基本情報
| ブース | R7224 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.directlytek.com |
会社概要
Directly Technology Co., Ltd は配管加熱システムと関連する半導体装置支援に注力し、環境条件と顧客要件に応じて多様な材料とカスタム製品構成を提供します。同社は製品を台湾で設計・製造し、安定した品質と適正な価格を掲げ、現地設計・加工により輸入関税やその他の追加費用が不要になるとしています。記載された対応能力には、GAS BELLOWS & VACUUM PIPE equipment、材料特性関連作業、IMPLANTER PARTS、SILICA ISOLATION PART equipment、QUARTZ WARE manufacture、TORCH & HEATER CHAMBER overhaul、保守、TEMPERATURE CONTROLLER service、GAS HEATING SYSTEM、AIR VALVE overhaul、OVEN THERMAL COUPLE supportが含まれます。半導体関連産業では、Directly Technology Co., Ltd は拡散炉管設備を中心に、消耗品・部品販売、拡散炉管加熱システムの製造・施工・保守、熱電対の代理、石英製品、大型装置の据付支援を提供します。
展示製品
Directly Technology Co., Ltd は製品特性と環境要件に応じて配管加熱システムを計画し、顧客要件と予算管理に合わせて材料、装備、機能の組み合わせを増減できます。同社はすべての材料を海外から輸入し、自社工場で生産進捗を随時監視・調整できるとし、加熱製品は台湾・新竹と中国・無錫で設計・加工され、長い輸送や通関を待たずに入手できるとしています。顧客注文確定後の空白期間には、生産ラインを正常稼働させるため一時代替用TAPE HEATERを無償提供でき、専門の修理サービスエンジニアが関連質問へ対応します。Heating Jacket Systemは、プロセス配管を柔軟なHeating Jacketで覆い、Temp. Controllerで温度制御し、M/M Interface Controllerで各ヒーターの温度状態をリアルタイム中央監視する構成です。ヒーティングジャケットは半導体の真空または排気用ステンレス配管の温度維持に使用され、低温によって未反応のby-productが内壁に凝縮して閉塞や排気効率低下を引き起こすことを防ぎます。Single Zone PID Controllerは各ヒーティングジャケット区間を個別に制御・表示でき、特定区間の温度上下、均温性向上、異常区間の迅速な切り分け、他区間や温調器故障時の非影響区間の継続運転、各区間温度の常時把握を可能にします。オプションのInterface Controllerは1画面に9つの温度制御ゾーンを表示し、各点の設定温度、実温度、ALARM信号を示し、最大240点を同時監視できます。監視画面では、PVは実温度、SVは設定温度、ALはPVがSVの許容差を超えた場合の警報、ATはPID自動演算、OUTは2秒ごとのPV確認と通電状態、AL OUTは警報出力状態、TC BKはthermocouple応答喪失、T/Rは単点温調器とインターフェースの接続状態、HEATER NOは顧客要件に基づく各制御点名称を示します。Gas Heating Systemはガスを加熱して配管や反応炉などの密閉空間へ直接導入し、内部の物体またはガスを必要な反応温度に到達させるもので、通常Heating Jacket Systemと併用し、加熱が必要な装置周辺へ設置でき、顧客要件に応じて警報・監視機能を追加できます。Directly Technology Co., Ltd はヒーティングジャケット製品を4種類の材料タイプに分け、加熱システムの使用環境と用途要件に応じて材料構成を選択するとしています。修理・製造工場は台湾・新竹と中国・無錫にあり、製品供給に加えて顧客へ迅速な修理サービスを提供できるとしています。中古装置では、8インチ用TEL-APHLA 8S、TEL-APHLA 8SEと、12インチ用TEL ALPHA 303I、TEL FORMULA、TEL INDY、TEL INDY PLUSが掲載され、用途には縦型拡散酸化炉と縦型リン添加ポリシリコン炉が含まれます。Thermocouplesの製品群にはInner Thermocouples、Top Thermocouples、Thermoprobe Thermocouples、Outer Thermocouples、Excess Thermocouplesが含まれ、拡散およびLPCVDで使用される装置向けで、これらの最新装置に認定されたMAKER製品と説明されています。FENWALは日本国内T/C市場の供給体制で40%のシェアを持つT/Cメーカーとして説明され、自社工場を保有し、即時出荷対応を強みとしています。FENWALの生産・品質管理環境にはCLASS10000生産クリーンルーム、国家基準に達する校正基準炉と記録計、ISO9001認証が含まれ、定期校正品または新製品製作時に必要な完全な温度試験データを支援します。TEL Thermal Processing System ThermocouplesとTEL FORMULAでは、使用済み白金TCをFENWALへ返却して費用を相殺し、新品を交換供給する物流方式も示されています。
対応領域・製品
- 半導体配管ヒーティングジャケットシステム
- カスタム加熱ジャケット
- 配管ヒーターテープ
- 単一ゾーンPIDヒーター温度コントローラ
- ヒーティングジャケット中央監視インターフェースコントローラ
- 拡散・LPCVD向け熱電対消耗品サービス
- 中古TEL拡散炉の据付・改造・売買
- 石英製品製造
- Torch・Heater Chamberオーバーホール
- Gas Heating System
- Air Valveオーバーホール
- Gas Bellows
- 真空配管設備