MELCON Co., Ltd.

基本情報

会社概要

MELCON Co., Ltd. は韓国の半導体装置・自動化企業で、半導体市場へ製品を供給し、memory と foundry の顧客に対応します。半導体製品分野には、空気の温度、湿度、気流を制御するシステムが含まれ、製造装置周辺のプロセス環境制御を担います。また、coater と developer tools の photoresist control、chamber humidity-control systems、constant-temperature water systems を扱い、空気、レジスト、チャンバー環境、温度管理水まで制御範囲を広げています。製造・品質ソフトウェアには MES、QMS、WMS、equipment software があり、物理装置だけでなく製造運用を支えるソフトウェアも提供します。さらに AI self-diagnosis functions と SOLUIT data-analysis system を挙げ、装置運転、データ分析、AI 診断機能を組み合わせます。広い産業領域には semiconductor manufacturing equipment、factory automation、material management、RFID-related systems も含まれます。MELCON Co., Ltd. は技術と品質を通じて韓国内外の主要顧客と取り組んでいるとしています。

展示製品

MELCON Co., Ltd. の Semiconductor Manufacturing Equipment には THC、Dehumidifier、CHR が含まれ、複数のプロセス環境・条件制御装置を構成します。THC は Temperature & Humidity Controller で、半導体製造工程全体の etch と wet equipment の湿度を制御します。そのため、一般的な設備空調ではなく、etch/wet プロセス装置に直接関係する湿度制御です。Dehumidifier は専用の除湿装置を加え、THC と CHR とともに半導体製造装置群を構成します。CHR も semiconductor manufacturing equipment の一部として挙げられ、他の温湿度・装置条件制御を補完します。フォトリソグラフィ関連では coater と developer tools の photoresist control を提供します。chamber humidity-control systems と constant-temperature water systems は、チャンバー湿度と恒温水による温度管理を支援します。将来産業分野には AI-based Self-Diagnosis technology があり、自動診断機能を装置・製造支援へ組み込みます。MES、QMS、WMS、equipment software、SOLUIT data-analysis system は物理装置と組み合わせて製造運用、品質、倉庫、装置制御、データ分析を支えます。全体として etch/wet equipment の湿度、空気温湿度・気流、photoresist、chamber humidity、constant-temperature water、AI self-diagnosis、製造データ・品質ソフトウェアをカバーします。

対応領域・製品

• 半導体エッチ・ウェット装置向け温湿度コントローラ
• 除湿機
• CHR 装置
• AI ベース自己診断技術

関連する製品トピック

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