基本資料
| 攤位 | T9035 |
| 國別 | CN |
| 網站 | grandit.com.cn/products/typeid/1.html |
公司簡介
中巨芯科技股份有限公司成立於 2017 年 12 月，由浙江巨化股份有限公司與國家集成電路產業投資基金股份有限公司為主投資設立，註冊資本金為人民幣 14.77 億元。公司於 2021 年被評為浙江省國企混改典型案例，2022 年列入國家科改示範企業，並於 2023 年 9 月 8 日在上海證券交易所科創板上市，股票代碼 688549。中巨芯科技股份有限公司專注半導體製造支撐業，持續發展電子濕化學品、電子特種氣體與前驅體材料。公司計畫在以電子化學材料為核心的半導體支撐產品組合之外，延伸至更廣泛的半導體材料與相關零部件。客戶範圍涵蓋全球半導體基板製造商、設備企業、晶圓製造商與晶圓代工廠，以及封裝企業，公司提供標準化與客製化產品及服務。高純石英材料也被列為中巨芯科技股份有限公司擬延伸的更廣泛半導體材料方向之一。研發體系涵蓋替代性研發、客製化研發與前瞻性研發，使產品開發可對應持續變化的半導體製造製程需求。公司的發展方向結合產品組合與一體化解決方案，以客戶需求為導向，並透過創新持續滿足積體電路製造工藝進步的需求。產品應用領域除了半導體晶圓製造，也涵蓋矽／化合物襯底片製造、半導體顯示製造、光纖光棒製造、光伏製造與其他相關生產領域。
展出產品
電子級氫氟酸（HF）是用於半導體晶圓製造的化學品，純度等級為 Semi G5，主要用於清洗與蝕刻製程。HF 包裝規格包括 500ml 瓶、4L 瓶、200L 桶與 ISO 罐式集裝箱，使同一電子級化學品可用多種包裝形式供應。在晶圓清洗中，電子級氫氟酸用於去除氧化物層，也可與其他酸配合使用以去除金屬離子等污染物。在蝕刻製程中，HF 用於高精度二氧化矽絕緣層或隔離層蝕刻；在離子注入後處理中，則可去除摻雜玻璃層。HF 產品具有超高純度、低顆粒物與高濃度控制精度等特點，並可依客戶需求提供上述多種包裝形式。電子級硫酸（H2SO4）同樣提供 Semi G5 純度，包裝規格為 500ml 瓶、4L 瓶、200L 桶與 ISO 罐式集裝箱。電子級硫酸用於半導體晶圓製造中的清洗、蝕刻與光刻膠去除。硫酸產品具有高氧化性、強酸性與低金屬雜質等特性，對應半導體製造用途。與 HF 相同，Semi G5 電子級硫酸具備超高純度、低顆粒物與高濃度控制精度，也支援多種包裝需求。這些電子級酸品位於中巨芯科技股份有限公司更廣泛的半導體支撐方向之中，與電子濕化學品、電子特種氣體、前驅體材料及客製化電子化學產品與服務共同構成供應範圍。
能力與產品項目
- 晶圓清洗與蝕刻用電子級氫氟酸（HF）
- 晶圓清洗與光阻去除用電子級硫酸（H2SO4）
- 電子特種氣體
- 半導體前驅物材料