基本資料
| 攤位 | I2019 |
| 國別 | KR |
| 網站 | www.fnsi.co.kr |
公司簡介
FNS, Inc. 是一家韓國公司（fnsi.co.kr），供應並維修半導體電漿製程中使用的關鍵裝置。其為 PECVD、蝕刻、PVD、CVD、ALD、擴散、沉積與 PR-strip 製程所需重要裝置的製造與維修服務提供者。產品包含 RF matcher、RF generator、remote plasma source、DC power supply 與 filter，應用於半導體與顯示器製造中的沉積與蝕刻設備。FNS 是面向半導體與顯示器製程設備的製程電源與電漿子系統供應商，而非一般電子經銷商。
能力與產品項目
- DC power supplies
- PECVD、etching、PVD、CVD、ALD 與 PR-strip 製程裝置
- RF generators
- RF matchers
- remote plasma sources
- 半導體電漿製程用裝置