基本情報
| ブース | P5124 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.chiyotw.com/en |
会社概要
CHIYO ENTERPRISES LIMITED は、半導体製造および従来産業に伴う汚染対策需要に対応する総合環境保護設備会社です。事業は技術開発、技術サービス、環境保護設備製造、工事一括請負、資源の総合利用を統合しています。環境分野では製造工程の排ガス処理を中心とします。削減対象には半導体および従来産業の運用に伴う温室効果ガス、有毒ガス、臭気があります。さらに工程粉じんとPM 2.5として示される黄白煙の低減を扱い、環境汚染対策と生態環境修復を目的とします。温室効果ガスの範囲には、半導体および従来産業の後工程排ガスに関連するPFCs GasとHFCs Gasが明記されています。事業範囲にはlocal scrubber salesのほか、汚染防止および半導体生産設備に関連する活動も含まれます。
展示製品
CHIYO ENTERPRISES LIMITED はPlasma Water Washing tail gas (exhaust gas) treatment machineを供給します。この具名装置は、同社のより広い排ガス処理・環境保護設備の製品範囲に位置付けられます。中核製品カテゴリーにはガス処理、粒子低減、臭気処理、温室効果ガス処理があります。Plasma water washing exhaust gas processor-CVDはPlasma water washing-CVD型の装置です。このCVD構成では排ガスを予熱し、2,000~10,000C°の渦流プラズマで熱分解した後、水洗で有毒ガスを溶解し、さらに水洗で冷却・排気します。CVDプラズマ水洗処理装置のプロセスガスにはPFCs GasのCF4、SF6、NF3が挙げられています。Combustion water washing exhaust gas processorは天然ガス熱分解で有毒ガスを処理し、渦流水でチャンバーを洗浄しながら50 degrees未満に保ちます。燃焼工程の後は水洗で有毒ガスを溶解し、水洗で冷却・排気し、プロセスガスにはCF4、SF6、NF3などのPFCs Gasが含まれます。Heating water washing exhaust gas processerは600~800C°の高温加熱後、水洗で有毒ガスを溶解して排気を冷却します。一般的な加熱水洗構成の対象は、熱分解または酸化した後に水洗できる廃ガスです。Water washing exhaust gas processorは排ガスを洗浄チャンバー1、2、3へ送り、常温で水洗可能なガスを常温水で処理します。Adsorption exhaust gas processorは排ガスを吸着バケットへ送り、常温で吸着剤により特定廃ガスを吸着します。MOCVD専用のHeating water washing exhaust gas processorもあり、600~800C°で熱分解した後、有毒ガスを水洗し、水洗で冷却・排気します。MOCVD専用装置のプロセスガスはNH3、SiH4、H2です。CHIYO ENTERPRISES LIMITED はガスとプロセス要件に応じ、高温分解、熱分解、水洗、吸着、冷却の工程をこれらの装置で組み合わせます。
対応領域・製品
- CVDプラズマ水洗式排ガス処理装置
- 燃焼水洗式排ガス処理装置
- 加熱水洗式排ガス処理装置
- 常温水洗式排ガス処理装置
- 吸着式排ガス処理装置
- MOCVD加熱水洗式排ガス処理装置
- PFCs／HFCs温室効果ガス処理
- 有毒ガス・臭気処理
- 工程粉じん・PM2.5黄白煙低減
- 排ガス処理環境工事の総合請負