基本情報
| ブース | Q5646 |
| 国 | US |
| ウェブサイト | www.gentec.com |
会社概要
Gentec (Shanghai) Corporation は、高純度および超高純度用途向けのガス流量制御機器を専門とし、半導体をはじめ、高純度ガスの供給・制御を必要とするその他の産業システム向けにも製品を提供しています。製品群には、高純度・UHP ガス圧力レギュレーター、高純度圧力計、ダイヤフラムバルブ、ベローズバルブ、メータリングバルブ、VCR 面シール継手、チューブ継手、溶接チューブが含まれ、さらに手動・空圧シリンダーバルブ、IGS 基板とモジュラーシステム、真空発生器まで揃えています。精密加工、高度な溶接技術、超高純度表面処理を中核能力として掲げ、全ての生産工程を SEMI 規格に従って実施するとしており、製造技術を半導体の高純度ガス用途へ直接結び付けています。半導体向けガス制御では、ガス制御部品・システムの供給だけでなく、技術コンサルティング、設計、エンジニアリング据付、アフターサービスも提供し、プロジェクトの複数段階を支援し、初期の技術検討から現場据付、導入後のサポートまでをつなげます。加えてカスタム研究、製品開発、技術サポート、現場評価を行い、顧客ごとのガス流量制御プロジェクトの条件や使用環境に合わせて支援内容を調整します。UHP ガス供給用途の面シール継手と溶接継手については、高強度ステンレス鋼を用い、CNC 加工と電解研磨で製造し、極圧および超高純度環境が求める材料・表面品質に対応するとしています。同社は上海松江ハイテクパークに位置し、半導体産業向けのガス制御部品とシステムを開発・製造しています。
展示製品
Gentec (Shanghai) Corporation は、半導体産業向けに設計され SEMI 規格に適合する UHP 圧力レギュレーターを提供し、高純度ガス供給システムの圧力制御に対応します。UHP ダイヤフラムバルブは、ばねを使用しないタイドダイヤフラム構造とメタルツーメタルシールを組み合わせ、粒子発生を抑えながら高い流路純度を維持するよう設計され、ガスキャビネット、ガスパネル、VMB システムで広く使用されます。極圧・超高純度環境向けには UHP VCR 面シール継手と溶接継手を供給し、チューブ、バルブ、圧力計、圧力制御部品を含む幅広い製品群と組み合わせて高純度ガス供給を支えます。高純度タイドダイヤフラム式シリンダーバルブは交換可能なシートアセンブリを採用し、高純度ガスシリンダーの長期信頼性と保守のしやすさを両立する構成です。GENTEC UFS シリーズのフロースイッチは UHP、有毒、腐食性ガスシステムの過流警報向けに設計され、外部の警報・制御機器と接続して半導体製造装置のリアルタイム監視と安全機能を提供します。Integrated Gas System、すなわち IGS は、従来の stick-built ガスパネルを置き換えるために設計されたコンパクトなモジュラープラットフォームで、圧力レギュレーター、バルブ、継手などの UHP 部品をモジュラーガスシステムとして統合できます。UHP 継手の製造では、高強度ステンレス鋼の面シール継手・溶接継手に CNC 加工と電解研磨を適用し、高圧・超高純度ガス環境に対応します。これらを組み合わせることで、半導体ガス供給システムに必要な圧力調整、流路遮断と計量、シリンダー制御、モジュラー統合、真空発生、過流監視まで複数の機能を支援し、これらの部品とモジュラープラットフォームを組み合わせ、単体機能から統合ガス供給システムまで対応できます。
対応領域・製品
- UHPガス圧力レギュレータ
- 高純度圧力計
- ダイヤフラム・ベローズ・計量バルブ
- VCR面シール継手・チューブ継手・溶接管
- 手動・空気式シリンダーバルブ
- モジュール式Integrated Gas System（IGS）
- UHP真空発生器
- UHP・有毒・腐食性ガス用フロースイッチ
- 精密加工・先進溶接
- 超高純度表面処理