基本情報
| ブース | L0916 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | coresemicorp.com/en |
会社概要
Coresemi Co., Ltdの英語名は Coresemi Co., Ltd で、台中に本社を置く台湾企業です。Coresemi Co., Ltdは省エネルギー、クリーン、スマート製造技術に注力し、顧客の工程最適化と運用効率向上を支援する統合ソリューションを提供します。技術領域を省エネルギーソリューション、クリーンソリューション、スマート製造と位置づけ、高効率でカスタマイズされた技術ソリューションを提供します。省エネルギー分野では、高効率の省エネ設備と改造技術によりエネルギー消費と運用コストの削減を図ります。クリーンソリューションは、製品歩留まりと工程安全性を支える安定した無塵製造環境の構築を目指します。スマート製造では、監視システムとスマートモジュールを統合し、工程のデジタル化・インテリジェント管理を実現します。同社は技術特許を革新と差別化された工程優位性の原動力として示し、カスタム統合能力も強みとして挙げています。全体として、省エネルギー、クリーン、スマート製造を工程効率向上の関連技術として統合しています。Coresemi Co., Ltdは中核製品を Energy-saving、Cleaning、Smart Manufacturing のカテゴリーに分け、工程効率向上のための包括的ソリューションとして示しています。Patents and Technologies では、外付け省エネ液冷温度制御システム、清掃制御・ウェーハ搬送装置、省エネ型内部環境インテリジェントバランスシステム、複合省エネ環境制御システムをまとめています。同社はカスタム統合能力、複数産業での実績、技術特許も顧客に示す強みとして挙げています。技術協力やカスタムプロジェクトについて、Coresemi Co., Ltdは協力相談の無料コンサルテーションを提供するとしています。
展示製品
Coresemi Co., Ltdの Eco-Solutions には、露光・リソグラフィ装置向け Stepper / Litho. Eco-Solution が含まれます。Eco-Solutions には、ドライエッチング装置向け Dry Etching Eco-Solution と省エネ冷却向け Eco-Chiller も含まれます。Yield-Up solutions には In-line Coater Cleaner と、in-line Dry Ultra cleaner とされる In-line DUC があります。Yield-Up 製品群には IPMS、すなわち in-line Particle Monitor System も含まれ、インライン粒子監視に使用されます。外付け省エネ液冷温度制御システムはモジュール式液冷設計を採用し、さまざまな工程装置で精密温度制御とエネルギー消費低減を実現します。清掃制御システムとウェーハ搬送装置は、粒子除去と精密ハンドリング機構を組み合わせ、クリーンで安定したウェーハ搬送工程を維持します。省エネ型内部環境インテリジェントバランスシステムは、センシングとインテリジェント制御を組み合わせ、温度、湿度、気流バランスを動的に調整します。複合省エネ環境制御システムは複数の省エネモジュールを統合し、工程要件に応じて環境パラメータを制御します。製品範囲は温度制御、ウェーハ搬送、粒子除去・監視、環境バランス、スマート工程管理を省エネと歩留まり向上の目的につなげています。Coresemi Co., Ltdは製品情報、技術協力、カスタムプロジェクトに関する相談も提供します。
対応領域・製品
- Stepper/Litho省エネシステム
- Dry Etching省エネシステム
- Eco-Chiller省エネチラー
- In-line Coater Cleaner
- In-line DUCドライ超音波クリーナー
- IPMSインライン粒子モニタリング
- 外付け省エネ液冷温度制御システム
- 清掃制御・ウェハ搬送装置
- 省エネ型内部環境インテリジェントバランスシステム
- 複合省エネ環境制御システム