Omni Matcher · SEMICON Taiwan 2026 · 出展社リスト

Oxford Lasers Ltd

SEMICON Taiwan 2026 出展社 · ブース I3000

ブース I3000国 GB製品トピック 13 件
Oxford Lasers Ltdは研究開発と量産向けにどのようなレーザー微細加工装置を提供していますか？Oxford Lasers Ltdのブース位置この出展者を保存保存した出展者
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開催情報

基本情報

ブースI3000
国GB
ウェブサイトwww.oxfordlasers.com
出展社情報

会社概要

Oxford Lasers Ltd はレーザー、光学、産業分野で約 50 年の経験を持ち、Oxford University Physics Department からのスピンアウトとして始まり、当初は短パルスレーザーを製造し、35 年以上前にレーザーツールと受託加工サービスを供給するレーザーインテグレーターへ移行しました。 微細加工では、多様な材料に対する穴あけ、ミリング、切断、溶接、パターニングを扱い、ナノ秒、ピコ秒、フェムト秒のパルスレーザーと高度なモーション制御を組み合わせて、要求の厳しい微細形状を安定して加工します。 同社は Advanced Wafer Level Test 用ガイドプレートの穴あけで特に知られ、主要な probe card 企業へ供給しており、24/7 稼働の施設では次世代ウェハ試験向けに 1 億個を超える穴を加工してきました。 Innovate UK の支援を受け、Oxford Lasers Ltd は異種 chiplet 集積向けガラスインターポーザのための GHz パルス穴あけと選択的レーザーエッチングを開発しており、電力、フォトニクス、量子、マイクロディスプレイ技術を応用分野として挙げています。

