基本情報
| ブース | R8000 |
| 国 | IT |
| ウェブサイト | www.simacosrl.it |
会社概要
SIMACOは1962年以来、半導体分野向け、とりわけエッチングおよびウェハリング工程向けの電動ポンプを設計・製造しています。当社のMD-CXシリーズポンプはマグネットドライブ方式で、半導体製造用の温度制御ユニットに用いられるほとんどの流体で良好な試験結果が得られており、使用温度範囲は-100°Cから+350°C、以下の流体タイプに対応します：FLUORINERT FC3283 / FLUORINERT FC-770 3M: NOVEC7000 / NOVEC7100/ NOVEC7200 /NOVEC7300 / NOVEC7500 / NOVEC7600 GALDEN PFPE / GALDEN HT DOWTHERM ASAHIKLIN AE3000 / ASAHIKLIN AC 2000。革新的なインペラ駆動システムにより、動力はメカニカルシールを用いずマグネットカップリングを介して伝達されるため、漏れのリスクは実質的にゼロまで低減され、それに伴い保守コストも削減されます。
展示製品
MD-CX 半導体産業向けマグネットドライブ電動ポンプ -100°C／+350°Cの範囲のフッ素系液体を扱えるマグネットドライブ電動ポンプ 現場の要件に応じて、当社のMD-CXポンプはPMSM（永久磁石同期モータ）付きで供給可能であり、粉じんの舞い上がりを避けるためファンの有無を選択できます。上記に加えて、当社は次の分野の経験も有しています： UL認証モータ 各市場および半導体装置の最終仕向地の必要性に適合する特殊供給電圧。
対応領域・製品
- 半導体エッチング・ウェハリング工程向けマグネットドライブ電動ポンプ