基本情報
| ブース | L1100 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.jel-automation.com |
会社概要
JEL AUTOMATION CO., LTD.は2023年に設立され、本社を新竹に置き、前身はJEL Corporation (Japan)の台湾支社で、日本側組織の技術基盤と品質重視の文化を継承しています。ウェハ半導体製造とPanel Level Packaging (PLP)では、製造競争力とプロセス精度に関わる自動化設備の安定性を重視しています。同社はJEL CORPORATIONが台湾で唯一直接投資する販売代理・技術サービスパートナーで、製品選定、システムインテグレーション、プロセス適用、アフターメンテナンスまでメーカーと連携した技術支援を提供します。日本式のエンジニアリング規律と品質管理に台湾での迅速かつ柔軟な支援を組み合わせ、生産ラインへリアルタイムに対応し、設備稼働率向上、プロセス品質安定化、運用リスク低減を支援します。メーカーからの直接認定、長期技術支援、専門エンジニアリングチーム、半導体・フラットパネル分野の実務経験を背景に、JEL CORPORATIONと台湾のハイテク製造業を結ぶ役割を担います。JEL CORPORATIONの技術支援を通じ、日本各地と中国・常州の製造・技術リソースを連携し、半導体などのハイテク製造向けスマート製造環境に対応します。ウェハ搬送では、コスト面の利点と直進経路を持つ円筒座標型ロボット、柔軟な経路と高い安定性を持つ水平多関節型ロボット、精密ウェハアライナと関連部品を扱い、EFEMとWafer Sorterのカスタム設計、組立、OEMサービスも提供します。JEL製品の代理店として、顧客の生産要件を重視したアフターサービスとカスタム提案も行います。JEL CORPORATIONは1993年から半導体搬送ロボットを専門とし、JEL AUTOMATION CO., LTD.は100%日本国内生産、柔軟なR&D、カスタマイズ能力、各種クリーン環境に対応するシステムインテグレーション力を台湾の半導体産業へ展開しています。
展示製品
JEL AUTOMATION CO., LTD.は半導体・パネル自動化向けに高精度Wafer Robot、EFEM、Sorter装置を提供し、メーカーの設計基盤と応用経験を生かしてプロセス効率とコスト要件に応じたカスタム開発を行います。半導体ロボットにはSCR3100S、SCR3130CS、SCR3160CSの3-Axis Cylindrical Coordinate Clean Robotと、閉ループ制御のSCR3160CSN 3-Axis Cylindrical Coordinate Closed-loop control Clean Robotがあります。さらにSTCR4130S、STCR4160S、STCR4160SNの4-Axis Cylindrical Coordinate Clean Robot、STVCR4160、STVCR4190の4-Axis Cylindrical Coordinate Vacuum Compatible Clean Robot、STWCR4160 4-Axis Cylindrical Coordinate Waterproof Clean Robot、SVCR3160、SVCR3190の3-Axis Cylindrical Coordinate Vacuum Compatible Clean Robotを掲載しています。SCR3100Sはstepping motorを用いる3-Axis Cylindrical Coordinate Clean Robotで、半導体の生産ラインまたは検査ラインにおける小口径ウェハ搬送向けに設計され、省スペース化でシステムレイアウトをコンパクトにします。環境はISO Class 2 clean room atmosphere、Z軸ストロークは200 mm、300 mm、500 mm、payload capacityは第3関節換算で0.5 kg未満で、装置仕様と要件に応じて設計変更が可能です。baseまたはflange取付を選択でき、motion monitoring、RS232Cとparallel photo I/O、全軸2-phase stepping motor、S-curved speed controlによる高速・高精度ウェハ搬送に対応します。ウェハ保持はvacuum suction、passive edge、edge grip end-effectorから選択でき、end-effector材料はCFRP、Al、ceramicなどを搬送物とラインレイアウトに合わせて選べます。SCR3100S-200-PMの標準仕様では最大6-inch waferを扱い、wrist blockはSARS00169、bladeは3D-02535、機構は3-axis cylindrical-coordinate type、motorはstepping motorです。動作範囲はrobot centerからwafer centerまで397.7mm、θ軸回転角340deg、Z軸ストローク200mmです。平均搬送速度はR軸330mm/sec、θ軸280deg/sec、Z軸130mm/sec、最大速度はそれぞれ500mm/sec、480deg/sec、170mm/secです。repeatabilityは±0.1mm以内、cleanlinessは駆動部排気時のウェハ搬送高さでISO Class 2、電源はDC24V±10% 8A、vacuumは-53kPa以上、controllerはC4000 series、interfaceはRS232Cとparallel photo I/Oです。さらに精密ウェハアライナ、関連部品、EFEMとWafer Sorterのカスタム設計・組立・OEMサービスを提供。
対応領域・製品
- 円筒座標型ウェハ搬送ロボット
- 水平多関節型ウェハ搬送ロボット
- 精密ウェハアライナおよび部品
- EFEMのカスタム設計・組立・OEM
- Wafer Sorterのカスタム設計・組立・OEM
- 半導体自動化システム統合とプロセス適用