基本情報
| ブース | S7153 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.lneya.com/application-industry/semiconductor-packaging |
会社概要
LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd.は先進産業プロセス向けの温度制御装置を供給し、冷凍、加熱、循環技術によって制御された熱条件を必要とする工程に対応します。 運営会社はWuxi Guanya Constant Temperature Refrigeration Technology Co., Ltd.で、2010年設立とされ、製品は半導体ウェハ製造およびパッケージング工程で使用されています。 装置範囲には、半導体製造、化学プロセスと容器用途、医薬品製造、新エネルギー電池試験、研究室、研究環境向けの産業用チラーが含まれます。 精密温度制御で15+年の経験を持つとし、標準システムと完全カスタムの冷却・加熱ソリューションの双方を提供します。 カスタマイズは冷却能力、温度範囲、制御システム、通信プロトコル、機械構造を対象とし、工程要件や特殊な環境条件に合わせて装置構成を調整できます。 LNEYA Thermo Refrigeration Co.,Ltd.は産業用チラーを24/7連続運転向けに設計し、工業グレード部品と工場試験によって連続生産・試験環境での長期安定性を支えるとしています。 カスタム案件は要件分析、カスタム設計、製造・試験、納入と技術支援の順に進み、完成した温度制御装置は納入前に少なくとも7日間の連続試験を行うとしています。 世界の顧客を支援し、エンジニアによる機種選定・構成支援に加えて、販売前および販売後の技術サポートを提供します。 産業用チラー・ヒーターはSingapore、Malaysia、Japan、South Korea、Thailand、Qatar、中東諸国、Australia、Netherlands、Spain、United Statesなどの市場で販売されています。 装置選定では、冷却能力と必要供給温度、戻り温度、流量、熱媒体、周囲条件、用途要件を合わせて評価し、冷凍システム、熱交換器、制御構成を決定します。
展示製品
半導体生産向けには、ウェハ処理、テスト、パッケージングの冷却ソリューションを提供し、精密温度制御を半導体製造工程に直接結び付けています。 半導体向けの具体的な製品にはHigh Precsion Semiconeductor Chillers FLTZ seriesと、8-inchおよび12-inch chucksを備えたThermal Chuckがあります。 温湿度試験チャンバーも提供し、プログラム可能な恒温恒湿、高低温湿熱、高速温度サイクル、environmental stress screeningの各チャンバーを大型部品の信頼性試験に使用できます。 より広いチラー製品では、設定可能な温度制御範囲が-150°Cから+350°Cまでとされ、標準産業冷却、低温・超低温冷却、高温制御をカバーします。 一般製品群にはchiller machine、cooling circulator、precision chiller、refrigerated circulator、closed-loop chiller、mini chiller、glycol chiller、fluid chiller、lab chiller、coolant chiller、water-cooled chiller、cryogenic chillerがあります。 半導体製造向けFLTZには、5℃~90℃・6kW~40kW、-25℃～90℃・2kW~15kW、-45℃～90℃・1kW~8kW、-80℃～+90℃・0.6kW~3kW、-100℃～+90℃・1.5kW~3kWの各仕様が掲載されています。 これらのFLTZは温度精度±0.1℃を示し、FLTZ Seriesの一覧では-25℃~90℃、±0.05℃~±0.1℃、1.5~120kWで、空冷・水冷の両構成に対応します。 他シリーズは、LT Seriesが-80℃ ~ +30℃・0.4~14kW、LTZ Seriesが-115℃~+90℃・0.6~64.5kW、ZLTZ Seriesが-65℃~+25℃・2.6~16kW、LG Seriesが-110℃~+30℃・7.7~936kW、LTZ-DI Seriesが+2℃~+20℃・5~25kWです。 産業・医薬向けglycol chillerは+5℃-90℃、冷却4kW~20kW、加熱3.5kW~15kWで、fluid chillerは-40℃~90℃、冷却0.7kW~11.5kW、加熱2.5kW~10kWです。 lab chillerは-25℃~30℃・7kW~64.5kW、coolant chillerは-45℃~20℃・5.7kW~32.4kW、water-cooled chillerは-80℃~-50℃・3.7kW~30kW、cryogenic chillerは-115℃~-80℃・0.6kW~2.8kWです。 機種は冷却能力、温度範囲、制御システム、通信プロトコル、機械構造に合わせてカスタマイズでき、intelligent PLC controlも温度制御機能として挙げられています。 予備選定では工程の冷却負荷と必要運転温度を同時に考慮し、同じ名目冷却負荷でも供給温度が異なれば異なる冷凍構成が必要になる場合があるとしています。 選定ツールはkW、TR、HP、BTU/h、kcal/hの間で冷却能力を換算し、1 TR ≈ 3.517 kW、1 kW ≈ 0.284 TR、1 kW ≈ 3,412 BTU/h、1 kW ≈ 860 kcal/hという基準値を示します。 予備選定ガイドでは、15°C超を標準または産業用チラー、5°Cから15°Cを産業用チラー、0°Cから5°C未満と-20°Cから0°C未満を低温チラー、-40°Cから-20°C未満を低温または特殊低温システム、-40°C未満を特殊低温システムに分類します。 用途例には半導体テストの精密温度制御、環境チャンバー向けカスタムシステム、医薬・バイオ分野の反応器と生産ライン温度管理、化学反応の安定制御、電池充放電試験の冷却、レーザー装置冷却、低温化学プロセスがあります。 システム設計と運転条件によってチラー安定度は最大±0.05°Cとされ、実際の冷却能力は運転条件、周囲温度、熱媒体、システム設計によって変化します。
対応領域・製品
- 半導体用精密チラー
- 8インチ・12インチのサーマルチャック
- 温湿度試験チャンバー
- プログラム可能な恒温恒湿チャンバー
- 高低温湿熱チャンバー
- 高速温度サイクルチャンバー
- ESS環境ストレススクリーニング試験チャンバー
- 低温冷却サーキュレーター
- 超低温チラー
- -150℃～350℃カスタム冷却・加熱システム