기본 정보
| 부스 | S7537 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | melcon.co.kr/eng/business/business.html |
회사 소개
MELCON Co., Ltd.는 한국의 반도체 장비 및 자동화 회사로 반도체 시장에 제품을 공급하고 memory와 foundry 고객을 지원합니다. 반도체 제품 영역에는 공기 온도, 습도, 기류를 제어하는 시스템이 포함되어 제조 장비 주변의 공정 환경 제어 역할을 수행합니다. 또한 coater와 developer tools용 photoresist control, chamber humidity-control systems, constant-temperature water systems를 다루어 공기, 포토레지스트, 챔버 조건, 온도 관리 수계까지 제어 범위를 확장합니다. 제조 및 품질 소프트웨어에는 MES, QMS, WMS와 equipment software가 포함되어 물리 장비뿐 아니라 제조 운영 관련 소프트웨어도 지원합니다. MELCON Co., Ltd.는 AI self-diagnosis functions와 SOLUIT data-analysis system도 제시해 장비 운전, 데이터 분석, AI 진단 기능을 결합합니다. 더 넓은 산업 설명에는 semiconductor manufacturing equipment, factory automation, material management, RFID-related systems도 포함됩니다. 회사는 기술력과 품질을 바탕으로 국내외 주요 고객과 함께한다고 설명합니다.
전시 제품
MELCON Co., Ltd.의 Semiconductor Manufacturing Equipment에는 THC, Dehumidifier, CHR가 포함되어 여러 형태의 공정 환경과 조건 제어 장비를 구성합니다. THC는 Temperature & Humidity Controller로 반도체 제조 공정 전반에서 etch와 wet equipment의 습도를 제어합니다. 따라서 일반 시설 공조가 아니라 etch/wet 공정 장비에 직접 연결되는 습도 제어 기능입니다. Dehumidifier는 전용 제습 장비를 추가하고 THC와 CHR와 함께 반도체 제조 장비군을 구성합니다. CHR도 semiconductor manufacturing equipment 범위에 포함되어 다른 온습도 및 장비 조건 제어 항목을 보완합니다. 포토리소그래피 관련으로는 coater와 developer tools의 photoresist control을 제공합니다. chamber humidity-control systems와 constant-temperature water systems는 챔버 습도 관리와 항온수 기반 온도 관리를 추가로 지원합니다. 미래 산업 항목에는 AI-based Self-Diagnosis technology가 있어 자동 진단 기능을 장비와 제조 지원에 넣습니다. MES, QMS, WMS, equipment software, SOLUIT data-analysis system은 물리 장비와 함께 제조 운영, 품질, 창고, 장비 제어, 데이터 분석을 지원합니다. 전체 범위는 etch/wet equipment 습도, 공기 온습도와 기류, photoresist control, chamber humidity, constant-temperature water, AI self-diagnosis, 제조 데이터 및 품질 소프트웨어를 포함합니다.
역량 및 제품
- 반도체 식각 및 습식 장비용 온습도 컨트롤러
- 제습기
- CHR 장비
- AI 기반 Self-Diagnosis 기술