基本資料
| 攤位 | R7224 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.directlytek.com |
公司簡介
德易力科技股份有限公司專注於管路加熱系統與相關半導體設備支援，依環境條件與客戶需求使用多樣化材料並提供客製化產品配置。公司描述其產品在台灣設計與製造，強調品質穩定與價格合理，並表示在地設計加工可免除進口關稅與其他額外費用。其所列能力包括 GAS BELLOWS & VACUUM PIPE 設備、材料特性相關工作、IMPLANTER PARTS、SILICA ISOLATION PART 設備、QUARTZ WARE 製造、TORCH & HEATER CHAMBER 翻修、維護、TEMPERATURE CONTROLLER 服務、GAS HEATING SYSTEM、AIR VALVE 翻修與 OVEN THERMAL COUPLE 支援。在半導體相關產業，德易力科技股份有限公司以擴散爐管設備為主要服務範圍，包括耗材與零件銷售、擴散爐管加熱系統的製造、裝修與維護、代理熱電偶、石英製品，以及協助大型機台安裝。
展出產品
德易力科技股份有限公司可依產品特性與環境需求規劃管路加熱系統，並依客戶需求與預算控制增加或減少材質、配備及功能組合。公司表示所有材料均自國外進口，自有工廠可隨時監控與調配生產進度；加熱帶在台灣新竹與中國無錫設計加工，客戶可在這些地點取得產品，不必等待漫長的運送與報關時間。客戶訂單確認後的空窗期間，德易力科技股份有限公司可免費提供臨時替代 TAPE HEATER，以確保生產線正常運作；公司並配置專業維修服務工程師，可隨時解答相關問題。Heating Jacket System 以軟式 Heating Jacket 包覆製程管路，搭配 Temp. Controller 進行溫度控制，再由 M/M Interface Controller 整合即時中央監控各加熱帶的溫度狀況。加熱帶可用於維持半導體真空或排氣不鏽鋼管路的溫度，避免未反應完全的 by-product 因低溫凝結於管路內壁，進而造成阻塞或降低排氣效率。Single Zone PID Controller 可針對每一段加熱夾克獨立控制並顯示溫度，因此可提高或降低特定區段溫度、提升均溫性、快速排除異常段，且在其他加熱夾克或溫控器故障時讓未受影響區段維持運作，並隨時掌握各段溫度。選配 Interface Controller 可在單一畫面同時顯示九點溫控區域，以及各點設定溫度、實際溫度與 ALARM 訊號，最多可同時監控 240 點。監控畫面中，PV 代表實際溫度值，SV 代表設定溫度值，AL 為 PV 超過 SV 容許差異時的警報狀態，AT 為 PID 自動演算，OUT 為每二秒偵測 PV 並決定送電的狀態，AL OUT 為警報輸出狀態，TC BK 代表偵測不到 thermocouple 回覆，T/R 代表單點溫控器與人機連線狀態，HEATER NO 則是依客戶需求編排的各單點溫控名稱。Gas Heating System 會將氣體加熱後直接導入管路、反應爐等密閉空間，使其中物體或氣體達到反應所需溫度；此系統通常與 Heating Jacket System 搭配使用，可安裝於需要加熱功能的設備周邊，並依客戶需求增加警示與監控功能。德易力科技股份有限公司表示加熱夾克產品分成四種材質類型，並會依加熱系統的使用環境與應用需求選擇材質組合。維修與製造工廠位於台灣新竹與中國無錫，公司表示這些據點除供應產品外，也能為客戶提供快速維修服務。二手機台產品列有 8 吋設備 TEL-APHLA 8S、TEL-APHLA 8SE，以及 12 吋設備 TEL ALPHA 303I、TEL FORMULA、TEL INDY、TEL INDY PLUS，應用包括立式擴散氧化爐與立式掺磷多晶爐。Thermocouples 產品包括 Inner Thermocouples、Top Thermocouples、Thermoprobe Thermocouples、Outer Thermocouples 與 Excess Thermocouples，對應擴散與 LPCVD 所使用的設備，並被描述為這些最新機台設備所認定的 MAKER 產品。FENWAL 被描述為日本國內 T/C 市場供貨體制中市佔 40% 的 T/C 製造商，擁有自家工廠，並以可即時對應出貨為優勢。FENWAL 的生產與品質管理環境包括 CLASS10000 生產無塵室、達到國家標準的校正基準爐與紀錄計，以及 ISO9001 認證，可支援客戶定期校正品或新品製作時所需的完整溫度測試資料。針對 TEL Thermal Processing System Thermocouples 與 TEL FORMULA，服務內容也說明可將使用過的白金 TC 舊品退換給 FENWAL 抵扣費用，並以全新品提供替換。
能力與產品項目
- 半導體管路加熱夾克系統
- 客製化加熱夾克
- 管路加熱帶
- 單區PID加熱溫控器
- 加熱帶中央監控介面控制器
- 擴散與LPCVD熱電偶耗材服務
- TEL擴散爐二手機安裝修改買賣
- 石英器皿製造
- Torch與Heater Chamber翻修
- Gas Heating System
- Air Valve翻修
- Gas Bellows
- 真空管路設備