基本情報
| ブース | S8152 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.tparus.com |
会社概要
T-PARUS TECHNOLOGY CO., LTD. は2013年に台中で設立され、代理業務や技術導入を含む半導体業界で長年の経験を持つメンバーが出資しました。台中の拠点は台湾北部と南部の半導体テクノロジーパークの中間に位置し、同社はこれを地理的・発展上の利点としています。開発、創造、統合、価値向上を中核方向とし、半導体技術環境に必要な資源、設備、ソリューションを開発して、Better Solutions と最適化されたシステム統合を提供します。使命は半導体関連の Better Solutions と分野横断システム統合を開発し、顧客の生産効率向上と先端プロセス開発を支援することです。T-PARUS TECHNOLOGY CO., LTD. は Integrity、Courage、Reward、Teamwork を ICRT の経営理念として掲げます。優位性として専門性、カスタムサービス、技術優位、価値創造、顧客との共同成長を挙げています。経験の蓄積と改善により、電力安定化システム、半導体 CIP パッケージソリューション、グリーンエネルギーと ESG 関連製品・サービスなど複数のシステムを統合しています。ソリューション構成はグリーンエネルギー、スマートロボット、半導体、電力安定化・省エネ、真空応用、検知、フィルタ関連製品を含みます。半導体事業では製造製品の代理・統合を行い、検知・測定と CIP 製品を組み合わせて工程問題に対する単一または統合ソリューションを構成します。スマートロボット事業ではウェハ・パネル搬送を対象に、監視、検知、滑り防止、無線振動センシング、異常特徴分析、FDC連携リアルタイム検知を扱います。グリーンエネルギー事業では電圧サグ保護器と信号システムに加え、太陽光、水力、バッテリー入力に対応する台湾設計の小型UPSを提供します。2023年に長智科技ブランドを立ち上げ、台中水湳経貿園区へ移転し、ローカライズ・カスタマイズされた自社ブランド製品の開発を目標としました。各国のパートナーを通じて韓国と半導体大国への輸出実績を示し、2025年には東南アジア市場開発と現地優位性向上の計画を記載しています。
展示製品
T-PARUS TECHNOLOGY CO., LTD. は半導体工場向け電圧サグ保護を提供し、10年間の統計では瞬時電圧低下が停電より数十倍、場合によっては100倍超の頻度で発生するとしています。電圧サグは数十ミリ秒から数秒でも露光装置、エッチング装置、真空システムなどの重要設備を停止させ、製品廃棄、設備再起動、数時間以上の生産損失につながる可能性があります。同社はこのリスクを、SEMI F47 規格が世界のウェハ工場で重視され続ける理由と結び付けています。電圧サグ保護装置は SEMI F47 検証を通過した唯一の装置と説明され、半導体業界で1,000セット超の導入実績があります。介入時間は0.5msで、3~5秒の連続電力供給を保証します。グリーンエネルギーソリューションは電圧サグ保護・信号システムと台湾設計小型UPSを組み合わせ、太陽光、水力、バッテリーなどの入力により省エネ、柔軟なカスタム設計、特殊環境へ対応します。日本の特許技術である空調用 MS-RDK 省エネ材料も含みます。国泰医療体系の産後ケアセンターでの空調実測では、1日の累積消費電力量が MS-RDK 設置前27.18kWhから設置後22.26kWhへ減少し、4.92kWh、18.1％削減しました。半導体プロセス統合では CIP、particle contamination、chemical contamination、ESD、vibration、temperature、sensor detection、chamber-related のニーズに対応します。化学配管の監視・保護には Dual seal center ring、特許 Super clamp、漏れ検知酸アルカリテープ、O2、N2、Particle、ESD、TVOC 検知器、国産 chemical filter を組み合わせます。配管漏れは chemical leak detector や leak-detection tape で検知し、Dual Seal Center Rings、XHOT、chemical filters による吸着・排除で対応します。ウェハ・パネル搬送向け Smart Fork は無線振動センシング、異常特徴分析、滑り止め高分子パッド、特許スマート振動監視センサー、FDCアラームを組み合わせます。Smart Fork は部品劣化や搬送異常をリアルタイムで識別して初期特徴を収集し、AI監視でウェハ搬送時の異常損失拡大を停止します。MCUでデータを収集・リアルタイム演算し、振動値を主制御パネル上のグラフに変換して、ROBOT異常の保守を早期に計画できます。量産異常時には AI監視から PLC へ介入でき、衝突回避、エネルギー消費低減、ウェハ生産安全確保も掲げています。Smart Fork は半導体・パネル分野で利用され、Industry 4.0 と組み合わせて工場戦情室へデータを送り、Company I と記載されたパネルメーカーでは2021年に各工場への全体導入が完了しています。HEPC Series 高圧静電集塵システムはクイックリリース集塵モジュールと洗浄再使用可能な集塵板を採用し、一般的な使い捨てフィルタ消耗材を不要にします。HEPC は AC 100~240V, 50/60Hz に対応し、1台のコントローラーで最大4組の集塵モジュールを制御できます。コントローラーは EMI / EMS 対策を備え、高電圧異常が導電体や人体との接触で発生した場合に Alarm を出し、該当モジュールだけを遮断して他の PM モジュールを継続運転します。低騒音ファンと高電圧モジュール外部の安全保護網も備えます。真空応用では BronkHorst® 質量流量計・質量流量コントローラーを扱い、気体、液体、気液混合をエネルギー、生命科学、電子機器、食品飲料、一般用途、工業、高純度、微量液体環境へ適用します。Dual Sealed Teflon Centering は腐食性・高温配管向けの特許二重保護接続で、Teflon により配管接続を強め、シール劣化や pump vibration による漏れ・汚染リスクを低減します。X-Hot Super Suction Hot N2 System は150度超の改良高速窒素ヒーターで、真空 pump 排気性能向上、配管内粉塵堆積低減、清掃頻度・コスト低減、up-time 向上を目的とします。Bronkhorst の気体流量測定・制御は 0,014 mln/min から 11.000 m3n/h で、実験室、機械、工業、危険場所に適用されます。液体流量では thermal mass-flow instruments 5 mg/h - 1 kg/h、Coriolis mass-flow meters 50 mg/h - 600 kg/h、ultrasonic volumetric-flow instruments 2 ml/min - 1500 ml/min、vortex または electromagnetic instruments 最大250 l/min が挙げられています。AQST ガス濃度監視システムはガス濃度のリアルタイム監視・アップロード、LEDリアルタイム表示、Data to FDC、60 °C / 180 °C の self-heating を提供します。
対応領域・製品
- 0.5ms 半導体電圧サグ保護
- 太陽光・水力・電池入力対応の小型 UPS システム
- 空調省エネ材料供給（MS-RDK）
- ウェハ／パネル搬送の無線振動監視
- ロボットアームの FDC 連携リアルタイム異常検知
- 薬液配管リーク検知
- 腐食性・高温配管用二重保護接続リング供給
- X-Hot 高速熱 N2 システム供給
- HEPC 高圧静電集塵システム供給
- ガス流量測定・制御機器供給（BronkHorst®）
- 液体流量測定・制御機器供給（BronkHorst®）
- O2/N2/Particle/ESD/TVOC 検知統合
- 半導体プロセス向け化学フィルター統合
- AQST ガス濃度監視システム供給