基本資料
| 攤位 | Q5646 |
| 國別 | US |
| 網站 | www.gentec.com |
公司簡介
捷銳企業(上海)有限公司專注於高純度與超高純度應用的氣體流量控制設備，產品主要對應半導體以及其他需要高純度氣體供應與控制的工業系統。其產品組合完整涵蓋高純度與 UHP 氣體調壓器、高純度壓力錶、隔膜閥、波紋管閥、計量閥、VCR 面密封接頭、管件與焊接管，亦包括手動及氣動鋼瓶閥、Integrated Gas System（IGS）基板與模組化系統，以及真空產生器。公司將精密加工、先進焊接技術與超高純度表面處理列為核心技術能力，並明確表示所有生產流程均依 SEMI 標準執行，使這些製造能力與半導體高純度氣體應用直接銜接。其半導體氣體控制業務不只供應元件與系統，也涵蓋技術諮詢、系統設計、工程安裝與售後服務，支援客戶在氣體控制專案的不同階段，使服務能從前期技術需求討論與系統設計一路延伸到現場工程安裝及後續售後支援。捷銳企業(上海)有限公司亦提供客製化研究、產品開發、技術支援與現場評估，讓氣體流量控制方案能依實際專案條件、使用環境與客戶需求進行調整，並在開發、導入與現場使用階段提供對應的技術協助。針對 UHP 氣體輸送環境，公司描述其面密封與焊接接頭採用高強度不鏽鋼，並以 CNC 加工與電解拋光製造，以因應極端壓力及超高純度環境對材料、表面與加工品質的要求。公司位於上海松江高科技園區，持續開發與製造半導體產業所需的氣體控制元件與系統。
展出產品
捷銳企業(上海)有限公司提供專為半導體產業設計並符合 SEMI 標準的 UHP 壓力調節器，用於高純度氣體供應系統中的壓力控制，並與其他 UHP 元件共同構成半導體氣體配送所需的控制鏈。其 UHP 隔膜閥採無彈簧繫結式隔膜設計並結合金屬對金屬密封技術，以降低微粒產生並維持高流量純度，且廣泛應用於氣瓶櫃、氣體盤與 VMB 系統。公司供應適用極端壓力與超高純度環境的 UHP VCR 面密封接頭與焊接接頭，並與產品組合中的管件、閥件、壓力錶及壓力控制元件共同支援高純度氣體輸送。高純度繫結式隔膜鋼瓶閥採用可更換閥座組件，使高純度氣瓶在長期運轉與定期維護時兼顧可靠性與零件更換便利性。GENTEC UFS 系列流量開關專為 UHP、有毒或腐蝕性氣體系統的過流警報而設計，可與外部警報或控制裝置介接，為半導體製造設備提供即時監控與安全功能。Integrated Gas System，也就是 IGS，是一套緊湊的模組化平台，設計目的在取代傳統 stick-built 氣體盤，使公司的調壓器、閥件、接頭及其他 UHP 元件可進一步整合成模組化氣體系統架構。其 UHP 接頭製造能力還包括對高強度不鏽鋼面密封接頭與焊接接頭進行 CNC 加工及電解拋光，以對應高壓與超高純度氣體環境。整體而言，這套產品組合可支援半導體氣體輸送系統中的壓力調節、流路隔離與計量、鋼瓶控制、模組化整合、真空產生及過流監測等不同功能；這些元件與模組化平台可依系統需求搭配，使高純度氣體控制從單一元件功能延伸到整合式氣體配送架構、系統整合需求與後續維護需求。
能力與產品項目
- UHP 氣體壓力調節器
- 高純度壓力錶
- 隔膜閥、波紋管閥與計量閥
- VCR 面密封接頭、管接頭與焊接管
- 手動與氣動鋼瓶閥
- IGS 模組化整合氣體系統
- UHP 真空產生器
- UHP 有毒／腐蝕性氣體流量開關
- 精密加工與先進焊接
- 超高純度表面處理