出展社情報

展示製品

Oxford Lasers Ltd は A Series、C Series、J Series のレーザー微細加工プラットフォームに加え、X-ray microscopy の試料作製用 SamplePrep System と、ウェハレベルのアナログ IC トリミング用 T-Series Trimmer を供給しています。 A Series は研究開発とパイロット生産向けのコンパクトな自立型ターンキー加工機で、熱的および機械的安定性のための花崗岩フレームを備え、Green Femtosecond、IR Femtosecond、Green Nanosecond の各レーザー構成が用意されています。 Green Femtosecond は標準 3 W、10 W と 20 W のオプション、波長 515 nm、IR Femtosecond は標準 5 W、20 W と 40 W のオプション、波長 1030 nm、Green Nanosecond は標準 10 W、波長 532 nm です。 これらの構成で A Series はマイクロミリング、穴あけ、切断、スクライビング、エッチング、表面テクスチャリング、薄膜パターニングに対応し、マイクロ溶接や用途専用治具もオプションで追加できます。 A Series の XY サーボステージは 400 mm x 300 mm、分解能 0.005 µm、繰返し精度 +/- 0.5 µm、Z 軸は 150 mm、分解能 1 µm、繰返し精度 +/- 1 µm で、円筒部品向けには回転軸を追加できます。 位置合わせと検査には、視覚ベースで fiducial に合わせる AutoAlign、非接触 AutoFocus、1.6 MP インラインカメラ、形状確認、寸法測定、高精度位置合わせ、品質管理に使う 12 MP 検査カメラがあります。 A Series は Laser Class 1 の筐体を採用し CE マークを備え、統合 Cimita ソフトウェアで一般的な CAD ファイル形式を扱い、標準作業や反復作業向けの事前プログラム機能も設定できます。 加工例には、ホウケイ酸ガラスへの 500 µm 穴、厚さ 50 µm のステンレス管への直径 5 µm の穴 40,000 個、燃料インジェクタ例として厚さ 500 µm のステンレスへの 60 度角の 500 µm 穴があります。 切断とパターニングの例には、厚さ 140 µm のサファイアを壁面粗さ 150 nm 未満でゼロカーフ切断した例、ガラス上の 10 µm ITO 配線、IR femtosecond レーザーでシリコン上の 200 nm 金膜に 5 µm の線幅と間隔を形成した例があります。 A Series はガラス、シリコン、窒化シリコン、パラジウムなどの半導体材料に対応し、そのほか大学、航空宇宙、自動車、防衛、医療技術、量子技術、一般研究開発が用途として示されています。 C Series は高スループット生産または研究開発向けの大型ターンキープラットフォームで、24/7 稼働を想定し、ナノ秒、ピコ秒、フェムト秒パルスレーザーとモーション制御オプションを選択できます。 C Series の波長オプションは 355 nm、532 nm、1064 nm、寸法は 2800 mm W x 1700 mm D x 2040 mm H、重量はレーザー種類とオプションにより最大 2700 kg とされています。 C Series は防振機構付き花崗岩フレーム、オペレーター介入を減らす事前設定プロセス、CAD 入力から生産までをつなぐ Cimita 制御を組み合わせています。 C-style システムの研究例には、マイクロロボティクス、ミリメートル級ロボット、医療機器部品、ウェアラブルセンサー、センサー加工、宇宙用途のタンタルコリメータ、組織工学用神経ガイドがあります。 このプラットフォームは Oxford Lasers Ltd 自社の高量受託サービス研究所の要件を基に開発され、工業生産、パイロット生産、高精度を必要とする研究開発に使用されます。 J Series は製品群で最大のレーザー微細加工プラットフォームで、ナノ秒、ピコ秒、フェムト秒から最大 2 種類のレーザーを搭載でき、マルチ波長機能も選択できます。 記載された波長オプションは 355 nm、532 nm、1064 nm で、最終的な寸法と重量は選択するレーザー種類とオプションによって決まります。 J Series は透明材料加工や高アスペクト比形状など技術的に難しい加工向けで、柔軟なプラットフォームに部品ハンドリング機構を統合し、生産または研究開発に利用できます。 J Series に関連する公開事例には、昆虫サイズおよび四足歩行マイクロロボット、ミリメートル級ロボットと医療機器向け nitinol living hinges、ウェアラブルセンサー、シリコンセンサー加工、組織工学用神経ガイドがあります。 J Series はターンキーの単一画面制御を採用し、完全にカスタマイズ可能な高出力またはマルチ波長の微細加工システムとして提供されます。 SamplePrep System は X-ray microscopy 用の微小試料作製向けに事前構成され、巨視的なバルク試料から直径数十から数百ミクロンのマイクロピラーを作製できます。 統合ビジョンシステムによりバルク試料内の特定領域を識別して狙うことができ、加工可能材料として岩石、セラミックス、金属、半導体が挙げられています。 