基本資料
| 攤位 | L0916 |
| 國別 | TW |
公司簡介
Coresemi Co., Ltd. 是台灣企業科斯邁股份有限公司的英文名，總部位於台中。Coresemi 為省能、潔淨環境與智慧製造的技術夥伴，擁有 20 年以上產業經驗與 30 項技術專利。產品包括外掛式節能溫控、晶圓傳輸與環境智慧平衡系統，協助客戶提升能源效率、優化製程並降低營運成本。其產品涵蓋 Eco-Solutions 曝光機節能系統（Stepper / Litho. Eco-Solution）、乾蝕刻節能系統（Dry Etching Eco-Solution）、節能冷卻機（Eco-Chiller），以及 Yield-Up solutions 良率提升解決方案：線上塗佈清潔系統（In-line Coater Cleaner）、外掛式線上清潔系統（In-line DUC，in-line Dry Ultra cleaner）、線上即時微粒監控系統（IPMS，in-line Particle Monitor System）。
能力與產品項目
- In-line dry ultra cleaner (DUC)
- In-line particle monitor system (IPMS)
- 外掛式節能溫控系統
- 微影節能系統
- 晶圓傳送系統
- 環境智慧平衡系統