기본 정보
| 부스 | S7153 |
| 국가 | CN |
| 웹사이트 | www.lneya.com/application-industry/semiconductor-packaging |
회사 소개
LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd.는 첨단 산업 공정용 온도 제어 장비를 공급하며 냉동, 가열, 순환 기술을 통해 제어된 열 조건이 필요한 공정을 지원합니다. 운영 회사는 Wuxi Guanya Constant Temperature Refrigeration Technology Co., Ltd.로 제시되며 2010년에 설립되었고 제품은 반도체 웨이퍼 제조 및 패키징 공정에 사용됩니다. 장비 범위에는 반도체 제조, 화학 공정 및 용기 응용, 제약 생산, 신에너지 배터리 시험, 실험실, 연구 환경용 산업용 칠러가 포함됩니다. 정밀 온도 제어 분야에서 15+년의 경험을 보유했다고 설명하며 표준 시스템과 완전 맞춤형 냉각·가열 솔루션을 제공합니다. 맞춤화 범위는 냉각 용량, 온도 범위, 제어 시스템, 통신 프로토콜, 기계 구조까지 포함하여 공정 요구와 특수 환경 조건에 맞게 장비 구성을 조정할 수 있습니다. LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd.는 산업용 칠러를 24/7 연속 운전용으로 설계하고 산업용 부품과 공장 시험을 통해 연속 생산 및 시험 환경의 장기 안정성을 지원한다고 설명합니다. 맞춤형 프로젝트는 요구사항 분석, 맞춤 설계, 제조 및 시험, 납품과 기술 지원의 단계로 진행되며 완성된 온도 제어 장비는 납품 전에 최소 7일 동안 연속 시험을 거친다고 밝힙니다. 전 세계 고객을 지원하며 엔지니어의 제품 선정 및 구성 지원과 함께 사전·사후 기술 지원을 제공합니다. 산업용 칠러와 히터 제품은 Singapore, Malaysia, Japan, South Korea, Thailand, Qatar, 중동 국가, Australia, Netherlands, Spain, United States 등 시장에 판매됩니다. 장비 선정에서는 냉각 용량과 필요한 공급 온도, 회수 온도, 유량, 열전달 유체, 주변 조건, 응용 요구를 함께 평가하여 냉동 시스템, 열교환기, 제어 구성을 결정합니다.
전시 제품
반도체 생산 분야에는 웨이퍼 처리, 테스트, 패키징용 냉각 솔루션을 제공하여 정밀 온도 제어를 반도체 제조 공정과 직접 연결합니다. 구체적인 반도체 제품에는 High Precsion Semiconeductor Chillers FLTZ series와 8-inch 및 12-inch chucks를 갖춘 Thermal Chuck이 포함됩니다. 온습도 시험 챔버도 제공하며 프로그래머블 항온항습, 고저온 습열, 고속 온도 사이클링, environmental stress screening 챔버를 대형 부품 신뢰성 시험에 사용할 수 있습니다. 더 넓은 칠러 제품군은 설정 가능한 온도 제어 범위가 -150°C부터 +350°C까지이며 표준 산업 냉각, 저온·초저온 냉각, 고온 제어를 지원합니다. 일반 제품군에는 chiller machine, cooling circulator, precision chiller, refrigerated circulator, closed-loop chiller, mini chiller, glycol chiller, fluid chiller, lab chiller, coolant chiller, water-cooled chiller, cryogenic chiller가 포함됩니다. 반도체 제조용 FLTZ 사양은 5℃~90℃·6kW~40kW, -25℃～90℃·2kW~15kW, -45℃～90℃·1kW~8kW, -80℃～+90℃·0.6kW~3kW, -100℃～+90℃·1.5kW~3kW로 제시됩니다. 이 FLTZ 변형의 온도 정확도는 ±0.1℃이며 FLTZ Series 요약은 -25℃~90℃, ±0.05℃~±0.1℃, 1.5~120kW와 공랭식·수랭식 구성을 제시합니다. 다른 시리즈는 LT Series -80℃ ~ +30℃·0.4~14kW, LTZ Series -115℃~+90℃·0.6~64.5kW, ZLTZ Series -65℃~+25℃·2.6~16kW, LG Series -110℃~+30℃·7.7~936kW, LTZ-DI Series +2℃~+20℃·5~25kW 범위를 갖습니다. 산업·제약용 glycol chiller는 +5℃-90℃, 냉각 4kW~20kW, 가열 3.5kW~15kW이며 fluid chiller는 -40℃~90℃, 냉각 0.7kW~11.5kW, 가열 2.5kW~10kW입니다. lab chiller는 -25℃~30℃·7kW~64.5kW, coolant chiller는 -45℃~20℃·5.7kW~32.4kW, water-cooled chiller는 -80℃~-50℃·3.7kW~30kW, cryogenic chiller는 -115℃~-80℃·0.6kW~2.8kW입니다. 모델은 냉각 용량, 온도 범위, 제어 시스템, 통신 프로토콜, 기계 구조에 맞춰 사용자 지정할 수 있으며 intelligent PLC control도 온도 제어 기능으로 제시됩니다. 초기 선정에서는 공정 냉각 부하와 필요한 운전 온도를 함께 고려하며 동일한 명목 냉각 부하라도 공급 온도가 다르면 서로 다른 냉동 구성이 필요할 수 있습니다. 선정 도구는 kW, TR, HP, BTU/h, kcal/h 사이의 냉각 용량 변환을 지원하며 1 TR ≈ 3.517 kW, 1 kW ≈ 0.284 TR, 1 kW ≈ 3,412 BTU/h, 1 kW ≈ 860 kcal/h 기준을 제시합니다. 초기 선정 가이드는 15°C 초과를 표준 또는 산업용 칠러, 5°C~15°C를 산업용 칠러, 0°C~5°C 미만과 -20°C~0°C 미만을 저온 칠러, -40°C~-20°C 미만을 저온 또는 특수 저온 시스템, -40°C 미만을 특수 저온 시스템으로 구분합니다. 적용 예는 반도체 테스트 정밀 온도 제어, 환경 챔버 맞춤 시스템, 제약·바이오 반응기 및 생산 라인 온도 관리, 화학 반응 안정 제어, 배터리 충방전 시험 냉각, 레이저 장비 냉각, 저온 화학 공정입니다. 시스템 설계와 운전 조건에 따라 칠러 안정도는 최대 ±0.05°C라고 제시되며 실제 냉각 용량은 운전 조건, 주변 온도, 열전달 유체, 시스템 설계에 따라 달라집니다.
역량 및 제품
- 반도체 정밀 칠러
- 8인치 및 12인치 써멀 척
- 온습도 시험 챔버
- 프로그래머블 항온항습 챔버
- 고저온 습열 챔버
- 고속 온도 사이클 챔버
- ESS 환경 스트레스 스크리닝 시험 챔버
- 저온 냉각 순환기
- 초저온 칠러
- -150℃~350℃ 맞춤형 냉각·가열 시스템