基本資料
| 攤位 | K2265 |
| 國別 | CN |
| 網站 | www.jgsemicon.com |
公司簡介
江蘇晶工半導體設備有限公司是一家位於中國、從事半導體材料加工設備研發與製造的設備製造商。公司聚焦半導體材料設備，已自主研製 4-8 吋與 12 吋全自動倒角機、4-8 吋全自動刷洗一體機、全自動上蠟機與輪廓儀。江蘇晶工半導體設備有限公司亦表示可提供多樣化與客製化的工藝解決方案，並將此能力與 20 多年的生產及研發經驗相連結。公司專注提供半導體材料用高端國產化設備，將設備開發與材料加工需求的製程支援相結合。其設備範圍服務半導體上游材料與基板加工，涵蓋晶圓或材料邊緣加工、清洗、上蠟與輪廓量測，而非成品晶片製造。
展出產品
江蘇晶工半導體設備有限公司列出的產品包括 MET-5600 全自動倒角機、QX-2000 全自動晶圓刷洗機、AET-2000B 晶圓上蠟機、WEP-200E 輪廓儀、QX-6800 全自動單片晶圓清洗機、MET-5800 全自動晶圓倒角機，以及 KT-3000T 全自動槽式晶圓清洗機。MET-5600 是化合物半導體晶圓材料的邊形倒角設備，並具多種可選功能，用於邊緣形狀加工。QX-2000 主要用於清洗 SiC 基板主面與背面的塵粒。AET-2000B 晶圓上蠟機具多種可選功能，並被描述為精度高、料損小、運行狀態穩定。WEP-200E 是晶圓輪廓量測專用設備，主要檢測倒角後的晶圓邊形輪廓，以確認倒角後能達到客戶要求的工藝精度。QX-6800 是半導體晶圓清洗專用的全自動單片晶圓清洗機。MET-5800 是 12 吋半導體晶圓材料的邊形倒角設備，與 MET-5600 一樣具多種可選功能。KT-3000T 是半導體晶圓材料用的全自動槽式濕法清洗設備。清洗產品線涵蓋 QX-2000 對 SiC 基板主面與背面塵粒的刷洗、QX-6800 全自動單片晶圓清洗，以及 KT-3000T 對半導體晶圓材料進行的全自動槽式濕法清洗。邊緣加工與檢測產品線則以 MET-5600、MET-5800 進行倒角，搭配 WEP-200E 的倒角後輪廓檢測；AET-2000B 負責晶圓上蠟，公司並可圍繞這些設備提供多樣化與客製化工藝解決方案。
能力與產品項目
- 4–8 吋與 12 吋全自動晶圓倒角機
- SiC 基板刷洗設備
- 晶圓上蠟設備
- 晶圓輪廓量測設備
- 全自動單片晶圓清洗機
- 全自動槽式晶圓濕式清洗機