基本情報
| ブース | K2265 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.jgsemicon.com |
会社概要
Jiangsu Jinggong Semicon Equipment Co., Ltdは、中国を拠点に半導体材料加工装置の研究開発と製造に取り組むメーカーです。同社は半導体材料向け装置に注力し、4-8インチおよび12インチ全自動面取り機、4-8インチ全自動ブラッシング・洗浄一体機、全自動ワックス塗布機、プロファイラを自主開発しています。Jiangsu Jinggong Semicon Equipment Co., Ltdは多様でカスタマイズ可能なプロセスソリューションも提供し、その能力を20年以上の生産・研究開発経験と結び付けています。同社は半導体材料向けのハイエンド国産装置を専門とし、装置開発と材料加工要件に対応するプロセス支援を組み合わせています。装置範囲は半導体上流の材料・基板加工に対応し、ウェハまたは材料のエッジ加工、洗浄、ワックス処理、プロファイル測定をカバーし、完成チップ製造ではなく材料加工工程を対象とします。
展示製品
製品にはMET-5600全自動面取り機、QX-2000全自動ウェハブラッシング機、AET-2000Bウェハワックス塗布機、WEP-200Eプロファイラ、QX-6800全自動枚葉ウェハ洗浄機、MET-5800全自動ウェハ面取り機、KT-3000T全自動槽式ウェハ洗浄機があります。MET-5600は化合物半導体ウェハ材料のエッジ形状面取り装置で、複数のオプション機能を備えます。QX-2000は主にSiC基板の表面と裏面の粒子を洗浄します。AET-2000Bは複数のオプション機能を備え、高精度、低材料損失、安定した運転状態を特長とするウェハワックス塗布機です。WEP-200Eはウェハプロファイル測定専用装置で、面取り後のウェハエッジ形状を検査し、顧客が求めるプロセス精度に達していることを確認します。QX-6800は半導体ウェハ洗浄専用の全自動枚葉洗浄機です。MET-5800は12インチ半導体ウェハ材料のエッジ形状面取り装置で、MET-5600と同様に複数のオプション機能を備えます。KT-3000Tは半導体ウェハ材料向けの全自動槽式湿式洗浄装置です。洗浄ラインは、SiC基板の主面・裏面の粒子をブラッシングするQX-2000、全自動枚葉ウェハ洗浄のQX-6800、半導体ウェハ材料を全自動槽式で湿式洗浄するKT-3000Tで構成されます。エッジ加工・検査ラインではMET-5600とMET-5800が面取りを行い、WEP-200Eが面取り後のプロファイルを検査します。AET-2000Bはウェハワックス処理を担い、同社はこれらの装置に合わせて多様でカスタマイズ可能なプロセスソリューションも提供します。
対応領域・製品
- 4～8インチ・12インチ全自動ウェハ面取り装置
- SiC 基板ブラシ洗浄装置
- ウェハワックス塗布装置
- ウェハ輪郭測定装置
- 全自動枚葉ウェハ洗浄装置
- 全自動バッチ式ウェハ湿式洗浄装置