T-Series Trimmer はウェハレベルのアナログ IC を能動トリミングするレーザーツールで、一般的な半導体テスターやプローバと組み合わせ、薄膜抵抗またはリンクをトリミングします。 レーザーシステム案件では、材料、厚さ、形状、部品品質、公差、スループット、日程を確認し、試料作製と検証を含むフィージビリティスタディを行い、必要に応じて標準プラットフォームをカスタマイズし、技術者と Applications Laboratory がアフターサポートを提供できます。 画像計測製品は、VisiSize の液滴・粒子特性評価システムと、FireFLY および FireBIRD の短パルスレーザー照明システムを組み合わせ、高速撮像に対応します。 VisiSize は直接撮像と統合ソフトウェアで液滴、粒子、気泡のサイズ、形状、速度をリアルタイムに可視化して測定し、現場または研究室でのスプレー解析を支援します。 携帯型 VisiSize P15+ は現場または研究室向けの統合分析装置で、液滴と粒子のサイズ、形状、速度を測定し、粒径範囲は 10 µm 超です。 直径 50 µm の粒子に対する P15+ の最大速度は 30 m/s で、高解像度カメラはリアルタイムモードで毎秒最大 15,000 粒子を処理できます。 P15+ は LED の非レーザー光源と IP67 の密閉防水筐体を備え、迅速な設置を想定しており、5 分未満で最初のデータ収集を開始できるとされています。 標準の電源・コントローラケーブルは 5 m で 25 m オプションがあり、平均径、Sauter mean diameter、10%、50%、90% 体積パーセンタイル、偏差、relative span を報告します。 P15+ の用途例には、農薬分野の現場測定、冷却塔排出、食品のフレーバーやスプレー工程、ノズル評価と教育訓練など、携帯型リアルタイム液滴評価が必要な場面があります。 VisiSize N60 は高速、高密度、高流量スプレー向けの Class 1 レーザー安全システムで、2 µm 超の粒子または液滴についてサイズ、形状、速度、方向を測定します。 直径 50 µm の粒子に対する N60 の最大速度は 1500 m/s で、小さな粒子を Mach 3 まで明瞭に撮像できるとも説明されています。 作動距離は 40 から 1500 mm で、オンライン高解像度カメラはリアルタイムモードで毎秒最大 15,000 粒子に対応します。 N60 の出力には、個数、面積、体積による平均径、Sauter mean diameter、D10、D50、D90 体積パーセンタイル、偏差、relative span、絶対濃度があります。 N60 の用途として、消火スプレー液滴測定、工業スプレーとノズル開発、自動車および燃料スプレー、塗料とコーティング、蒸気緩和が挙げられています。 関連する VisiSize N60maX は N60 と同じく 2 µm 超まで解析しつつ、より長い作動距離を持ち、安全距離を必要とする材料の測定に対応します。 FireFLY は 500 W、808 nm のコンパクトな短パルスレーザー照明シリーズで、高速カメラとの同期向けに FireFLY-S Standard と FireFLY-LS Light Sheet の 2 モデルがあります。 FireFLY-S は Class 4 ダイオードレーザーで、パルス幅 50 ns から 100 µs、最小間隔 330 ns、最大パルス周波数 100,000 Hz、burst frequency 3,000,000 Hz、1 burst 当たり 254 パルスです。 FireFLY-S の用途には、一般高速撮像、粒子径測定、スプレー診断、digital image correlation、Schlieren 撮像、高輝度イベント撮像、NDT 試験、time-resolved PIV、high-speed PIV があります。 FireFLY-LS も 500 W、808 nm の Class 4 ダイオードレーザーで、パルス幅 50 ns から 100 µs、最小パルス間隔 330 ns、最大パルス周波数 10,000 Hz です。 均一なライトシート、PIV プログラムモード、外部カメラトリガーは、time-resolved PIV、high-speed PIV、流れの可視化、流体力学、バイオロコモーションなどの高速 2D 撮像に使用されます。 FireBIRD は 1000 W、808 nm、Class 4 の短パルスレーザー照明システムで、モノクロ高速カメラと同期し、高速または高輝度プロセスの動きぼけを抑えた撮像を行います。 パルス動作は 50 ns と低出力時 15 ns を含み、周波数モードは 254 パルスで最大 10 MHz、外部トリガー 5000 パルスで 8 MHz、60 秒で 1 MHz、連続で 500 kHz です。 FireBIRD は直付け光学系またはフレキシブル光伝送を選択でき、遠隔操作オプションは 500 m までの延長使用をサポートし、さらに長い距離も要望に応じます。 用途として、溶接と積層造形、energetic および ballistic events、前面または背面照明の高速撮像、Schlieren や particle image velocimetry による流れ可視化が挙げられています。 FireBIRD は VisiSize ソフトウェアと組み合わせて粒子特性を評価することもでき、撮像と粒子解析を同じプロセス評価に利用できます。 