 Pressure Vacuum Swing Absorption（PVSA），可由 1N grade（>90%）提升至 >5N grade（>99.9999%），涵蓋 N2、Ar、He、O2、H2 與部分指定氣體的高純度工業製程。FT31-R/N2、FT32-H2、FT33-O2 均採 PVSA，流量皆為 5~2,000 Nm3/Hr.，分別用於 inert gas、H2、O2 純化。Adsorbent Hollow Fiber 由 molecular sieves、zeolites、natural zeolite 等多孔材料製成；合成時將 precursor、raw-material slurry 或 sub-powder 與高溫 polymer 混合，再經 phase-inversion process 形成 hollow-fiber tubes。其吸附行為與物理或化學吸附相同，主要差異在 mass-transfer resistance；公司表示 adsorbent hollow fiber 的 mass-transfer resistance 遠低於商用 pellet adsorbent。
能力與產品項目
- 電子級氣體純化器製造
- 高流量自動再生氣體純化器
- 低流量自動再生氣體純化器
- 加熱式Getter氣體純化器
- Inline/POU氣體純化器
- 高流量離線再生氣體純化器
- 氣體分析質譜儀
- 微量水分感測分析儀
- 氣相層析與氣體濃度分析
- Gas Cabinet與Gas Rack供應
- VMB/VMP氣體配送設備供應
- 液氮供應系統
- 高壓氫氣供應系統