基本情報
| ブース | I2019 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | fnsmall.com |
会社概要
FNS, Inc. は、半導体プラズマプロセスで使用される主要デバイスを供給・修理する韓国企業です。同社は、PECVD、エッチング、PVD、CVD、ALD、拡散、成膜、PR-strip プロセスに必要な主要デバイスを製造し、修理サービスを提供しています。FNS, Inc. は自社を RF total solution provider と位置付け、RF POWER & MATCHING SOLUTION、Electrostatic Chucks、DC Power Supply を事業範囲に含めています。プロセス電源とプラズマサブシステムは、成膜装置とエッチング装置を含む半導体およびディスプレイ製造装置向けです。同社は一般的な電子製品ディストリビューターではなく、装置供給と修理サービスを組み合わせて提供しています。
展示製品
FNS, Inc. の製品には、RF FILTER、REMOTE PLASMA SOURCE、OZONE GENERATOR、ESC & HEATER、RF MATCHER、MCA ESC、RF GENERATOR、MICROWAVE が含まれます。フィルター製品には [Quantum] AC Filter、[Quantum] TC Filter、[Quantum] ESC Filter、[Quantum] DC Filter も含まれます。製品カテゴリーには、RF Filter、RF Generator、RF Matcher、RPS、Revolution、RF Cable、MCA 200mm、MCA 300mm、Lam、Ultima、TEL、TxZ Heater、DC Power Supply、Ozone Generator、Microwave、Parts が記載されています。New Arrivals と部品リストには Comet VVC Vacuum Variable Capacitor CVUN-500BC/12-BEFA-C があり、50-500pF、12/7.2kV の仕様です。部品カタログには Comet VVC Vacuum Variable Capacitor CVHE-330AC/10-BEAA-CF もあり、25-330pF、10/6kV の仕様です。別の部品として Comet VVC Vacuum Variable Capacitor CVUN-1000AC/5-BEFA-C があり、100-1000pF、5/3kV の仕様です。MCA 200mm と MCA 300mm は RF Filter、TxZ Heater とともに掲載され、Lam、Ultima、TEL も製品カテゴリーとして示されています。RF matcher、RF generator、remote plasma source、DC power supply、filter は、半導体およびディスプレイ製造の成膜装置とエッチング装置に使用されます。カタログ全体は、RF power and matching、electrostatic chuck と heater、remote plasma generation、ozone generation、microwave、DC power、RF filtering、cable、プロセス装置用交換部品を網羅します。New Arrivals には TxZ Heater と 3 種の Comet VVC Vacuum Variable Capacitor 部品が含まれ、Popular products には MCA 300mm、TxZ Heater、Ultima、MCA 200mm、CVUN-500BC/12-BEFA-C が含まれます。製品サイトでは、アカウント登録またはサインイン後に複数製品を一つの inquiry にまとめ、製品カテゴリーをまたいで問い合わせできます。RF Filter には Product test の項目もあり、Parts はプロセス電源やサブシステム製品と並ぶ独立したカタログカテゴリーとして管理されています。
対応領域・製品
- RF電源・マッチングソリューション
- RFフィルター供給
- RFジェネレータ供給
- RFマッチャ供給
- リモートプラズマソース供給
- 静電チャック供給
- 半導体ヒーター供給
- DC電源供給
- オゾン発生器供給
- マイクロ波システム供給
- RFケーブル供給
- 真空可変コンデンサ供給（Comet）