基本資料
| 攤位 | P5124 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.chiyotw.com/en |
公司簡介
棨揚企業有限公司是一家綜合型環保設備公司，服務半導體製造與傳統產業相關的污染治理需求。其業務整合技術開發、技術服務、環保設備製造、工程總承包與資源綜合利用。公司的環保工作以製造流程的廢氣處理為核心。削減範圍包括半導體與傳統產業運作相關的溫室氣體、有毒氣體與異味。公司也處理製程粉塵，以及標示為PM 2.5的黃白煙削減，並以環境污染治理與生態環境修復為目標。溫室氣體範圍明確包括半導體及傳統產業後段廢氣中的PFCs Gas與HFCs Gas。公司的營業範圍也包含local scrubber sales，以及污染防治與半導體生產設備相關活動。
展出產品
棨揚企業有限公司供應Plasma Water Washing tail gas (exhaust gas) treatment machine。這項具名設備屬於公司更廣泛的廢氣處理與環保設備產品範圍。核心產品類別包括氣體處理、粒子削減、異味處理與溫室氣體處理。Plasma water washing exhaust gas processor-CVD被列為Plasma water washing-CVD設備類型。此CVD配置先對廢氣預熱，再以2,000~10,000C°渦流電漿進行熱裂解，之後以水洗溶解毒氣，並以水洗進行降溫與排氣。CVD電漿水洗處理機列出的製程氣體包括PFCs Gas中的CF4、SF6與NF3。Combustion water washing exhaust gas processor以天然氣熱裂解處理有毒氣體，並以渦流水沖刷腔室，使腔室保持低於50 degrees。燃燒處理後，再以水洗溶解毒氣並進行降溫排氣；列出的製程氣體同樣包括CF4、SF6與NF3等PFCs Gas。Heating water washing exhaust gas processer以600~800C°高溫加熱廢氣，再透過水洗溶解毒氣並冷卻排氣。一般加熱水洗配置的製程氣體範圍，是可經熱裂解或氧化後再以水洗處理的廢氣。Water washing exhaust gas processor讓廢氣依序進入洗滌腔室1、2、3，並以常溫水處理可在常溫下水洗的氣體。Adsorption exhaust gas processor將廢氣導入吸附桶，以吸附劑在常溫下吸附特定廢氣。另有僅供MOCVD使用的Heating water washing exhaust gas processor，以600~800C°進行熱裂解，再水洗毒氣並以水洗降溫排氣。MOCVD專用處理機列出的製程氣體為NH3、SiH4與H2。依不同氣體與製程需求，棨揚企業有限公司在這些設備類型中組合高溫裂解、熱裂解、水洗、吸附與冷卻步驟。
能力與產品項目
- CVD 電漿水洗式廢氣處理設備
- 燃燒水洗式廢氣處理設備
- 加熱水洗式廢氣處理設備
- 常溫水洗式廢氣處理設備
- 吸附式廢氣處理設備
- MOCVD 加熱水洗式廢氣處理設備
- PFCs／HFCs 溫室氣體處理
- 有毒氣體與異味處理
- 製程粉塵與 PM2.5 黃白煙削減
- 廢氣處理環保工程總承包