Oxford Lasers Ltd は、高速撮像、速度プロファイル、スプレーパターン、plume geometry、液滴サイズと分布、高輝度イベント撮像を含む受託画像計測サービスも提供します。 専用画像ラボでの社内測定、可能な場合のオンサイトサービス、装置レンタル、システム購入に対応し、最初から装置を所有しなくても案件に合う試験方法を選択できます。 吸入薬デバイスでは pMDI、BAI、鼻腔、DPI、SMI、スマートデバイスについてスプレーパターン、plume geometry、イベント継続時間、速度を測定でき、BAI、DPI、SMART inhaler は co-flow 条件でも評価できます。 高速撮像では高速カメラと短パルスダイオードレーザーを組み合わせ、短い照明パルスによって実効露光時間をナノ秒領域まで短縮し、過渡的な高速現象の動きぼけを抑えます。 サービスでは画像追跡による粒子、液滴、気泡の速度測定とサイズ速度相関も行い、スプレー解析ソフトウェアでスプレーパターン寸法、コーン角、イベント継続時間、速度プロファイルを定量化できます。 高輝度イベントでは FireFLY と FireBIRD の特定単一波長照明により余分な光をフィルタリングでき、溶接や弾道など強いグレアのあるプロセス内部を見やすくします。 VisiSize の用途には、学術・研究開発、農薬、大気研究、自動車、弾道、冷却塔、化粧品、energetics、消火、食品飲料、燃料、製造、金属精製、鉱業、原子力研究、石油化学、医薬、シャワーヘッド開発があります。 農薬分野では、スプレードリフト評価、ノズル開発、ドローンまたは UAV スプレー評価、製剤とアジュバント研究、air-blast sprayer、散布研究、生物農薬用途に VisiSize が使われます。 携帯型 P15+ は普及活動や教育訓練にも利用でき、粒子をリアルタイムに可視化して、運転条件や製剤変更がスプレードリフトと品質に与える影響を示せます。 冷却塔監視では VisiSize が volume flux を測定して排出評価を支援し、P15+ の IP67 筐体は 100% 湿度環境で使用でき、25 m ケーブルオプションはアクセスしにくい測定場所への配置に役立ちます。 食品飲料用途にはスプレーコーティングとフレーバー付与があり、P15+ はノズル種類、圧力、流量、製剤の最適化を支援し、N60 はベビーミルクパウダー開発のアトマイザーノズル試験にも使用されています。 鉄鋼冷却では N60 が液滴測定に用いられ、記載範囲 1 から 250 µm、速度 2 から 60 m/s で、鋼スラブに加える volume flux の最適化に利用されています。 半導体・電子工程では、VisiSize がフォトレジスト塗布用超音波ノズルを評価し、P15+ は想定より大きな液滴、詰まりに関連する影響、凝集体の発生を調べるのに使えます。 VisiSize の thermal spray 用途には HVOF、atmospheric plasma spray、arc spray、combustion wire spray、controlled-atmosphere plasma spray、cold spraying が含まれます。 鉱業、原子力、石油化学では Venturi scrubber の液滴を評価でき、捕集効率は液体とガスの流量、ノズル形状、液体注入方式、空間分散、液滴径分布などに左右されます。 医薬・ヘルスケア用途には消毒スプレー、医療手技中のエアロゾルと液滴生成、SMI、pMDI、BAI、DPI、鼻腔およびスマート吸入薬デバイスの開発があります。 シャワーヘッド開発では、VisiSize が水滴径をリアルタイム測定し、ヘッド設計が水の分散と水管理に与える影響を調べ、液滴径は legionella 伝播との関連も示されています。 Container Closure Integrity Testing 向けには、Oxford Lasers Ltd が顧客包装に校正済みマイクロホールをレーザー加工し、確定的リーク試験の方法開発と妥当性確認に使う positive controls を作製します。 適切な試料では 2 µm から 100 µm 以上の穴を加工でき、対象包装としてバイアル、ボトル、シリンジ、autoinjector PFI シリンジとカートリッジ、アンプル、IV bags、laminate pouches、blister packs が挙げられています。 直接穴あけが実用的でない場合は、認証済みで最小 2 µm の穴を持つレーザー加工ステンレス pinhole discs を供給し、包装に作った大きめの開口部へ貼り付けられます。 CCIT 能力は、ガラスと金属およびステンレス pinhole discs で 2 µm まで、ポリマー直接加工で 5 µm まで、leak-detection index classification 3 から 6 とされています。 Certificate of Conformity は光学顕微鏡または flow effective diameter 測定を用いることができ、装置は国家参照標準へ校正され、方法検証から品質管理出荷サンプルまでのトレーサビリティを確保します。 CCIT サービスは製薬メーカー、リーク試験装置 OEM、製薬および医療プロセスのコンサルタントに提供され、完成した autoinjector を分解せず 2 種類の材料層を貫通して加工した事例もあります。

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